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infotek 2022-11-01 08:43

用于一般光学系统的光栅元件

光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 Wcc4/:`Hu  
"`cN k26JZ  
,vmn{gz  
,x1OQ jtY  
系统内光栅建模 UFT JobU  
 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 FS=yc.Q_  
 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 T0dD:sN  
 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 /d}"s.3p  
$365VTh"  
q=->) &D%  
Y!oLNGY  
附着光栅堆栈 9vyf9QE;  
O6/ vFEB  
 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 N,K/Ya)1  
 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 !@ ]IJ"\  
 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 "G%</G8M  
 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 Dfzj/spFV  
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+@^);b6  
     v[|W\y@H/3  
堆栈的方向 wHs1ge(  
W;=Ae~  
堆栈的方向可以用两种方式指定: 2<B'PR-??y  
>Y8\f:KQ  
它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 4 j=K3m  
AvrvBz[  
请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 .,z6a  
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基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 p,8~)ic_  
.\_RavW23  
 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 tXtNK2-1  
 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 l90"1I A  
 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 ?[Y(JO#  
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Jf?6y~X>Y  
高级选项和信息 & V>rq'~;  
 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 y& yf&p  
 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 zsJ# CDm  
 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 uEJ8Lmi  
 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 V>T?'GbS  
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r~)fAb?  
结构分解 )pHlWi|h  
z5$Q"Y.D  
 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 kd^H}k  
 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ujxr/8mjV  
 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 p}JOiiHa  
 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 Qh&Qsyo%  
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*KvD$(ny  
uRko[W(  
光栅级次通道选择 &;-zy%#l  
G~<UP(G  
 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 nte?a e  
 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 b`-|7<s  
 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 ia'z9  
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光栅的角度响应 \i_E}Ii0  
 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 /j GBQ-X  
 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 #3qeRl  
 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 j-ej7  
 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 NV4g5)D&L  
Y/.C+wW2  
vv ,4n&D  
GHGyeqNM  
例:谐振波导光栅的角响应 f zo'9  
Os"('@jd>  
v~Q'm1!O4\  
Gc|)4c  
谐振波导光栅的角响应 ]j*2PSJG  
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