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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
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infotek
2022-09-06 08:45
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
=1R 2`H\
m,q)lbRl
内容简介
ts@$*
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。
BCz4 s{F
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
jCNR63/
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
MMET^SO
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
#4LTUVH
8,vP']4r%
目录
PX&}g-M9
Preface 1
H\<0{#F
内容简介 2
S[/udA
目录 i
VZ`YbY
1 引言 1
Sw-2vnSdM
2 光学薄膜基础 2
LCA+y1LP-_
2.1 一般规则 2
t4:/qy
2.2 正交入射规则 3
!J<0.nO/:
2.3 斜入射规则 6
V62lN<M
2.4 精确计算 7
40].:9VG
2.5 相干性 8
IV':sNV
2.6 参考文献 10
iS.gN&\z^
3 Essential Macleod的快速预览 10
3y2L!&'z
4 Essential Macleod的特点 32
Th\T$T`X$
4.1 容量和局限性 33
MzKl=G
4.2 程序在哪里? 33
Tw`dLK?
4.3 数据文件 35
DQV9=
4.4 设计规则 35
E U RKzJk
4.5 材料数据库和资料库 37
!~'D;Jh
4.5.1材料损失 38
w7pX]<?R"
4.5.1材料数据库和导入材料 39
J n2QvUAZ&
4.5.2 材料库 41
=c&.I}^1L
4.5.3导出材料数据 43
){,Mv:#+T
4.6 常用单位 43
3bo [34
4.7 插值和外推法 46
""N~##)8
4.8 材料数据的平滑 50
*nHMQ/uf
4.9 更多光学常数模型 54
&P35\q
4.10 文档的一般编辑规则 55
N,VI55J:y>
4.11 撤销和重做 56
*u,&?fCl
4.12 设计文档 57
BAi0w{
4.10.1 公式 58
]{+Y!tD
4.10.2 更多关于膜层厚度 59
3X ',L*f
4.10.3 沉积密度 59
(47la$CR
4.10.4 平行和楔形介质 60
( 'dbMH\O
4.10.5 渐变折射率和散射层 60
THK^u+~LM
4.10.4 性能 61
RwrRN+&s\
4.10.5 保存设计和性能 64
4,Uqcw?!F'
4.10.6 默认设计 64
)_o^d>$da
4.11 图表 64
JlRNJ#h>
4.11.1 合并曲线图 67
S-7 C'dc
4.11.2 自适应绘制 68
]8Xip/uE
4.11.3 动态绘图 68
>+!Ef
4.11.4 3D绘图 69
2!b##`UjA7
4.12 导入和导出 73
wPcEvGBN=
4.12.1 剪贴板 73
7<B-2g
4.12.2 不通过剪贴板导入 76
fuF{8-ua
4.12.3 不通过剪贴板导出 76
Q+QD,
4.13 背景 77
4)'U!jSb
4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
%S$$*|_G
4.15 生成Rugate 84
HN5,MD[
4.16 参考文献 91
0B}2~}#
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
tAY{+N]f
5.1 Jobs 92
pW>{7pXn
5.2 创建一个新Job(工作) 93
MtoOIkQ
5.3 输入材料 94
[9MbNJt 8~
5.4 设计数据文件夹 95
%p&y/^=0I
5.5 默认设计 95
/Ah&d@b
6 细化和合成 97
P46Q3EE
6.1 优化介绍 97
v#X#F9C
6.2 细化 (Refinement) 98
o?a3hD
6.3 合成 (Synthesis) 100
>&7^yXS
6.4 目标和评价函数 101
_G25$%/LU
6.4.1 目标输入 102
n%4/@M
6.4.2 目标 103
iJmzVR+
6.4.3 特殊的评价函数 104
#5'& |<
6.5 层锁定和连接 104
VRD^> Gi
6.6 细化技术 104
lNWP9?X
6.6.1 单纯形 105
6h %rt]g
6.6.1.1 单纯形参数 106
~<_WYSzS
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
F*>#Xr~/
6.6.2.1 Optimac参数 108
9tVV?Q@)
6.6.3 模拟退火算法 109
!=a]Awr\
6.6.3.1 模拟退火参数 109
?A*!rW:l;
6.6.4 共轭梯度 111
n&?)gKL0g
6.6.4.1 共轭梯度参数 111
[+xsX*+
6.6.5 拟牛顿法 112
w&Gc#-B
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
`<M>"~W
6.6.6 针合成 113
X;l/D},.
6.6.6.1 针合成参数 114
>V)"TZH
6.6.7 差分进化 114
)c'E9ZuZ>d
6.6.8非局部细化 115
Q>rr?L`
6.6.8.1非局部细化参数 115
%b4tyX:N0
6.7 我应该使用哪种技术? 116
-)}Z $;1a
6.7.1 细化 116
SPt/$uYJ
6.7.2 合成 117
L G5_\sY!
6.8 参考文献 117
[)~1Lu
7 导纳图及其他工具 118
#d-zH:uq
7.1 简介 118
GdVF;
7.2 薄膜作为导纳的变换 118
-57~7 <N
7.2.1 四分之一波长规则 119
@|Yn~PwKs
7.2.2 导纳图 120
yRXWd*9
7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
v:yU+s|kN
7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
5Pn.c!
7.5 斜入射导纳图 141
Y|Gp\
7.6 对称周期 141
WulyMcJ
7.7 参考文献 142
::$W .!Uv
8 典型的镀膜实例 143
{B4qeG5
8.1 单层抗反射薄膜 145
{ilz[LM8(
8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
7*KUM6z
8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
dM= &?g
8.4 W-膜层 148
$8%"bR;Hu
8.5 V-膜层 149
p^RX<L/\=_
8.6 V-膜层高折射基底 150
LSJ.pBl\X
8.7 V-膜层高折射率基底b 151
|vl~B|",
8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
}^&f {
8.9 四层抗反射薄膜 153
111A e*U
8.10 Reichert抗反射薄膜 154
p$'S\W|
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
mY4pvpZw8
8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
/3~L#jS
8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
%\T,=9tD\
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
&s vg<UZ
8.15十五层宽带抗反射膜 159
`Y4K w
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
Y'iyfnk
8.17 1/4波长堆栈 162
7KhS{w6
8.18 陷波滤波器 163
#YE?&5t
8.19 厚度调制陷波滤波器 164
pQ:^ ziwa3
8.20 褶皱 165
6Uk+a=Ar
8.21 消偏振分光器1 169
5 k3m"*
8.22 消偏振分光器2 171
7N[".V]c
8.23 消偏振立体分光器 172
xS/W}-dPv
8.24 消偏振截止滤光片 173
Nyy&'\`!
8.25 立体偏振分束器1 174
2RX]~}
8.26 立方偏振分束器2 177
o&E8<e
8.27 相位延迟器 178
',0:/jSz
8.28 红外截止器 179
S=!WFKcJR
8.29 21层长波带通滤波器 180
\j`0f=z_
8.30 49层长波带通滤波器 181
Gd%i?(U,R
8.31 55层短波带通滤波器 182
:&vX0 Ce:
8.32 47 红外截止器 183
c.IUqin
8.33 宽带通滤波器 184
nwKp8mfP
8.34 诱导透射滤波器 186
Ol RXgJ
8.35 诱导透射滤波器2 188
rC^5Z
8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
iv~R4;;)
8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
IRm}?hHf
8.35 增益平坦滤波器 193
\(i'i C
8.38 啁啾反射镜 1 196
]|CcQ1#|H
8.39 啁啾反射镜2 198
@Z ==B%`
8.40 啁啾反射镜3 199
,^?g\&f(
8.41 带保护层的铝膜层 200
Unb2D4&'
8.42 增加铝反射率膜 201
qhGz2<}_j
8.43 参考文献 202
spfW)v/T!
9 多层膜 204
AyO%,6p[
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
6v3l^~kc'
9.2 内部透过率 204
,yGbMOV
9.3 内部透射率数据 205
!~vK[G(R
9.4 实例 206
Nz2V aZ
9.5 实例2 210
]!{S2x&"
9.6 圆锥和带宽计算 212
5VTVx1P[8
9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
w UxFE=ia
10 光学薄膜的颜色 216
ev;&n@k_I
10.1 导言 216
tC'E#2
10.2 色彩 216
IQO|)53)
10.3 主波长和纯度 220
P_A@`eU0
10.4 色相和纯度 221
3LET zsJ
10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
eTp|!T
10.6 色差 226
[ *Dj:A)V^
10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
Wm6qy6HR
10.8 颜色渲染指数 234
`Jc/ o=]
10.9 色差计算 235
}e$
10.10 参考文献 236
{nwoJ'-V
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
jV}8VK*`+
11.1 短脉冲 238
.m]}Ba}J$
11.2 群速度 239
[o<hQ`&
11.3 群速度色散 241
yIKpyyC9H
11.4 啁啾(chirped) 245
CK n2ZL
11.5 光学薄膜—相变 245
&qS%~h%2
11.6 群延迟和延迟色散 246
m*]`/:/X[
11.7 色度色散 246
$b|LZE\bU.
11.8 色散补偿 249
-E?:W`!
11.9 空间光线偏移 256
*eoH"UFYQ#
11.10 参考文献 258
;<garDf
12 公差与误差 260
YjDQ`f/
12.1 蒙特卡罗模型 260
06]3+s{{
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
)oCL![^pXe
12.2.1 误差工具 267
*gwaW!=
12.2.2 灵敏度工具 271
>}* W$i
12.2.2.1 独立灵敏度 271
R/v|ZvI
12.2.2.2 灵敏度分布 275
,A{Bx`o?
12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
IVh5SS
12.3 参考文献 276
et+lL"&
13 Runsheet 与Simulator 277
0FcDO5ia
13.1 原理介绍 277
iXm&\.%
13.2 截止滤光片设计 277
Sqn>L`Lz
14 光学常数提取 289
h&j2mv(
14.1 介绍 289
tAN!LI+w
14.2 电介质薄膜 289
@}4>:\es
14.3 n 和k 的提取工具 295
[nxYfER7
14.4 基底的参数提取 302
)L9eLxI
14.5 金属的参数提取 306
i[KXkjr
14.6 不正确的模型 306
- 2L(])t6
14.7 参考文献 311
l!:bNMd
15 反演工程 313
:'bZ:J>f
15.1 随机性和系统性 313
]z'L1vQl7
15.2 常见的系统性问题 314
6ZIPe~`
15.3 单层膜 314
(5jKUQ8Q>
15.4 多层膜 314
9R$$(zB 1;
15.5 含义 319
-E\G3/*51
15.6 反演工程实例 319
ynA_Z^j
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
lknj/i5L
15.6.2 反演工程提取折射率 327
#D_Ti%.^}
16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
sd\}M{U
16.1 光学性质的热致偏移 329
^*l dsc
16.2 应力工具 335
OulRqbL2
16.3 均匀性误差 339
kI`HD
16.3.1 圆锥工具 339
2j4202
16.3.2 波前问题 341
5P<"I["
16.4 参考文献 343
(QIU 3EN
17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
H%m^8yW1
17.1 引言 345
{P?Ge
17.2 操作数 345
TkTGYh
18 如何在Function中编写脚本 351
WrwbLl E
18.1 简介 351
xytWE:=
18.2 什么是脚本? 351
t'Yd+FK
18.3 Function中脚本和操作数对比 351
c),UO^EqV
18.4 基础 352
8-+# !]
18.4.1 Classes(类别) 352
e6'0g=Y#
18.4.2 对象 352
J37vA zK%
18.4.3 信息(Messages) 352
C4E}.``Hm
18.4.4 属性 352
!Yo2P"
18.4.5 方法 353
DA=LR
18.4.6 变量声明 353
MMjewGxe
18.5 创建对象 354
0*]0#2Z
18.5.1 创建对象函数 355
W:<2" &7
18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
2Ax(q&`9
18.5.3 丢弃对象 356
@}UOm-M
18.5.4 总结 356
J",Cwk\
18.6 脚本中的表格 357
/b{@']
18.6.1 方法1 357
i8Be%y%y
18.6.2 方法2 357
pD P* 3
18.7 2D Plots in Scripts 358
"=]'"'B:
18.8 3D Plots in Scripts 359
(~\HizSl
18.9 注释 360
TQt[he$O
18.10 脚本管理器调用Scripts 360
w`boQ_Ir
18.11 一个更高级的脚本 362
y46sL~HRv
18.12 <esc>键 364
H '5zl^8I
18.13 包含文件 365
U{EcV%C2
18.14 脚本被优化调用 366
q ) 5s'(
18.15 脚本中的对话框 368
^&F.T-( A
18.15.1 介绍 368
a$uDoi
18.15.2 消息框-MsgBox 368
'GW~~UhdW
18.15.3 输入框函数 370
}c9RDpjh~
18.15.4 自定义对话框 371
hT=E~|O
18.15.5 对话框编辑器 371
CiU^U|~ 'L
18.15.6 控制对话框 377
8}oe))b
18.15.7 更高级的对话框 380
{3os9r,
18.16 Types语句 384
4Vj]bm
18.17 打开文件 385
Tw/7P~*
18.18 Bags 387
BThrv$D}
18.13 进一步研究 388
#( 4)ps.
19 vStack 389
Y]&2E/oc
19.1 vStack基本原理 389
l;z+E_sQ
19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
3KD:JKn^
19.3 五棱镜 393
r^s$U,e#~
19.4 光束距离 396
)MN 6\v
19.5 误差 399
qoQ,3&<
19.6 二向分色棱镜 399
_NuHz
19.7 偏振泄漏 404
V?MaI.gj
19.8 波前误差—相位 405
]*DIn1C^
19.9 其它计算参数 405
L eUp!
20 报表生成器 406
rIv#YqT
20.1 入门 406
5 a&a-(
20.2 指令(Instructions) 406
F ww S[3
20.3 页面布局指令 406
[mUC7Kpi
20.4 常见的参数图和三维图 407
V,7Xeh(+5L
20.5 表格中的常见参数 408
OlW5k`B
20.6 迭代指令 408
slA~k;K:_
20.7 报表模版 408
{R~L7uR@O
20.8 开始设计一个报表模版 409
U z)G Y
21 一个新的project 413
r_^]5C\
21.1 创建一个新Job 414
-k,}LJjo
21.2 默认设计 415
d8jP@>
21.3 薄膜设计 416
mk-L3H1@J3
21.4 误差的灵敏度计算 420
\o?
21.5 显色指数计算 422
]x_14$rk
21.6 电场分布 424
Qmv8T ^+
后记 426
[HRP&jr
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