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2022-09-21 08:50 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
#]<j.Fc` 内容简介 fvK):eCo Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 :pj#t$:! 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 uq~$HXdc 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 e}Cp;c]= 6,*hzyy}Qu
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 hZf0q 2 目录 wR
+C> Preface 1 7.-Q9xv 内容简介 2 ,<s'/8Ik 目录 i H4p N+ 1 引言 1 ~6L\9B) 2 光学薄膜基础 2 |1C=Ow*" 2.1 一般规则 2 $,Y\ 2.2 正交入射规则 3 vp7J'; 2.3 斜入射规则 6 B'"(qzE-kM 2.4 精确计算 7 hi4#8W 2.5 相干性 8 hw]x T5 2.6 参考文献 10 :"5'l>la 3 Essential Macleod的快速预览 10 _]:wltPv 4 Essential Macleod的特点 32 Z~)Bh~^A 4.1 容量和局限性 33 .si!`?K%[ 4.2 程序在哪里? 33
b$\3Y'": 4.3 数据文件 35 5:v"^"S z 4.4 设计规则 35 E+-ahvk 4.5 材料数据库和资料库 37 %_C!3kKv~ 4.5.1材料损失 38 GyQu?` 4.5.1材料数据库和导入材料 39 78&(>8@m 4.5.2 材料库 41 6qg_&woJ3 4.5.3导出材料数据 43 l2Z!;Wm( 4.6 常用单位 43 6cH.s+ 4.7 插值和外推法 46 fvnj:3RK 4.8 材料数据的平滑 50 w6 0I;.hy 4.9 更多光学常数模型 54 mTXeIng? 4.10 文档的一般编辑规则 55 '&?cW#J? 4.11 撤销和重做 56 V9\g?w 4.12 设计文档 57 S_?{<{ 4.10.1 公式 58 3>;zk#b2 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 yop,%Fe 4.10.3 沉积密度 59 AX=$r]_ 4.10.4 平行和楔形介质 60 x[l_dmq 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 xQ4 5B`$ 4.10.4 性能 61 "`<tq#&C1 4.10.5 保存设计和性能 64 }jTCzqHW] 4.10.6 默认设计 64 _Bh-*e2k 4.11 图表 64 ^y:!=nX^ 4.11.1 合并曲线图 67 Mg3>/! 4.11.2 自适应绘制 68 Dn/{ s$\ 4.11.3 动态绘图 68 k$]-fQM 4.11.4 3D绘图 69 ^W!w~g+ 4.12 导入和导出 73 n<RvL^T=
4.12.1 剪贴板 73 a&oz<4oT 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 'MZX"t 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Q'-g+aN 4.13 背景 77 nGb%mlb 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ZH6#(;b 4.15 生成Rugate 84 JAPiR= 4.16 参考文献 91 0'&N?rS 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 n:QFwwQ`Q; 5.1 Jobs 92 4#D=+70' 5.2 创建一个新Job(工作) 93 J3/2>N]/} 5.3 输入材料 94 F?"#1je 5.4 设计数据文件夹 95 i$`OOV=/e 5.5 默认设计 95 2^Y@e=^A 6 细化和合成 97 =e\E{K'f@ 6.1 优化介绍 97 6,Aj5jG 6.2 细化 (Refinement) 98 3O % u? 6.3 合成 (Synthesis) 100 \X&LrneR"t 6.4 目标和评价函数 101 jm~(OLg 6.4.1 目标输入 102 [fVtQ@-S! 6.4.2 目标 103 & !0 [T
6.4.3 特殊的评价函数 104 X{2))t%
6.5 层锁定和连接 104 Py?EA*(d# 6.6 细化技术 104 QN!.~> 6.6.1 单纯形 105 Th"0Cc) 6.6.1.1 单纯形参数 106 :yPA6O 4 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 MZ9{*y[z 6.6.2.1 Optimac参数 108 O [Q;[@ 6.6.3 模拟退火算法 109 2AN6(k4o 6.6.3.1 模拟退火参数 109 kFCjko 6.6.4 共轭梯度 111 [+7 Nu 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 `{1`>5 6.6.5 拟牛顿法 112 1E3'H7k\t 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 &+"-'7 6.6.6 针合成 113 AH?T}t2 6.6.6.1 针合成参数 114 d:|(l^]{r 6.6.7 差分进化 114 ~n)gP9Hv 6.6.8非局部细化 115 'dT JE--@ 6.6.8.1非局部细化参数 115 UD.&p'^ /{ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 sf""]c$ 6.7.1 细化 116 PWErlA:58 6.7.2 合成 117 G'>?/l# 6.8 参考文献 117 Z?XgY\(a(Q 7 导纳图及其他工具 118 kd0~@rPL 7.1 简介 118 'j6)5WL$ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 %M?A>7b 7.2.1 四分之一波长规则 119 YGAB2`!U 7.2.2 导纳图 120 oXKH,r 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 |[%CFm}+? 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 SM3qPlsF 7.5 斜入射导纳图 141 X{8/]'( 7.6 对称周期 141 +Ndo$|XCy] 7.7 参考文献 142 D I`
M 8 典型的镀膜实例 143 NhP&sQO 8.1 单层抗反射薄膜 145 ;|nC;D] 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 pUTC~|j%: 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 #HgXTC 8.4 W-膜层 148 [xaglZ9HNo 8.5 V-膜层 149 l8O12 8.6 V-膜层高折射基底 150 gOk<pRcTb= 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 :#yjg1aej 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 y[L7=Td 8.9 四层抗反射薄膜 153 Q#wl1P 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 RA5*QW
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 I $5*Puy# 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ?/EyfTex 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 *F ya
qJ) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 C`)n\?:Sth 8.15十五层宽带抗反射膜 159 P5&mpl1 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 tA,#!Z0 8.17 1/4波长堆栈 162 M@R_t(&= 8.18 陷波滤波器 163 *{/L7])gm 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ;JNI$DR 8.20 褶皱 165 k3:8T#N>!O 8.21 消偏振分光器1 169 ^+v6?%m 8.22 消偏振分光器2 171 fJjtrvNy) 8.23 消偏振立体分光器 172 HOEjLwH 8.24 消偏振截止滤光片 173 ch^tq",1> 8.25 立体偏振分束器1 174 pONBF3H8 8.26 立方偏振分束器2 177 FN-j@ 8.27 相位延迟器 178 'Fe1]B"Y 8.28 红外截止器 179 >Ei-Spy>Xl 8.29 21层长波带通滤波器 180 =|@%5&.P 8.30 49层长波带通滤波器 181 z}L3// 8.31 55层短波带通滤波器 182 jjs1Vj1@< 8.32 47 红外截止器 183 ;PBybRW 8.33 宽带通滤波器 184 |fQl0hL 8.34 诱导透射滤波器 186 q;XO1Se 8.35 诱导透射滤波器2 188 =Wb!j18] 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 LTSoo.dE 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
]+ \]2`? 8.35 增益平坦滤波器 193 Sk'S`vH 8.38 啁啾反射镜 1 196 z /
YF7wrx 8.39 啁啾反射镜2 198 wZ^7#yX> 8.40 啁啾反射镜3 199 `2 vv8cg^ 8.41 带保护层的铝膜层 200 xj1FCT2 8.42 增加铝反射率膜 201 3I rmDT 8.43 参考文献 202 zsQhydTR 9 多层膜 204 |'C{nTX 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Ym)8L. 9.2 内部透过率 204 w]BZgF. 9.3 内部透射率数据 205 W?*]'0 9.4 实例 206 ]A;{D~X^w 9.5 实例2 210 >o#5tNm 9.6 圆锥和带宽计算 212 v|VfSLZTb 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 `ViFY
10 光学薄膜的颜色 216 9c/&+j 10.1 导言 216 #i#4h<R 10.2 色彩 216 e``X6=rcG 10.3 主波长和纯度 220 rPk=9I 10.4 色相和纯度 221 $m.e}`7SF! 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 N*k` 'T 10.6 色差 226 YW|KkHi* 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 b~M3j& 10.8 颜色渲染指数 234 F<KUVe 10.9 色差计算 235 Cg~GlZk} 10.10 参考文献 236 NAy3Zd} 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ypoJ4EZ( 11.1 短脉冲 238 B&tU~ 11.2 群速度 239 z}Qt6na]- 11.3 群速度色散 241 ;NyX9&@ 11.4 啁啾(chirped) 245 MZpG1 11.5 光学薄膜—相变 245 `%8by y@$ 11.6 群延迟和延迟色散 246 R\L0 11.7 色度色散 246 +m> %(?=A 11.8 色散补偿 249 Af zE0mBW 11.9 空间光线偏移 256 2>E.Q@c 11.10 参考文献 258
\= M*x 12 公差与误差 260 :RJ=f 12.1 蒙特卡罗模型 260 LX4*3c|i, 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 p4\r` 12.2.1 误差工具 267 $"+ahS<?tC 12.2.2 灵敏度工具 271 wKjL}1.k 12.2.2.1 独立灵敏度 271 (6xrs_ea 12.2.2.2 灵敏度分布 275 U!GG8;4 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 tMWDKatb 12.3 参考文献 276 h\ZnUn_J 13 Runsheet 与Simulator 277 %fS__Tb#u 13.1 原理介绍 277 ?a8 o.&`l 13.2 截止滤光片设计 277 |<,!K;@ 14 光学常数提取 289 rt\i@} 14.1 介绍 289 {Jv m * 14.2 电介质薄膜 289 sqAZjfy@ 14.3 n 和k 的提取工具 295 .A: #l? 14.4 基底的参数提取 302 y4aW8J# 14.5 金属的参数提取 306 DE GEr- 14.6 不正确的模型 306 67Z.aaXD1 14.7 参考文献 311 *x^W`i
15 反演工程 313 we<m%pf 15.1 随机性和系统性 313 ";jj` 15.2 常见的系统性问题 314 'USol< 15.3 单层膜 314 n[jyhBf\W 15.4 多层膜 314 -}l iG 15.5 含义 319
5jj<sj!S 15.6 反演工程实例 319 80X #V 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 !n<vN@V*3d 15.6.2 反演工程提取折射率 327 V~V_+ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 P4{8pO]B 16.1 光学性质的热致偏移 329 _z:7Dj# 16.2 应力工具 335 l{:7*U{d 16.3 均匀性误差 339 aP}kl[W 16.3.1 圆锥工具 339 g\ r%A 16.3.2 波前问题 341 LwpO_/qV 16.4 参考文献 343 faqOGAb 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 .OLm{ 17.1 引言 345 JXG%Cx!2} 17.2 操作数 345 jhd&\z- 18 如何在Function中编写脚本 351 w1Z9@*C! 18.1 简介 351 qpo3b7(N 18.2 什么是脚本? 351 b?6-lYE>L 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 I]HrtI 18.4 基础 352 !d@q T. 18.4.1 Classes(类别) 352 c/fU0cA@ 18.4.2 对象 352 n
H)6mOYp 18.4.3 信息(Messages) 352 &5]&6TD6 18.4.4 属性 352 Te%2(w,B 18.4.5 方法 353 M2UF3xD 18.4.6 变量声明 353 +RXKI{0Km 18.5 创建对象 354 Hw 7 18.5.1 创建对象函数 355 _K(w&Kr 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 (vX+
Yw 18.5.3 丢弃对象 356 i:9f# 18.5.4 总结 356 muMb pF 18.6 脚本中的表格 357 m+y5Q&;f 18.6.1 方法1 357 Z`L-UQJ. 18.6.2 方法2 357 Czj]jA(0f 18.7 2D Plots in Scripts 358 ,e6n3]W8 18.8 3D Plots in Scripts 359 q*`1<9{H 18.9 注释 360 ~b.C[s 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 *D&(6$[ ^ 18.11 一个更高级的脚本 362 ~p9nAACU 18.12 <esc>键 364 |"4+~z%/9! 18.13 包含文件 365 a[Pyxx_K 18.14 脚本被优化调用 366 8y9oj9
;E] 18.15 脚本中的对话框 368 n<
npJ* 18.15.1 介绍 368 } 0su[gy[ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 =o g5Mh, 18.15.3 输入框函数 370 JmHEYPt0 18.15.4 自定义对话框 371 o :`>r/SlL 18.15.5 对话框编辑器 371 }.j<kmd 18.15.6 控制对话框 377 13+f ^ 18.15.7 更高级的对话框 380 QWqEe|}6 18.16 Types语句 384 i98>=y~ 18.17 打开文件 385 T(Q(7 18.18 Bags 387 mmE!!J`B 18.13 进一步研究 388 Mf7Z5 19 vStack 389 T8nOb9Nrj 19.1 vStack基本原理 389 nnP]x [ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 <1r#hFUUL 19.3 五棱镜 393 *fz]Q>2g a 19.4 光束距离 396 sL; 19.5 误差 399 K9{]v=#I 19.6 二向分色棱镜 399 j2@19YXe@ 19.7 偏振泄漏 404 ]yc&ffe% 19.8 波前误差—相位 405 Dt)O60X3> 19.9 其它计算参数 405 1N8:,bpsT 20 报表生成器 406 \6]Uj+ 20.1 入门 406 o75Hit 20.2 指令(Instructions) 406 ]+C;C 20.3 页面布局指令 406 kU*Fif 20.4 常见的参数图和三维图 407 dRl*rP/ 20.5 表格中的常见参数 408 X\\c=[#8- 20.6 迭代指令 408 KwEyMR! 20.7 报表模版 408 nSMw 5
20.8 开始设计一个报表模版 409 %(f&).W 21 一个新的project 413 <xb =.xe 21.1 创建一个新Job 414 I.C,y\ 21.2 默认设计 415 ]@Gw$ 21.3 薄膜设计 416 75>)1H)Xm 21.4 误差的灵敏度计算 420 ],!7S"{97 21.5 显色指数计算 422 %Z:07|57I[ 21.6 电场分布 424 ?^y!}( 后记 426 V:<NQd [attachment=114528] itH`
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