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infotek 2022-10-20 09:12

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 }mz6z<pJ_  
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建模任务 ,?OV39h  
,[64$=R8  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) z!z+E%H^  
      #E[{  
某一位置的Talbot图样 m+f?+c6  
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不同位置的Talbot图样 Q7 dXTS4H  
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走进VirtualLab Fusion ZnX]Q+w  
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VirtualLab Fusion的工作流程 uXs.7+f  
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 构建光栅结构 dQ4VpR9|;  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 bITc9Hqc  
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VirtualLab Fusion技术 `yjHLg  
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