集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
aNry> 2: 在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 zwUC
L d"5_x]Z; 2. 建模任务 XOX$uLm 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) `XF[A8@h H,
3Bf 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) ([<{RjPb -W6@[5 c %UdE2 D'bC 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Mxw-f4j +6>2= ,?Z
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Zz (qc5o,F (]sm9PO 6. 3D仿真与结果对比 w*"Ii%iA< hgYFR6VH
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