JCMSuite应用--线型光栅

tB/'3#o   这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 .jK,6't^   746['sf4c   光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 S偏振照明的近场强度 h(MNH6B1   P偏振照明的近场强度 4E0 Y=   <[Y@ <   傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 /)/>/4O   WN6%%*w   参数扫描 bb}$7v`G   gH<A.5 xy   Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 &wea]./B   h4geoC_W2   它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： ^"!)p2=   ^w6~?'}   在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。

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