集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
KL\=:iWA 在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 6%hEs6-R <IkD=X 2. 建模任务 .$s|T 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) ;NVTn<Uj O}iKPY8K 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) <Phr`/ cW|Zgz8vv q}24U3ow 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) wNZS6JF.d WMz|FFKVY
zSvHv s \]:NOmI^' 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) }6{ )Jv )^2jsy
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+#"Ic: yT9RNo/w 6. 3D仿真与结果对比
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M#<fh:> ?BZ`mrH^ 8. VirtualLab Fusion的工作流程 [#fqyg Y `p&*O K]Cs2IpI 构造光栅结构 qBrZg - [*E.G~IS` 计算光栅结构内部的场分布 PsT v\! +GtGyp
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