首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 讯技光电&黉论教育 -> 锥形相位掩模的Talbot像 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2022-10-20 09:11

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 ?v6xa Vg:  
o4U9jU4<"  
}s? 9Hnqa  
K1jE_]@Z  
建模任务 rq>@ 0i  
Uh{|@D  
kid@*.I  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) u1rT:\G1  
     L)kwMk  
某一位置的Talbot图样 I_\j05  
wgY: W:y'N  
: W^ k3/t  
   ca5Ir<mL  
某一位置的Talbot图样 dxsPX =\:  
ht)J#Di  
Ub3^Js!b%  
`C$.  
不同位置的Talbot图样 X$)<>e]!>  
)ui]vS:>  
`-IX"rf  
h<JV6h:8  
不同位置的Talbot图样 x= X"4Mj0)  
"|`euxYV  
saY":fva  
F@UbUm2o  
沿Z轴的强度 M] 7#  
kocgPO5  
,:;ZzHzR0  
$cflF@ 3  
走进VirtualLab Fusion 0.!_k )tu  
z&Cz!HrS  
vL}e1V:  
     ' >4 H#tu  
VirtualLab Fusion的工作流程 H85J MPZ7  
d0YDNP%,_  
 构建光栅结构 *> LA30R*v  
OlI|.~  
Qq+$ea?>  
     B:;$5PUTc  
 通过参数运行计算不同位置的强度 u7L&cx  
v[57LB  
     8#L V oR  
ZW7z[,tk<.  
     juIi-*R!  
VirtualLab Fusion技术 _Oc5g5_{  
_Fkz^B*  
查看本帖完整版本: [-- 锥形相位掩模的Talbot像 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计