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infotek 2022-10-20 09:11

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 j8{,u6w)-  
R4[dh.lf  
F=8gtk|U  
:qO)^~x  
建模任务 1}b1RKKj<  
P>;uS  
) GF>]|CG  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) KfMaVU=4P  
     =Btmi  
某一位置的Talbot图样 S}XVr?l 2O  
AX2On}&bf  
 ~Is-^k)y  
   * 2s(TW  
某一位置的Talbot图样 b2HHoIT  
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 i`HXBq!|w  
qlIbnyP<  
不同位置的Talbot图样 DF~{i{  
!nyUAZ9 :  
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\A/??8cgXs  
不同位置的Talbot图样 ro*$OLc/  
p_Y U!j_VE  
 l?swW+ x\  
DJ<F8-sb2r  
沿Z轴的强度 c;1Xu1  
L(i0d[F  
 &P3ep[]j  
!L\P.FP7b  
走进VirtualLab Fusion C4/p5J  
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 Hy0l"CA*|  
     !ie'}|c  
VirtualLab Fusion的工作流程 #Yr/GNN  
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 构建光栅结构 e x`mu E  
TWAt)Q"J  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 VA0p1AD  
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VirtualLab Fusion技术 YsXf+_._  
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