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chenliang1990 2022-10-21 19:54

AU镀膜工艺

AU镀完后再镀保护层，发现保护层掉膜，请教大神帮忙分析分析是什么问题造成的（镀膜工艺：CR+AU+AL2O3+TI3O5+SIO2）全部冷镀。 1-Po Z[p-R  
I(S)n+E  
[attachment=114920]
xiezhizhi 2022-10-22 15:38
基底是玻璃吗 +AL2O3 后加热200℃镀后面两层 T2D<UhP  
ouyuu 2022-10-29 12:09
应该是温度造成的。钛硅冷镀有应力，200度左右正好可以抵消应力。
镀膜小白 2022-11-08 18:02
我现在也遇到这样的问题，有大佬有解决保护层脱膜问题的方案么？
wheo2022 2022-11-30 16:32
请问是真空蒸镀吗？楼主后来解决了没
chenliang1990 2023-01-07 16:41
ouyuu:应该是温度造成的。钛硅冷镀有应力，200度左右正好可以抵消应力。 (2022-10-29 12:09)  .d?%;2*{q  
f(D_FTTO  
谢谢，已经解决。
coldking 2023-01-08 09:46
chenliang1990:谢谢，已经解决。 (2023-01-07 16:41)  +~nzii3  
M!M!Ni  
請問是鍍完AL2O3升溫還是全部鍍完再升溫呢
xiezhizhi 2024-04-09 18:31
coldking:請問是鍍完AL2O3升溫還是全部鍍完再升溫呢 (2023-01-08 09:46)  x;BbTBc>  
3mt%!}S  
镀完AL2O3在开加热恒温30分钟在镀后面的 H ;@!?I  
谭健 2024-04-09 21:24
楼主后来解决了没
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