首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
讯技光电&黉论教育
->
锥形相位掩模的Talbot像
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2022-10-20 09:12
锥形相位掩模的Talbot像
在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。
}mz6z<pJ_
SMMV$;O{9
N W/RQ(
*u2pk>y)
建模任务
,?OV39h
,[64$=R8
&8l"Dl
结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
z!z+E%H^
#E[{
某一位置的Talbot图样
m+f?+c6
*PXlbb
Ez3>}E,
nLA8Hy"8z
某一位置的Talbot图样
_I("k:E7
H %Cb
#cN0ciCT'
5 A/[x$q
不同位置的Talbot图样
&\3k(j
=@98Gl9!
/rKdxsI*
To x{Sk3L
不同位置的Talbot图样
Q7 dXTS4H
r%M.rYLG{
&"D *
]h(}%fk_
沿Z轴的强度
6ty>0
6`KAl rH
P/BWFN1
PT9,R^2T!
走进VirtualLab Fusion
ZnX]Q+w
wVI 1sR
y7K&@Y
>~;MQDU5*Y
VirtualLab Fusion的工作流程
uXs.7+f
s0}OsHAj
构建光栅结构
dQ4VpR9|;
v6gfyGCJ
F9hh- "(Z
fl{wF@C6
通过参数运行计算不同位置的强度
bITc9Hqc
6$1dd#
k{*IR
* u_nu>
A!([k}@=j
VirtualLab Fusion技术
`yjHLg
@a AR99 M
查看本帖完整版本: [--
锥形相位掩模的Talbot像
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计