集成微透镜阵列的CMOS传感器分析

在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。

2. 建模任务

采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)

3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) jAA'hA
$eK8GMxZ#


4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ''$`;?t>
Tf9&,!>V


5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) dD[v=Z_
uOyLC<I/


6. 3D仿真与结果对比 Z|]l"W*w
3m-edpH

7. 走进VirtualLab Fusion 9)G:::8u7
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8. VirtualLab Fusion的工作流程

 构造光栅结构
-
 计算光栅结构内部的场分布

9. VirtualLab Fusion技术

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