JCMSuite应用--线型光栅

WGrG#Kw[   这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 O'} %Bjl   5L8)w5    光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 S偏振照明的近场强度 C0@[4a$8f   P偏振照明的近场强度 t&99ZdE   C%y!)v_x   傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 T=n)ea A   *nh.&Mv|   参数扫描 RY]Vo8   R8<'m   Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 k^Q>   R| h(SXa   它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： E)=X8y   J(JqusQd !   在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。

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