JCMSuite应用--线型光栅

~']&.
这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。
FE8+E\ U?
~A[YnJYA#
光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。
S偏振照明的近场强度
FX|0R#4vm

P偏振照明的近场强度 FG>;P]mvp

Pn'`Q S?
傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 .8T\Nr\~2
9Eq^B9(
参数扫描 qa 6=W
~@[(N]=q
Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 [^?13xMb
:b<-[8d&
它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度：
wUZQB1$F
DC$7B`#D
在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。
E1c>nrnh*

查看本帖完整版本: [-- JCMSuite应用--线型光栅 --] [-- top --]