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2022-09-21 08:50 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
*u:;:W&5y 内容简介 7,) 67G; Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 fxLE ]VJQ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 qcR|E`k-G 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 s9ju/+fv _QC?:mv6-
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 0})7of 目录 v^y}lT Preface 1 Uxj<x`<1x 内容简介 2 E|F!S(.:,M 目录 i j]@x Q,y 1 引言 1 :,xyVb+ 2 光学薄膜基础 2 7 K;'7 2.1 一般规则 2
L@g Q L 2.2 正交入射规则 3 D[>XwL 2.3 斜入射规则 6 wHBHkz 2.4 精确计算 7 P%<aGb4 2.5 相干性 8 tu?Z@W/ 2.6 参考文献 10 i/C
-{+}U 3 Essential Macleod的快速预览 10 l`~a}y "n 4 Essential Macleod的特点 32 CYTuj>Ww 4.1 容量和局限性 33 Z=e[
!c 4.2 程序在哪里? 33 Qwp\)jVi 4.3 数据文件 35 YYZs#_ 4.4 设计规则 35 gLXvw] 4.5 材料数据库和资料库 37 hB2s$QS 4.5.1材料损失 38 pAUfG^v 4.5.1材料数据库和导入材料 39 6.`} &E 4.5.2 材料库 41 kB$,1J$q 4.5.3导出材料数据 43 $~w@0Yl 4.6 常用单位 43 :$GL.n-? 4.7 插值和外推法 46 ~_f
|".T 4.8 材料数据的平滑 50 ecSdU> 4.9 更多光学常数模型 54 B4\:2hBq 4.10 文档的一般编辑规则 55 )$lSG}WD 4.11 撤销和重做 56 9 :K 4.12 设计文档 57 f2R+5`$ 4.10.1 公式 58 G]m[S- 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 m&8U4uHN 4.10.3 沉积密度 59 [`Qp;_K?t 4.10.4 平行和楔形介质 60 i SAidK, 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 OGE#wG"S 4.10.4 性能 61 8IT_mjj 4.10.5 保存设计和性能 64 C,VqT6E< 4.10.6 默认设计 64 ~q#[5l(r8 4.11 图表 64 x]%4M\T`` 4.11.1 合并曲线图 67 [X$|dOm'N 4.11.2 自适应绘制 68 Fb\2df{@ 4.11.3 动态绘图 68 FgHB1x4; 4.11.4 3D绘图 69 p)[BB6E 4.12 导入和导出 73 om*tdG 4.12.1 剪贴板 73 8Jib|#! 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 &ls!IN 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 yaYIgG 4.13 背景 77 hNR>Hy\ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 1=o(sIeA 4.15 生成Rugate 84 2Xj-A\Oh~ 4.16 参考文献 91 33v%e 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 <'4!G"_EP 5.1 Jobs 92 <=y58O]x 5.2 创建一个新Job(工作) 93 v&CO#vK5. 5.3 输入材料 94 3MBz 5.4 设计数据文件夹 95 w'!}(Z5X? 5.5 默认设计 95 pRk'GR]` 6 细化和合成 97 gS(: c. 6.1 优化介绍 97 OL mBh3& 6.2 细化 (Refinement) 98 .>gU
9A(Nk 6.3 合成 (Synthesis) 100 1vR#FE? 6.4 目标和评价函数 101 b$`4Nn| 6.4.1 目标输入 102 9B6_eFb 6.4.2 目标 103 ).O2_<&?F 6.4.3 特殊的评价函数 104 |"tV["a 6.5 层锁定和连接 104 te)g',#lT 6.6 细化技术 104 ]TTJr C: 6.6.1 单纯形 105 BGh8 \2 6.6.1.1 单纯形参数 106 ]K0,nj*\c 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ~]_jKe4W 6.6.2.1 Optimac参数 108 l`5}i|4KTW 6.6.3 模拟退火算法 109 ~V$5 m j 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ^x1D]+ 6.6.4 共轭梯度 111 I`n1M+=% 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ;KjMZ(Iil1 6.6.5 拟牛顿法 112 j|$y)FBX 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 [9W&1zY 6.6.6 针合成 113 abk:_ 6.6.6.1 针合成参数 114 Rp@}9qijb 6.6.7 差分进化 114 YWBP'Mo 6.6.8非局部细化 115 Z5^,!6 6.6.8.1非局部细化参数 115 C6T 9 6.7 我应该使用哪种技术? 116 )mo|.L0 6.7.1 细化 116 *}WqYqOow 6.7.2 合成 117 dU04/]modD 6.8 参考文献 117 =B{$U~} 7 导纳图及其他工具 118 7[?}kG 7.1 简介 118 Z`1o#yZ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 v'Py[[R 7.2.1 四分之一波长规则 119 4#Nd;gM2 7.2.2 导纳图 120 cB])A57< 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 \?mU$,voI 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ()IgSj?, 7.5 斜入射导纳图 141 $MVeMgPa 7.6 对称周期 141 Y<$"]@w 7.7 参考文献 142 qaSv]k. 8 典型的镀膜实例 143 1MzB?[gx 8.1 单层抗反射薄膜 145 v_F?x! 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 'w$we6f 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Z_ *ZUN?B 8.4 W-膜层 148 * jNu?$ 8.5 V-膜层 149 l=OC?d*m 8.6 V-膜层高折射基底 150 H(ftOd.y 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 x: wq"X 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ~sja^ 8.9 四层抗反射薄膜 153 P6Z,ci17 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ^J=txsx 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 C g,w6<7 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 21J82M 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 &7y1KwfXn 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 &(U=O?r7 8.15十五层宽带抗反射膜 159 M(f*hOG{Y 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 r3lr`s` 8.17 1/4波长堆栈 162 5TW<1'u 8.18 陷波滤波器 163 #2t\>7] 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ]$k
m 8.20 褶皱 165 p.7p,CyB 8.21 消偏振分光器1 169 #+Gs{i Xr 8.22 消偏振分光器2 171 L1w4WFWO 8.23 消偏振立体分光器 172 sU3V)7"
8.24 消偏振截止滤光片 173 kR|DzB7 8.25 立体偏振分束器1 174 leqSS}KU+ 8.26 立方偏振分束器2 177 $R}iL 8.27 相位延迟器 178 G!lykk] 8.28 红外截止器 179 ;@\JscNJ| 8.29 21层长波带通滤波器 180 )W7H{# 8.30 49层长波带通滤波器 181 BHBR_7 8.31 55层短波带通滤波器 182 o~N-x* 8.32 47 红外截止器 183 F>{uB!!L4 8.33 宽带通滤波器 184 |&*rSp2iH 8.34 诱导透射滤波器 186 .:Xe* Q 8.35 诱导透射滤波器2 188 uPD_s[ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 VFp)`+8 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 9CSz<[ 8.35 增益平坦滤波器 193 \FX3=WW 8.38 啁啾反射镜 1 196 \DdVMn 8.39 啁啾反射镜2 198 Ppn ZlGQ6 8.40 啁啾反射镜3 199 i;
uM!d} 8.41 带保护层的铝膜层 200 'n`$c{N<tM 8.42 增加铝反射率膜 201 m`6`a|Twp$ 8.43 参考文献 202 )u:8Pv 9 多层膜 204 m/c~2?-; 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 _C\
d^a( 9.2 内部透过率 204 : .eS| 9.3 内部透射率数据 205 D#(Pg 9.4 实例 206 ,$*klod 9.5 实例2 210 rMx_ <tX X 9.6 圆锥和带宽计算 212 C8SNSeg 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 C'"6@-~ 10 光学薄膜的颜色 216
c'4 \F9 10.1 导言 216
C_&tOt 10.2 色彩 216 SaScP 10.3 主波长和纯度 220 :~(^b;yhZ 10.4 色相和纯度 221 :zZM&r> 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 je0 ?iovY 10.6 色差 226 v<4X;4p^ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ^E8Hv 10.8 颜色渲染指数 234 RozsRt;i 10.9 色差计算 235 !S<~(Ujyw 10.10 参考文献 236 7~g0{W>Zm 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 XBBRB<l) 11.1 短脉冲 238 t)ry)[Dxv 11.2 群速度 239 &Vm[5XW 11.3 群速度色散 241 UY^f|f& 11.4 啁啾(chirped) 245 l0,O4k2 ' 11.5 光学薄膜—相变 245 -M9
4 F 11.6 群延迟和延迟色散 246 aesFv)5DK 11.7 色度色散 246 {uG_)G Fr0 11.8 色散补偿 249 n*|-"'j 11.9 空间光线偏移 256 "R]K!GUU 11.10 参考文献 258 cZ,_O~ 12 公差与误差 260 'f!Jh<i 12.1 蒙特卡罗模型 260 XP1_{\ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 s!\L1E 12.2.1 误差工具 267 (\_d'Js(; 12.2.2 灵敏度工具 271 w|e i*L 12.2.2.1 独立灵敏度 271 S]{Z_|h*j 12.2.2.2 灵敏度分布 275 )FCqYCfk 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 8t"DQ Y-R 12.3 参考文献 276 C<)&qx3 13 Runsheet 与Simulator 277 j_g9RmZT 13.1 原理介绍 277 zAIC5fvu 13.2 截止滤光片设计 277 G
0 yt%qHE 14 光学常数提取 289 sa?;D 14.1 介绍 289 djp(s$:{4 14.2 电介质薄膜 289 E{B<}n|}& 14.3 n 和k 的提取工具 295 ^6n]@4P 14.4 基底的参数提取 302 HBu>BSv: 14.5 金属的参数提取 306 )}8%Gs4C 14.6 不正确的模型 306 %(6Wr E5F6 14.7 参考文献 311 1x)%9u} 15 反演工程 313 |^&e\8>. 15.1 随机性和系统性 313 t~M_NEPxV 15.2 常见的系统性问题 314 V-|}.kOH2 15.3 单层膜 314 Y]Q*I\X 15.4 多层膜 314 }mK_d9d x 15.5 含义 319 V _,* 15.6 反演工程实例 319 cR} =3|t 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 PGDlSB^O 15.6.2 反演工程提取折射率 327 .BvV[`P 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 S7*:eo 16.1 光学性质的热致偏移 329 vYkoh/(/u 16.2 应力工具 335 a{=~#u8 16.3 均匀性误差 339 UK/k?0 16.3.1 圆锥工具 339 `pr,lL 16.3.2 波前问题 341 J)_42Z 16.4 参考文献 343 |V5H(2/nk 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 dX*PR3I-3 17.1 引言 345 rjzRH 17.2 操作数 345 M9nYt~vHX 18 如何在Function中编写脚本 351 B'yrXa|P 18.1 简介 351 8?!Vr1x 18.2 什么是脚本? 351 W:G*t4i 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 4{& 18.4 基础 352 Bdi~B") 18.4.1 Classes(类别) 352 |BR&p)7) 18.4.2 对象 352 R !HL+ 18.4.3 信息(Messages) 352 2Qy&V/E ? 18.4.4 属性 352 j<u`W|vl 18.4.5 方法 353 a>6p])Wh 18.4.6 变量声明 353 QQJcvaQ 18.5 创建对象 354 O #"O.GX< 18.5.1 创建对象函数 355 T^ -RP 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 b~-9u5.L1 18.5.3 丢弃对象 356 |ONOF 18.5.4 总结 356 ~rD* Y. 18.6 脚本中的表格 357 +9t@eHJT1 18.6.1 方法1 357 #+$z`C` 18.6.2 方法2 357 y!j1xnzki 18.7 2D Plots in Scripts 358 ul
E\>5O4h 18.8 3D Plots in Scripts 359 /}wGmX! -! 18.9 注释 360 8oK30? 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 /C"E*a 18.11 一个更高级的脚本 362 OWU]gh@r 18.12 <esc>键 364 JkTL+obu 18.13 包含文件 365 8@!SM 18.14 脚本被优化调用 366 IlY,V 18.15 脚本中的对话框 368 ufmFeeg 18.15.1 介绍 368 6xwC1V?:0t 18.15.2 消息框-MsgBox 368 v?}/WKe+0 18.15.3 输入框函数 370 Z(#a-_g 18.15.4 自定义对话框 371 \|kU{d0 18.15.5 对话框编辑器 371 7ORwDR,`5 18.15.6 控制对话框 377 ),86Y:^4 18.15.7 更高级的对话框 380 -7CkOZT 18.16 Types语句 384 aDs[\' 18.17 打开文件 385 7J\I%r 18.18 Bags 387 %tpjy, 18.13 进一步研究 388 2HUoT\M 19 vStack 389 bR.T94-8y 19.1 vStack基本原理 389 vg<_U&N=-r 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Bi]%bl>% 19.3 五棱镜 393 ,MdCeA%` 19.4 光束距离 396
U7O2. y+ 19.5 误差 399 0=~Ji_5mB 19.6 二向分色棱镜 399 w1.~N`g$ 19.7 偏振泄漏 404 zk?lNs 19.8 波前误差—相位 405 Zscmc;G 19.9 其它计算参数 405 '8Yx 20 报表生成器 406 JAYom%A" 20.1 入门 406 &_ber ad 20.2 指令(Instructions) 406 mIOx)`$ 20.3 页面布局指令 406 Mv_4*xVc 20.4 常见的参数图和三维图 407 8YCtU9D 20.5 表格中的常见参数 408 [qc90)^Q, 20.6 迭代指令 408 cdk;HK_Ve. 20.7 报表模版 408 UJO+7h' 20.8 开始设计一个报表模版 409 ?=6zgb"9- 21 一个新的project 413 *<J**FhcMu 21.1 创建一个新Job 414 XBBsdldZ 21.2 默认设计 415 o +&/ N-t 21.3 薄膜设计 416 o|*,<5t 21.4 误差的灵敏度计算 420 GZ9XG"> 21.5 显色指数计算 422 o)w'w34FCT 21.6 电场分布 424 yQ\c<z^e 后记 426 g=b'T- [attachment=114528] $H?v 有兴趣扫码联系 xHHG|
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