集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
F%Kp9I* 在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 7 %3<~'v[ .?B{GnB> 2. 建模任务 ("OAPr\2dw 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) GYd]5`ri -/zp&*0gcx 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) `%oIRuYG]j ^xt9pa$f 7RD$=?o O' 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) BMdSf(l {8 N=WZ
nx B32 _PV*lK= 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) N};t<Xev +>4^mE" \
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