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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 為什麼SiO2開APC會吸收? [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

danieltsai06 2022-10-13 11:29

為什麼SiO2開APC會吸收?

如題, 離子源氧氣開大也是會吸收, APC打開也會吸收, O2不是會降低吸收嗎?
tearzhou 2022-10-14 08:40
此吸收非吸收,气体太多,真空度变差会造成膜层不够致命,SIO2膜层不够致命造成的散射 o|7 h  
另一个就是你氧气纯度
danieltsai06 2022-10-14 15:11
tearzhou:此吸收非吸收,气体太多,真空度变差会造成膜层不够致命,SIO2膜层不够致命造成的散射 gtV*`g  
另一个就是你氧气纯度 (2022-10-14 08:40)  K5SP8<.  
'`fz|.|cbB  
謝謝,終於解惑了。
comebackz 2022-11-02 09:33
不错........
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