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2022-10-20 09:11 |
锥形相位掩模的Talbot像
在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 :kC*<f\
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建模任务 4 ]k o
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) & x$ps
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VirtualLab Fusion技术 IV eA[qA0
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