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infotek 2022-10-20 09:12

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 hjL;B 'IL  
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5]O{tSj  
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建模任务 O84]J:b  
H(y`[B,}*  
P@N+jS`Vf  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Vb,V N?l  
     M+ [ho]  
某一位置的Talbot图样 5>}$]d/o  
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   NK|UeL7ght  
某一位置的Talbot图样 P~ObxY|  
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不同位置的Talbot图样 [c{\el9H  
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不同位置的Talbot图样 um,f!ho-U  
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沿Z轴的强度 !q\8`ss  
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走进VirtualLab Fusion &g|[/~dIr  
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VirtualLab Fusion的工作流程 (p>|e\(]0  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 9xR5Jm>k  
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VirtualLab Fusion技术 "#*W#ohVA  
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