二维非傍轴光束分束超光栅的设计

与传统光栅相比，尤其是在非傍轴情况下，超光栅具有优势。在此示例中，我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维（2D）超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成，并且在VirtualLab Fusion中，我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。并且，我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。

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VirtualLab Fusion的工作流程
 分析超表面晶胞

 构造超光栅
 分析光栅衍射效率

 光栅结构参数优化

VirtualLab Fusion技术

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