《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）

Iqe4O~)   X.,SXNS+B   内容简介 8;p6~&).C~   Macleod软件自带的用户手册功能全面，其介绍涵盖了软件的方方面面，能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而，为了顺应目前薄膜行业的需求，急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍，以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作，因此，我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 jN 5Hku[?   《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结，结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod，其内容丰富，实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法，还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题，如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节，首先，从光学薄膜的基本理论出发（第2章），为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次，在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作，以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后，从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合，从而使大家将理论知识与实际经验结合起来，对实际镀膜提出实用的建议，以减少设计时间并降低生产成本。 kJ>l,AD/   薄膜光学涵盖范围很广，书中并附设计光盘和参考文献，有兴趣者可依此深入研究，为精准起见，在不影响理解的情况下，尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助，通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限，书中错误纰漏之处在所难免，本书若有不周之处，尚请读者不吝赐教。 *f.eyg#   讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 }@4m@_gR?   \Yz>=rY   目录 ]ss0~2   Preface 1 h(]O;a-   内容简介 2 -a]oN:ERb   目录 i "f~S3?^!2   1  引言 1 )#T(2A   2  光学薄膜基础 2 h -+vM9j   2.1  一般规则 2 R7e`Wn   2.2  正交入射规则 3 k5xzC&   2.3  斜入射规则 6 HvK<>9   2.4  精确计算 7 '%V ;oJ"   2.5  相干性 8 wX#=l?,K   2.6 参考文献 10 m=PSCIb   3  Essential Macleod的快速预览 10 <'-}6f3   4  Essential Macleod的特点 32 vC$[Zm   4.1  容量和局限性 33 fa/ '4   4.2  程序在哪里？ 33 Q)C#)|S   4.3  数据文件 35 h;^h[q1'   4.4  设计规则 35 '_g8fz 3   4.5  材料数据库和资料库 37 W4QVWn %3   4.5.1材料损失 38 d vkA-9   4.5.1材料数据库和导入材料 39 eq"a)QB3m   4.5.2 材料库 41 k:Uyez   4.5.3导出材料数据 43 \UGs_5OT   4.6  常用单位 43 4B<D.i ;}   4.7  插值和外推法 46 g* b%   4.8  材料数据的平滑 50 ToCB*GlL   4.9 更多光学常数模型 54 !?Z}b.%W   4.10  文档的一般编辑规则 55 O%tlj@?   4.11 撤销和重做 56 NV9D;g$Y   4.12  设计文档 57 UALwr>+VJ   4.10.1  公式 58 {w(6Tc   4.10.2 更多关于膜层厚度 59 CP|N 2rb   4.10.3  沉积密度 59 >wdR4!x!?   4.10.4 平行和楔形介质 60 un6grvxr   4.10.5  渐变折射率和散射层 60 Od^y&$|_%`   4.10.4  性能 61 X"y rA;,o   4.10.5  保存设计和性能 64 `T{{wty   4.10.6  默认设计 64 >VE,/?71@   4.11  图表 64 PGP9-M   4.11.1  合并曲线图 67 j S')!Wcu   4.11.2  自适应绘制 68 Dvo.yn|kB   4.11.3  动态绘图 68 Dsm_T1X   4.11.4  3D绘图 69 oS/<)>\Gv   4.12  导入和导出 73 T#|Qexz6 @   4.12.1  剪贴板 73  |UZ#2   4.12.2  不通过剪贴板导入 76 f/&Dy'OV7   4.12.3  不通过剪贴板导出 76 }7IS:"tu   4.13  背景 77 R4_4FEo   4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Um4 }`   4.15  生成Rugate 84 ,6}HAC $   4.16  参考文献 91 C^aP)& qt   5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 AVOzx00U   5.1  Jobs 92 f%an<>j^w   5.2  创建一个新Job（工作） 93 bkceR>h%   5.3  输入材料 94 8,a&i:C   5.4  设计数据文件夹 95 S3MMyS8   5.5  默认设计 95 M9_ y>N[0   6  细化和合成 97 F8Rd#^9PD   6.1  优化介绍 97 ZQD_w#0j   6.2  细化 (Refinement) 98 5:hajXd   6.3  合成 (Synthesis) 100 ?>1AT==wI   6.4  目标和评价函数 101 YS{])+s   6.4.1  目标输入 102 r'7;:   6.4.2  目标 103 ES;7_.q   6.4.3  特殊的评价函数 104 m_W\jz??k   6.5  层锁定和连接 104 ]-bA{ @tP.   6.6  细化技术 104 #@;RJJZg   6.6.1  单纯形 105 [k t!\-   6.6.1.1 单纯形参数 106 (W VN*OR?   6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 'D1 T"}   6.6.2.1 Optimac参数 108 ;'`T   6.6.3  模拟退火算法 109 (Vf&,b@U_   6.6.3.1　模拟退火参数 109 - A x$Y   6.6.4  共轭梯度 111 AZ(["kh[   6.6.4.1 共轭梯度参数 111 z;zyk   6.6.5  拟牛顿法 112 HN7(-ml=B   6.6.5.1 拟牛顿参数： 112 Ih;6(5z   6.6.6  针合成 113 `pn]jpW9   6.6.6.1 针合成参数 114 X)e6Y{vO   6.6.7 差分进化 114 Y1rU   6.6.8非局部细化 115 mv/'H^"[_   6.6.8.1非局部细化参数 115 2IFri|;-eb   6.7  我应该使用哪种技术？ 116 MSUkCWt!   6.7.1 　细化 116 05gU~6AF   6.7.2　 合成 117 vd|P THV_   6.8  参考文献 117 >DBaKLu\   7  导纳图及其他工具 118 we4e>)   7.1  简介 118 <*V%!pwIG   7.2  薄膜作为导纳的变换 118 'VS!<   7.2.1  四分之一波长规则 119 -;a}'1HOE   7.2.2  导纳图 120 ax[-907   7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 /+1+6MqRn*   7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 94=Wy-   7.5  斜入射导纳图 141 %C" wUAY   7.6  对称周期 141 t4GG@`   7.7  参考文献 142 awB1ryrOF   8  典型的镀膜实例 143 [c+[t3dz   8.1  单层抗反射薄膜 145 Y/2@P zA|   8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 :7KcD\fCj   8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 :XxsDD   8.4  W-膜层 148 jmxjiJKP   8.5  V-膜层 149 &?"(al?   8.6  V-膜层高折射基底 150 ?[hIv6c   8.7  V-膜层高折射率基底b 151 g>12!2}   8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 eGHxiC   8.9  四层抗反射薄膜 153 dGt;t5AnV   8.10  Reichert抗反射薄膜 154 c/DB"_}!a   8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 7<*sP%6bD   8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 oS 7q#`   8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 -GLI$_lLF   8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 ?x7zYE,6   8.15十五层宽带抗反射膜 159 =H%c/Jty   8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 12U1DEd>-   8.17  1/4波长堆栈 162 =Bcwd7+   8.18  陷波滤波器 163 T?4MFx#   8.19 厚度调制陷波滤波器 164 tV%:sk^d   8.20  褶皱 165 KhIg   8.21  消偏振分光器1 169 \XFF(   8.22  消偏振分光器2 171 -"Wp L2qD   8.23  消偏振立体分光器 172 >B<jR$`6@   8.24  消偏振截止滤光片 173 @d:TAwOI'   8.25  立体偏振分束器1 174 Azvj(j   8.26  立方偏振分束器2 177 J.W0F#?   8.27  相位延迟器 178 {U?/u93~   8.28  红外截止器 179 [~m@'/   8.29  21层长波带通滤波器 180 1v)ur\>R   8.30  49层长波带通滤波器 181 rV*9=   8.31  55层短波带通滤波器 182 ,#W>E,UU   8.32  47 红外截止器 183 S+ gzl#r   8.33  宽带通滤波器 184 X:+lD58   8.34  诱导透射滤波器 186 JnQ5r>!>3   8.35  诱导透射滤波器2 188 ZjF5*A8l   8.36  简单密集型光波复用（DWDM）滤波器 190 \=Rw/[lR   8.37  高级密集型光波复用技术（DWDM）滤波器 192 L}5nq@Uu)   8.35  增益平坦滤波器 193 _^]2??V   8.38  啁啾反射镜 1 196 :l~Wt7R   8.39  啁啾反射镜2 198 ;)].Dj9   8.40  啁啾反射镜3 199 }iZO0C   8.41  带保护层的铝膜层 200 >Vc;s!R   8.42  增加铝反射率膜 201 _Cn[|E   8.43  参考文献 202 .`*h2   9  多层膜 204 mX66}s}#   9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 3]"RaI4Q0   9.2  内部透过率 204 MWTzJGRT   9.3 内部透射率数据 205 1(t{)Z<   9.4  实例 206 xo3bY6<n   9.5  实例2 210 bwN>E+   9.6  圆锥和带宽计算 212 #~QkS_   9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 'qel3Fs"   10  光学薄膜的颜色 216 '*gY45yT`   10.1  导言 216 uflRW+-2   10.2  色彩 216 z0|%h?N   10.3  主波长和纯度 220 3H"bivK   10.4  色相和纯度 221 whFaL}2C   10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 0}v_usP   10.6 色差 226 Ot,eAiaX   10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 o+Cd\D69S   10.8  颜色渲染指数 234 Q#!|h:K   10.9  色差计算 235 N~Zcrt_D   10.10  参考文献 236 <g9@iUOI   11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 h2~b%|Pv   11.1  短脉冲 238 =, kH(rp2   11.2  群速度 239 )~@iM.}S2   11.3  群速度色散 241 %*J'!PC9n   11.4  啁啾(chirped) 245 wP:ab   11.5  光学薄膜—相变 245 ))Q3;mI"   11.6  群延迟和延迟色散 246 G_OLUuK?C   11.7  色度色散 246 vhsHyb   11.8  色散补偿 249 cvSr><(   11.9  空间光线偏移 256 @px4[   11.10  参考文献 258 o+-G@16   12  公差与误差 260 2x3%*r$   12.1  蒙特卡罗模型 260 Z'/sZ3Q}   12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 +7%}SV 2)   12.2.1  误差工具 267 #>)OLKP   12.2.2  灵敏度工具 271 LYM(eK5V   12.2.2.1 独立灵敏度 271 ;F3#AO4(   12.2.2.2 灵敏度分布 275 -bJC+Yn   12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 s,~)5nL   12.3  参考文献 276 M{)7C,'   13  Runsheet 与Simulator 277 #\DKU@|h   13.1  原理介绍 277 .MUoN k!   13.2  截止滤光片设计 277 FH Hi/yh   14  光学常数提取 289 d9bc>5%-F   14.1  介绍 289  a@mMa {   14.2  电介质薄膜 289 4<c#3]   14.3  n 和k 的提取工具 295 CEOD$nYc   14.4  基底的参数提取 302 RxUABF8b   14.5  金属的参数提取 306 b Ag>;e(   14.6  不正确的模型 306 dJ/(u&N   14.7  参考文献 311 |-vc/t2k>T   15  反演工程 313 H<YhO&D*u   15.1  随机性和系统性 313 ItLP&S=   15.2  常见的系统性问题 314 -XcX1_   15.3  单层膜 314 s01W_P.@R   15.4  多层膜 314 @)h rj2Jw   15.5  含义 319 I{rW+<)QGC   15.6  反演工程实例 319 Rq,ST:   15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 &uX|Ksq   15.6.2 反演工程提取折射率 327 4I %/}+Q   16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 Qx{[#[Da   16.1  光学性质的热致偏移 329 o>G^)aRa   16.2  应力工具 335 ZA;VA=)\8   16.3  均匀性误差 339 t 93iU?Z   16.3.1  圆锥工具 339 'OERW|BO   16.3.2  波前问题 341 ~sk{O%OI   16.4  参考文献 343 \@%sX24D   17  如何在Function（模块）中编写操作数 345 /d/Quro   17.1  引言 345 ,sn/FT^; q   17.2  操作数 345 B^{87YR   18  如何在Function中编写脚本 351 M?yWFqFt9m   18.1  简介 351 W5#5RK"uX   18.2  什么是脚本？ 351 !Eof7LUE   18.3  Function中脚本和操作数对比 351 VOmWRy"L   18.4  基础 352 ^Ko{# qbl/   18.4.1  Classes（类别） 352 @1p,   18.4.2  对象 352 P#8]m(   18.4.3  信息（Messages） 352 `;'fCO!   18.4.4  属性 352 vWM'}(   18.4.5  方法 353  4h zS   18.4.6  变量声明 353 "-tTN   18.5  创建对象 354 *,Mg   18.5.1  创建对象函数 355 ^KK9T5H   18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 W@:a3RJ   18.5.3 丢弃对象 356 G0u3*.   18.5.4  总结 356 RR8Z 9D;   18.6  脚本中的表格 357 pPezy:   18.6.1  方法1 357 ~w>Z !RuhT   18.6.2  方法2 357 1|PmZPKq9n   18.7 2D Plots in Scripts 358 O8J:Tw}M*   18.8 3D Plots in Scripts 359 JN{xh0*   18.9  注释 360 8G SO]R   18.10  脚本管理器调用Scripts 360 e>oE{_e   18.11  一个更高级的脚本 362 OR\-%JX/5   18.12  <esc>键 364 FyZiiH4|   18.13 包含文件 365 q|8p4X}/]   18.14  脚本被优化调用 366 o`@B*, @   18.15  脚本中的对话框 368 o4Bl!7U   18.15.1  介绍 368 gUrb&#\X   18.15.2  消息框-MsgBox 368 gw1| ?C   18.15.3  输入框函数 370 R+s_uwS   18.15.4  自定义对话框 371 X> *o\    18.15.5  对话框编辑器 371 Gn ]%'lrg'   18.15.6  控制对话框 377 tv _Cn w   18.15.7  更高级的对话框 380 >v+ia%o   18.16 Types语句 384 })l+-H"   18.17 打开文件 385 Q)l]TgvSe   18.18 Bags 387 h)M9Oup`   18.13  进一步研究 388 ?Z<2zm%qV   19  vStack 389 JMMsOA_]   19.1  vStack基本原理 389 o6} +5   19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 t?-7Z6   19.3  五棱镜 393 ; md{T'   19.4 光束距离 396 P7Th94   19.5 误差 399 x+O}RD*G   19.6  二向分色棱镜 399 GMw|@?:{   19.7  偏振泄漏 404 'z#{'`$a   19.8  波前误差—相位 405 KAg<s}gQJ   19.9  其它计算参数 405 `;^%t    20  报表生成器 406 mX8A XWIa   20.1  入门 406 ,{C(<1   20.2  指令(Instructions) 406 PAe2hJ   20.3  页面布局指令 406 ':7%@2Zo   20.4  常见的参数图和三维图 407 r: _-Cj   20.5  表格中的常见参数 408 %qzpt{'?<   20.6  迭代指令 408 T#lySev   20.7  报表模版 408 ifu"e_^   20.8  开始设计一个报表模版 409 lPS A   21  一个新的project 413 g~L1e5C]z   21.1  创建一个新Job 414 ksxacRA7\   21.2  默认设计 415 uTRa]D_q   21.3  薄膜设计 416 Q#@gOn=W\   21.4  误差的灵敏度计算 420 |Hbe]2"x>   21.5  显色指数计算 422 I(8,D[G.m   21.6  电场分布 424 HrA6wn\O   后记 426

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