锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。

建模任务

    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)

某一位置的Talbot图样 ?n 9<PMo
-Q6njt&


某一位置的Talbot图样 HD1+0<
+5|wd6

不同位置的Talbot图样 dVh* a
Hp2ysU

不同位置的Talbot图样 vKv!{>,v9Z
C 'YL9r-G

沿Z轴的强度 \J>a*
fO+$`r>9

走进VirtualLab Fusion r~&[Gaw
!Nu ~4


VirtualLab Fusion的工作流程

 构建光栅结构


 通过参数运行计算不同位置的强度

VirtualLab Fusion技术 ;7jszs.6%
bi^[Eh

查看本帖完整版本: [-- 锥形相位掩模的Talbot像 --] [-- top --]