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infotek 2022-09-21 08:50

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)

nL5cK:  
内容简介 V[RF </2T  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 B-xGX$<z  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Yrb{ByO&  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 M||+qd W!  
VrHv)lUr  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
y`VyQWW  
目录 vUN22;Z\  
Preface 1 r)lEofX,g+  
内容简介 2 0pK=o"^?@  
目录 i -z-C*%~  
1  引言 1 0@[$lv;OS  
2  光学薄膜基础 2 w{I vmdto  
2.1  一般规则 2 S'k_olx7  
2.2  正交入射规则 3 ;!=G   
2.3  斜入射规则 6 n&L+wqJ  
2.4  精确计算 7 y<?kzt  
2.5  相干性 8 ~FZ&.<s  
2.6 参考文献 10 lAS#874dE  
3  Essential Macleod的快速预览 10 u__9Z:+  
4  Essential Macleod的特点 32 F0pir(n-  
4.1  容量和局限性 33 - \ 5v^l  
4.2  程序在哪里? 33 *M[?bk~~  
4.3  数据文件 35 Cl5uS%g  
4.4  设计规则 35 2L:_rR#w  
4.5  材料数据库和资料库 37 GOj-)i/_  
4.5.1材料损失 38 N,`$M.|?  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 SbND Y{5RO  
4.5.2 材料库 41 ? }Z1bH  
4.5.3导出材料数据 43 -c_74c50  
4.6  常用单位 43 Umz KY  
4.7  插值和外推法 46 AV:h BoO  
4.8  材料数据的平滑 50 i/65v  
4.9 更多光学常数模型 54 V3 9g,=`b%  
4.10  文档的一般编辑规则 55 FTH|9OP  
4.11 撤销和重做 56 ZXu>,Jy  
4.12  设计文档 57 [^R^8k  
4.10.1  公式 58 )#EGTRdo  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 QHDXW1+|^  
4.10.3  沉积密度 59 &x=.$76  
4.10.4 平行和楔形介质 60 v6[!o<@"a  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 .sxcCrQE  
4.10.4  性能 61 uX"H4l O~  
4.10.5  保存设计和性能 64 dWM'fg  
4.10.6  默认设计 64 o906/5M  
4.11  图表 64 ;PF`Wj  
4.11.1  合并曲线图 67 OtY`@\hy  
4.11.2  自适应绘制 68 &LmJ!^#  
4.11.3  动态绘图 68 Eav[/cU  
4.11.4  3D绘图 69 jTf@l?|  
4.12  导入和导出 73 4qN{n#{+]  
4.12.1  剪贴板 73 K#l:wH _  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 @:;)~V  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 d4m=0G`  
4.13  背景 77 `Y+J-EQ  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 W$QcDp]#p}  
4.15  生成Rugate 84 G !<Z.]  
4.16  参考文献 91 qBU-~"2t  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 ZufR {^W  
5.1  Jobs 92 JHW "-b  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 4]rnY~  
5.3  输入材料 94 ];}Wfl  
5.4  设计数据文件夹 95 &w4?)#  
5.5  默认设计 95 F@^~7ZmP`  
6  细化和合成 97 cO-7ke  
6.1  优化介绍 97 68bQ;Dv  
6.2  细化 (Refinement) 98 Q0$8j-1I  
6.3  合成 (Synthesis) 100 :fKl]XO  
6.4  目标和评价函数 101 +~St !QV%  
6.4.1  目标输入 102 ImCe K  
6.4.2  目标 103 TvwZW!@jc  
6.4.3  特殊的评价函数 104 3yANv?$a  
6.5  层锁定和连接 104 #w;v0&p  
6.6  细化技术 104 l_3`G-`2  
6.6.1  单纯形 105 TH)"wNa  
6.6.1.1 单纯形参数 106 $JSL-NkE  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 KTK <gV9:  
6.6.2.1 Optimac参数 108 zh4# A <e  
6.6.3  模拟退火算法 109 D>|H 2  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 |HU@ >  
6.6.4  共轭梯度 111 m%rd0=}57  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 :WC2Ax7$2  
6.6.5  拟牛顿法 112 |yvQ[U~PQ  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 >PB4L_1  
6.6.6  针合成 113 ;g8R4!J  
6.6.6.1 针合成参数 114 dCb`xR}  
6.6.7 差分进化 114 TP VVck-T8  
6.6.8非局部细化 115 YX%[ipgB  
6.6.8.1非局部细化参数 115 g! cUF+  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 AUeu1(  
6.7.1  细化 116 r[1i*b$  
6.7.2  合成 117 ADZ};:]  
6.8  参考文献 117 Rn#KfI:{  
7  导纳图及其他工具 118 tzZ63@cm  
7.1  简介 118 jN e`;o  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 ~0?mBy!-O  
7.2.1  四分之一波长规则 119 %?LOs H   
7.2.2  导纳图 120 NHB4y/2  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Yj%U >),8  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 ^<;V]cY`  
7.5  斜入射导纳图 141 Y_}mYvJW  
7.6  对称周期 141 _\=`6`b)  
7.7  参考文献 142 )64@2 ~4y  
8  典型的镀膜实例 143 yPM3a7-Bm  
8.1  单层抗反射薄膜 145 @|LBn6q  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 DQMHOd7g  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 3Uqr,0$p  
8.4  W-膜层 148 &-s'BT[PGq  
8.5  V-膜层 149 0$_oT;{8  
8.6  V-膜层高折射基底 150 @vpf[j  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 (Lo%9HZ1Mx  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ~i@Y|38C  
8.9  四层抗反射薄膜 153 qe#P?[  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 g wz7krUTe  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ]"+95*B  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 CQZgMY1{  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 b'P eH\h{  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 wpN k+;  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 Jwj%_<  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 3:5 &Aa!  
8.17  1/4波长堆栈 162 ?aC'.jH+  
8.18  陷波滤波器 163 6`!Fv-  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 sBu=e7  
8.20  褶皱 165 "~=mG--I  
8.21  消偏振分光器1 169 c<uN"/gi*  
8.22  消偏振分光器2 171 i.=w]S j  
8.23  消偏振立体分光器 172 wx\v:A  
8.24  消偏振截止滤光片 173 a UxGzMZ  
8.25  立体偏振分束器1 174 RlheQTJ  
8.26  立方偏振分束器2 177 tyfTU5"x  
8.27  相位延迟器 178 Op"M.]#  
8.28  红外截止器 179 :`E8Z:-R  
8.29  21层长波带通滤波器 180 bfA=3S"0  
8.30  49层长波带通滤波器 181 DjI3?NN  
8.31  55层短波带通滤波器 182 ;^ La"m  
8.32  47 红外截止器 183 l_EM8pL,f  
8.33  宽带通滤波器 184 )>b.;  
8.34  诱导透射滤波器 186 *4U^0e  
8.35  诱导透射滤波器2 188 0ge$ p,  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 z>jUR,!GT  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 WZazJ=27}  
8.35  增益平坦滤波器 193 i O/K nH  
8.38  啁啾反射镜 1 196 WJNl5^  
8.39  啁啾反射镜2 198 +zrAG 24q  
8.40  啁啾反射镜3 199 XQ%?  
8.41  带保护层的铝膜层 200 s"9`s_p`d  
8.42  增加铝反射率膜 201 Y7#-Fra0W  
8.43  参考文献 202 O:TlIJwW  
9  多层膜 204 |fxA|/ s[<  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 umF Z?a  
9.2  内部透过率 204 ~zil/P8  
9.3 内部透射率数据 205 5nTY ?<x`k  
9.4  实例 206 w^Lta  
9.5  实例2 210 &ZghMq~  
9.6  圆锥和带宽计算 212 "VkTY|a  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 KBXK0zWh7  
10  光学薄膜的颜色 216 pWPIJ>2G:  
10.1  导言 216 Ct2j ZqCDo  
10.2  色彩 216 zUkN 0  
10.3  主波长和纯度 220 !>BZ6gn5  
10.4  色相和纯度 221 lY~4'8^  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 D'L'#/hK  
10.6 色差 226 nl(WJKq'  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 6'kS_Zu{<  
10.8  颜色渲染指数 234 ~/8M 3k/  
10.9  色差计算 235 K TsgJ\W  
10.10  参考文献 236 Pt@%4 :&-h  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 '" X_B0k  
11.1  短脉冲 238 5Xl /L  
11.2  群速度 239 %1.]c6U  
11.3  群速度色散 241 U~} U\_  
11.4  啁啾(chirped) 245 R+nMy=I%8  
11.5  光学薄膜—相变 245 ~7$&WzD  
11.6  群延迟和延迟色散 246 vKq^D(&cl  
11.7  色度色散 246 t6,wjN-J  
11.8  色散补偿 249 rC.eyq,105  
11.9  空间光线偏移 256 4Ue_Y 'LmM  
11.10  参考文献 258 4Sm]>%F':  
12  公差与误差 260 7]x3!AlV  
12.1  蒙特卡罗模型 260 `((Yc]:7  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 B|C/ Rk6?  
12.2.1  误差工具 267 'WI^nZM  
12.2.2  灵敏度工具 271 !@x+q)2  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 -29gL_dk.  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 JOb*-q|y  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 `%E8-]{uS  
12.3  参考文献 276 cFN'bftH4  
13  Runsheet 与Simulator 277 ' zEI;v  
13.1  原理介绍 277 `} m Q  
13.2  截止滤光片设计 277 Q.9qImgN  
14  光学常数提取 289 )mJf|W!Z#  
14.1  介绍 289 WYIQE$SEv  
14.2  电介质薄膜 289 3#vinz  
14.3  n 和k 的提取工具 295 [97KBoSU  
14.4  基底的参数提取 302 RrhT'':[  
14.5  金属的参数提取 306 28hHabd|  
14.6  不正确的模型 306 !" JfOu  
14.7  参考文献 311 &n[~!%(  
15  反演工程 313 ]l@ qra  
15.1  随机性和系统性 313 b1gaj"]  
15.2  常见的系统性问题 314 Z<#hS=eY  
15.3  单层膜 314 >Jw6l0z  
15.4  多层膜 314 T"p(]@Ng  
15.5  含义 319 [L6w1b,  
15.6  反演工程实例 319 o7TN,([W  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 l{:a1^[>y  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 @v}B6j b;  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 jSOS}!=  
16.1  光学性质的热致偏移 329 "c(Sysl.L  
16.2  应力工具 335 TgTnqR@/  
16.3  均匀性误差 339 f`8OM}un&  
16.3.1  圆锥工具 339 fa&-. *  
16.3.2  波前问题 341 FZ|CqD"#  
16.4  参考文献 343 !j1[$% =#  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 R8-^RvG  
17.1  引言 345 TZ;p0^(  
17.2  操作数 345 2/36dGFH  
18  如何在Function中编写脚本 351 0G <hn8>  
18.1  简介 351 jJ3zF3Id  
18.2  什么是脚本? 351 U{~SXk'2+  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 8ZcU[8r  
18.4  基础 352 {kLGWbo|Q  
18.4.1  Classes(类别) 352 3Db3xN  
18.4.2  对象 352 ]DvO:tM  
18.4.3  信息(Messages) 352 :%JC^dV(  
18.4.4  属性 352 6al=Cwf  
18.4.5  方法 353 9p@C4oen  
18.4.6  变量声明 353 lFUWV)J\  
18.5  创建对象 354 tfkr+ /  
18.5.1  创建对象函数 355 L{ho*^b  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 r]P,9  
18.5.3 丢弃对象 356 Ogg#jx(4  
18.5.4  总结 356 g,]@4|  
18.6  脚本中的表格 357 _M,lQ~  
18.6.1  方法1 357 `Zz uo16  
18.6.2  方法2 357 `@`1pOb  
18.7 2D Plots in Scripts 358 D);'pKl  
18.8 3D Plots in Scripts 359 a :HNg  
18.9  注释 360 | A:@ &|  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 y69J%/c ra  
18.11  一个更高级的脚本 362 ,>LRa  
18.12  <esc>键 364 MS<SAD>w  
18.13 包含文件 365  >0Ev#cX4  
18.14  脚本被优化调用 366 Ep~wWQh  
18.15  脚本中的对话框 368 /.V0ag'G  
18.15.1  介绍 368 uXQ >WI@eF  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 fT Y/4(  
18.15.3  输入框函数 370 6'OO-o  
18.15.4  自定义对话框 371 Q;h3v1GC\P  
18.15.5  对话框编辑器 371 \k.vN@K#  
18.15.6  控制对话框 377 !:fv>FEI9  
18.15.7  更高级的对话框 380 >O]s&34  
18.16 Types语句 384 z,*:x4}F  
18.17 打开文件 385 (A/0@f1#  
18.18 Bags 387 ~fzuwz  
18.13  进一步研究 388 9 1P4:6  
19  vStack 389 GlR~%q-jiQ  
19.1  vStack基本原理 389 UP2.]B!d  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 Vm8D"I5i  
19.3  五棱镜 393 W"hcaa,&  
19.4 光束距离 396 FA>1x*;c  
19.5 误差 399 =qoRS0Qa  
19.6  二向分色棱镜 399 ,#'7)M D8  
19.7  偏振泄漏 404 Sl~x$9`  
19.8  波前误差—相位 405 Ie'P#e'  
19.9  其它计算参数 405 ;?IT)sNY  
20  报表生成器 406 (TSqc5^H  
20.1  入门 406 ilEi")b=  
20.2  指令(Instructions) 406 Pg^h,2h  
20.3  页面布局指令 406 0H=9@  
20.4  常见的参数图和三维图 407 J\W-dI  
20.5  表格中的常见参数 408 oEzDMImJ5  
20.6  迭代指令 408 M?o{STt  
20.7  报表模版 408 Q!CO0w  
20.8  开始设计一个报表模版 409 BSXdvI1y  
21  一个新的project 413 sms1%%~  
21.1  创建一个新Job 414 p/|(,)'+jx  
21.2  默认设计 415 DBbc|I/[l  
21.3  薄膜设计 416 PHR#>ZD  
21.4  误差的灵敏度计算 420 qj?2%mK`  
21.5  显色指数计算 422 V 4qtaHf  
21.6  电场分布 424 mf*Nr0L;J  
后记 426
L :U4N*  
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