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infotek 2022-11-01 08:43

用于一般光学系统的光栅元件

光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 B/:q  
aB0L]i  
F?\XhoJ3G  
Q4Zuz)r*  
系统内光栅建模 X#'DS&{  
 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 )."_i64  
 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 YD H!N l  
 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ?>cx; "xF  
Hgu$)yhlj  
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附着光栅堆栈 6O bB/*h  
0f&B;?)!  
 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 D+P(  
 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 E^rKS&P  
 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 %i{Z@  
 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 P}29wrIZ  
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Gole7I  
     Bha#=>4FU  
堆栈的方向 3p6QJuSB  
Ck d@|  
堆栈的方向可以用两种方式指定: ;{EIx*<d  
"XlNKBgM  
它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 GPz0qK  
n^B9Mh @  
请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 C-E~z{  
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GK .^Gd  
     ^ gMoW  
基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 z`$jxSLm  
`-W.uOZ0  
 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 `-fWNHs  
 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 DXBc 7J  
 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 0gO_dyB  
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s!,m,l[P  
J9eOBom8e<  
高级选项和信息 J!Er%QUR  
 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 1/+d@s#t  
 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 J|,Uu^7`  
 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 \ne1Xu:hM  
 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 vF@hg)A  
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fn.KZ  
NIgqdEu1  
结构分解 8C]K36q  
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 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 */c4b:s  
 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Z,zkm{9*  
 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 <}75Xo  
 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 E|{(O  
W*S}^6ZT`  
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光栅级次通道选择 g)$/'RB  
ypU-/}Cf,  
 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ~_Q~AOFM  
 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 b S-o86u  
 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 q9Zp8&<EqH  
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光栅的角度响应 <*JFY%y "  
 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 F+o4f3N  
 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 /tm2b<G  
 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 S[ch/  
 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 a-e_q  
&!P' M  
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F m?j-'  
例:谐振波导光栅的角响应 Z(j"\d!y  
Hg&.U;n  
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谐振波导光栅的角响应 '9{`Czc(Gb  
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