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infotek 2022-10-20 09:11

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 4 D\_[(P  
-fUz$Df/R  
6_zL#7E'  
3: mF!  
建模任务 f_raICO{R  
1RRvNZW  
Q.\+ XR_|  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ,8$;|#d  
     8(Z*Vz uu  
某一位置的Talbot图样 Zls4@/\Q  
/jj}.X7yH  
 !7%L%~z^  
   jgEiemh&  
某一位置的Talbot图样 Fzu"&&>0$  
'Iu$4xo`[  
 l[\[)X3$  
C=PBF\RkKu  
不同位置的Talbot图样 D eXnE$XH  
b GwLfU  
 PjsQ+5[>  
>xP $A{  
不同位置的Talbot图样 7z%zXDe~T[  
I[[rVts  
 sF|<m)Kt{W  
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沿Z轴的强度 {Lq uOC1  
d>vGx  
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走进VirtualLab Fusion pOH_ CXw  
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 U.wgae].O;  
     -u{k  
VirtualLab Fusion的工作流程 =BX<;vU  
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 构建光栅结构 {mkYW-4Se  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 5jYRIvM[Q~  
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VirtualLab Fusion技术 YtIJJH  
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