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2022-09-06 11:15 |
基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
LL~bq(b 内容简介 * /S=9n0 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 e1e2Wk 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 :
"[dr~. 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 kfF.Ctr1a EwSE;R -
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 PvzB, 2": 目录 J$)lYSNE Preface 1 6Xjr0C+ 内容简介 2 *QzoBpO< 目录 i SwESDo) 1 引言 1 LoHL}1BG- 2 光学薄膜基础 2 M1Jnn4w*d 2.1 一般规则 2 q%u;+/|l 2.2 正交入射规则 3 iJg3`1@j 2.3 斜入射规则 6 D0?l$]aE 2.4 精确计算 7 ^O
cM)Z6h 2.5 相干性 8 `I.Uw$,P 2.6 参考文献 10 s=lkK/ [ 3 Essential Macleod的快速预览 10 d#@N2 4 Essential Macleod的特点 32 ,B>Rc# 4.1 容量和局限性 33 +tz^ &( 4.2 程序在哪里? 33 ni#!Gxw 4.3 数据文件 35 \-mz[<ep 4.4 设计规则 35 a7#J af 4.5 材料数据库和资料库 37 lY5a=mwHU 4.5.1材料损失 38 ;!(.hCHvr 4.5.1材料数据库和导入材料 39 }.<%46_Z- 4.5.2 材料库 41 4_3
DQx9s 4.5.3导出材料数据 43 <~BheGmmy 4.6 常用单位 43 56Q9RU(M 4.7 插值和外推法 46 @g*=xwve=~ 4.8 材料数据的平滑 50 'l$<DcBj 4.9 更多光学常数模型 54 m/"\+Hv 4.10 文档的一般编辑规则 55 !BHIp7p 4.11 撤销和重做 56 hB#z8D 4.12 设计文档 57 f
Q.ea#xh^ 4.10.1 公式 58 W`fE@* k0 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 v4}kmH1 4.10.3 沉积密度 59 3IqYp K(s 4.10.4 平行和楔形介质 60 Yt"&8N] 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 :F:<{]oG_ 4.10.4 性能 61 ,*fvA? 4.10.5 保存设计和性能 64 .S&S#}$/] 4.10.6 默认设计 64 ZFy>Z:&S, 4.11 图表 64 UOrfwK 4.11.1 合并曲线图 67 S8+Xk= x 4.11.2 自适应绘制 68 L 6){wQ%c 4.11.3 动态绘图 68 ]*+ozAG4 4.11.4 3D绘图 69 8H_3.MK 4.12 导入和导出 73 ruM16*S{= 4.12.1 剪贴板 73 ;8UHnhk_O 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 {5U;9: sO6 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 C UOxx,V 4.13 背景 77 y: @[QhV 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 9
|Iq&S 4.15 生成Rugate 84 2RDos# 4.16 参考文献 91 9V&%_.Z 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 EJYfk?(B 5.1 Jobs 92 ,,r%Y&:`6 5.2 创建一个新Job(工作) 93 {\G4YQ 5.3 输入材料 94 5gWn{[[e)y 5.4 设计数据文件夹 95 #;'1aT 5.5 默认设计 95 DoA4#+RU 6 细化和合成 97 V)\|I8" 6.1 优化介绍 97 x,"'\=|s* 6.2 细化 (Refinement) 98 ;p%a!Im_< 6.3 合成 (Synthesis) 100 )+[IR 6.4 目标和评价函数 101 1cS{3 6.4.1 目标输入 102 k3se<NL[ 6.4.2 目标 103 6vz9r)L 6.4.3 特殊的评价函数 104 6o&{~SV3 6.5 层锁定和连接 104 emb~l{K $ 6.6 细化技术 104 =8 d`qS" 6.6.1 单纯形 105 Y;>0)eP 6.6.1.1 单纯形参数 106 Rxld$@~-(] 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 .H+`]qLkL 6.6.2.1 Optimac参数 108 a
1bu 6.6.3 模拟退火算法 109 0V*L",9M 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Zk2-U"0\o 6.6.4 共轭梯度 111 <#ujm fD 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 $53I%. 6.6.5 拟牛顿法 112 zEJ|;oL 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ?lCKZm.,(- 6.6.6 针合成 113 `':$PUz,g 6.6.6.1 针合成参数 114 ,WbO8#z+ 6.6.7 差分进化 114 c]O3pcU 6.6.8非局部细化 115 rWF~aec 6.6.8.1非局部细化参数 115 !G3O!] 6.7 我应该使用哪种技术? 116 |SXMd'<3`Z 6.7.1 细化 116 X""<5s'0 6.7.2 合成 117 ' -[ 6.8 参考文献 117 o9~ Z! &p 7 导纳图及其他工具 118 N. 3
x[%: 7.1 简介 118 n@w$5y1@ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 -8Z%5W` 7.2.1 四分之一波长规则 119 |_ HH[s*U 7.2.2 导纳图 120 t)XNS!6#]? 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 H Kx2QFB 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 3]0ETcT 7.5 斜入射导纳图 141 R@t?!`f!+ 7.6 对称周期 141 6w<jg/5t 7.7 参考文献 142 SZH,I&8 8 典型的镀膜实例 143 !0ySS {/ 8.1 单层抗反射薄膜 145 IX;u +B 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Q$G!-y+"i 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 CD%wi:C%| 8.4 W-膜层 148 `TKe+oS) 8.5 V-膜层 149 mZJ"e,AY 8.6 V-膜层高折射基底 150 %0@Jm)K^ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 sCSrwsbhv 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 jR\&2;T 8.9 四层抗反射薄膜 153 F))+a&O 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Z1u{.^~ ^z 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 +mE y7qM 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 He. gl 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 %7pT\8E5 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 +j&4[;8P: 8.15十五层宽带抗反射膜 159 zS 18Kl 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 XJDp%B 8.17 1/4波长堆栈 162 Y<%$;fx$Sx 8.18 陷波滤波器 163 dGf{d7 D 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 N|?"=4Z? 8.20 褶皱 165 6",1JH,;p 8.21 消偏振分光器1 169 {e0cc1Up} 8.22 消偏振分光器2 171 ` *x;&.&v 8.23 消偏振立体分光器 172 I0sd%'Ht? 8.24 消偏振截止滤光片 173 8v\BW^z3 8.25 立体偏振分束器1 174 wqJ^tA! 8.26 立方偏振分束器2 177 ^aN;M\ 8.27 相位延迟器 178 5Q,#Co 8.28 红外截止器 179 D`,W1Z# 8.29 21层长波带通滤波器 180 QNJ )HNLp 8.30 49层长波带通滤波器 181 1om :SHw 8.31 55层短波带通滤波器 182 F#eZfj~ 8.32 47 红外截止器 183 7"wr8 8.33 宽带通滤波器 184 u) y6 $ 8.34 诱导透射滤波器 186 i-~HT4iw 8.35 诱导透射滤波器2 188 j8WnXp_ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 IQf:aX 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ComVY4, 8.35 增益平坦滤波器 193 eaCv8zdX 8.38 啁啾反射镜 1 196 NGtSC_~d 8.39 啁啾反射镜2 198 R}>xpU1 8.40 啁啾反射镜3 199 XzgJ@ 8.41 带保护层的铝膜层 200 k?3NF:Yy7 8.42 增加铝反射率膜 201 iyAeR!` 8.43 参考文献 202 K[PH#dF5,x 9 多层膜 204 0#0[E , 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 x
hBlv 9.2 内部透过率 204 BSYJ2 9.3 内部透射率数据 205 Pqli3( 9.4 实例 206 3#`_t :"A 9.5 实例2 210 @
U
xO! 9.6 圆锥和带宽计算 212 [Nbs{f^J= 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 #S)+eH 10 光学薄膜的颜色 216 NK;%c-r0v7 10.1 导言 216 FY+0r67] 10.2 色彩 216 !f[LFQD 10.3 主波长和纯度 220 CtJ*:wF 10.4 色相和纯度 221 YAQ]2<H 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 |N/Grk4 10.6 色差 226 6^y*A!xY 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 N}Q%y(O^ 10.8 颜色渲染指数 234 s.`:9nj 10.9 色差计算 235 =+;l>mn?O 10.10 参考文献 236 #N9^C@ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 smaPZ^;; j 11.1 短脉冲 238 &~)PB
| 11.2 群速度 239 ,r^zDlS<q 11.3 群速度色散 241 ~Gm<F .(+ 11.4 啁啾(chirped) 245 wd*8w$\ 11.5 光学薄膜—相变 245 w#mna b@ 11.6 群延迟和延迟色散 246 @a2n{ 11.7 色度色散 246 p^QZGu-.W 11.8 色散补偿 249 {~q"Y]? 11.9 空间光线偏移 256 ~A^E_ 11.10 参考文献 258 ~SUrbRaY> 12 公差与误差 260 nX%b@cOXj 12.1 蒙特卡罗模型 260 3'tcEFkH 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 n'*4zxAA 12.2.1 误差工具 267 9MP_#M7 12.2.2 灵敏度工具 271 Sv3O${B| 12.2.2.1 独立灵敏度 271 -([
ipg(r 12.2.2.2 灵敏度分布 275 y0s=yN_ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 l@:Tw.+/9 12.3 参考文献 276 &?X0;,5) 13 Runsheet 与Simulator 277 3{c6)vR2 13.1 原理介绍 277 .5$"qb
? 13.2 截止滤光片设计 277 C\2 rSyo 14 光学常数提取 289 "3 Y(uN 14.1 介绍 289 DR]=\HQ 14.2 电介质薄膜 289 ZtHTl\z 14.3 n 和k 的提取工具 295 EZs"?A 14.4 基底的参数提取 302 @7S*
] 14.5 金属的参数提取 306 >^Rkk{cc 14.6 不正确的模型 306 }fC= 14.7 参考文献 311 xf2|9Tqt 15 反演工程 313 u%m,yPU~B 15.1 随机性和系统性 313 Iu"7 15.2 常见的系统性问题 314 l9{}nz 15.3 单层膜 314 Yzr)UJl*I 15.4 多层膜 314 V[DiN~H 15.5 含义 319 ZZ'5BfI"I% 15.6 反演工程实例 319 <|-da&7 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 M02U,!di 15.6.2 反演工程提取折射率 327 (8"advc6 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 a4d7;~tZ 16.1 光学性质的热致偏移 329 + /+> : 16.2 应力工具 335 p~Wy`g- 16.3 均匀性误差 339 2WO5Af% 16.3.1 圆锥工具 339 lKdd3W"o 16.3.2 波前问题 341 +H{TV#+r 16.4 参考文献 343 4og/y0n,l" 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ohU}ST:9 17.1 引言 345 s5s'[< 17.2 操作数 345 njxfBA: 18 如何在Function中编写脚本 351 gN@|lHbU 18.1 简介 351 k\76`!B 18.2 什么是脚本? 351 UaCfXTG 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 B6kc9XG 18.4 基础 352 { )g
$ 18.4.1 Classes(类别) 352 ,>p1:pga 18.4.2 对象 352 q-hR EO 18.4.3 信息(Messages) 352 .Gt_~x 18.4.4 属性 352 C'7DG\pr 18.4.5 方法 353 `92P~Y~`W 18.4.6 变量声明 353 %*
k`z#b 18.5 创建对象 354 3\}>nE 18.5.1 创建对象函数 355 38mC+%iC 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 i 558&: 18.5.3 丢弃对象 356 <k?pnBI_ 18.5.4 总结 356 ~pT1,1 18.6 脚本中的表格 357 q6PG=9d0B 18.6.1 方法1 357 d{J@A;da 18.6.2 方法2 357 X5pb9zRq 18.7 2D Plots in Scripts 358 R53^3"q~ 18.8 3D Plots in Scripts 359 xx@[ecW 18.9 注释 360 uv=a}U; 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 VUi> ]v/e 18.11 一个更高级的脚本 362 boq=@Qh 18.12 <esc>键 364 a]/KJn/B( 18.13 包含文件 365 eDsB.^|l 18.14 脚本被优化调用 366 jp;]dyU 18.15 脚本中的对话框 368 M5a&eO 18.15.1 介绍 368 p#%*z~ui 18.15.2 消息框-MsgBox 368 '%X29B5 18.15.3 输入框函数 370
jF-:e;- 18.15.4 自定义对话框 371 }Y^o("c(
18.15.5 对话框编辑器 371 [vY#9W"! 18.15.6 控制对话框 377 ;f~fGsH}e' 18.15.7 更高级的对话框 380 d6a3\f 18.16 Types语句 384 ppo0DC\> 18.17 打开文件 385 x2sKj"2?@ 18.18 Bags 387 [Tl66Eyl 18.13 进一步研究 388 _NB*+HVo 19 vStack 389 78\j 19.1 vStack基本原理 389 g>@a 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 boI&q>-6Re 19.3 五棱镜 393 &) 64:l& 19.4 光束距离 396 ^RJ@9`P&t 19.5 误差 399 K {kd:pr 19.6 二向分色棱镜 399 >8ryA$ 19.7 偏振泄漏 404 ,CI-IR2 19.8 波前误差—相位 405 ^Ze(WE) 19.9 其它计算参数 405 H$ %F0'0 20 报表生成器 406 HC}vO0X4 20.1 入门 406 wfv\xHG 20.2 指令(Instructions) 406 wH$qj'G4CN 20.3 页面布局指令 406 p+8o'dl8= 20.4 常见的参数图和三维图 407 aAbA)'G 20.5 表格中的常见参数 408 h\p!J-V 20.6 迭代指令 408 }SC&6B?G 20.7 报表模版 408 soLW'8 20.8 开始设计一个报表模版 409 Rc:}%a%e 21 一个新的project 413 suzK)rJ9i 21.1 创建一个新Job 414 HUMy\u84H 21.2 默认设计 415 z#Fel/L`O 21.3 薄膜设计 416 Ph%{h" 21.4 误差的灵敏度计算 420 .'&pw}F 21.5 显色指数计算 422 PZQAlO, 21.6 电场分布 424 /* qx5$~ 后记 426 X0iy 有兴趣加微咨询[attachment=114284] B~E">}=!
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