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infotek 2022-09-06 08:45

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)

EQ`t:jc {  
F>-@LOqHy  
内容简介 qA\kx#v]P  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 -v+^x`HR  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 u#k6v\/  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 GpQF * x  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
&-)Y[#\J  
1kw4'#J8  
目录 U$JIF/MO_  
Preface 1 %[CM;|?B4  
内容简介 2 *t*&Q /W  
目录 i "^e?E:( 3  
1  引言 1 rxk{Li<9  
2  光学薄膜基础 2 B]}V$*$ \?  
2.1  一般规则 2 Z!l!3(<G.f  
2.2  正交入射规则 3 4W-+k  
2.3  斜入射规则 6 T[=cKYp8\  
2.4  精确计算 7 !OVEA^6  
2.5  相干性 8 s ^@Cq=  
2.6 参考文献 10 (eE}W~Z  
3  Essential Macleod的快速预览 10 cZT.vA#  
4  Essential Macleod的特点 32 }? '9L:  
4.1  容量和局限性 33 _Vf|F  
4.2  程序在哪里? 33 R2ZQBwB  
4.3  数据文件 35 4'b]2Mn3   
4.4  设计规则 35 u9~J1s<e  
4.5  材料数据库和资料库 37 &bgi0)>  
4.5.1材料损失 38 3s$.l }  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 myX0<j3G5  
4.5.2 材料库 41 G")EE#W$}  
4.5.3导出材料数据 43 U+M?<4J) "  
4.6  常用单位 43 QNwAuH T  
4.7  插值和外推法 46 F@K;A%us)  
4.8  材料数据的平滑 50 sBI%lrO  
4.9 更多光学常数模型 54 /\I%)B47^9  
4.10  文档的一般编辑规则 55 ''07Km@x  
4.11 撤销和重做 56 2,nCGSfc  
4.12  设计文档 57  M.^A`   
4.10.1  公式 58 zm"g,\.d  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Y. tFqzo3  
4.10.3  沉积密度 59 y.<Y]m  
4.10.4 平行和楔形介质 60 F;@&uXYgc  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 ]}y'3aW  
4.10.4  性能 61 [ [CXMbD`*  
4.10.5  保存设计和性能 64 b u9&sQ;  
4.10.6  默认设计 64 4ux5G`oL  
4.11  图表 64 L4Y3\4xXO  
4.11.1  合并曲线图 67 X6 :~Rjim*  
4.11.2  自适应绘制 68 +Z]%@"S?  
4.11.3  动态绘图 68 _oVA0@#n  
4.11.4  3D绘图 69 =6YO!B>7  
4.12  导入和导出 73 (.+n1)L?  
4.12.1  剪贴板 73 'PbA/MN  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 RyD$4jk+T"  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 @ xr   
4.13  背景 77 PaJwM%s)L  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80  gOAluP  
4.15  生成Rugate 84 R/|{?:r?:x  
4.16  参考文献 91 nQmYeM  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 !S{<Xc'wv  
5.1  Jobs 92  2oASz|  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 Mp=+*I[  
5.3  输入材料 94 ~-i?=  
5.4  设计数据文件夹 95 ~C x2Q4E  
5.5  默认设计 95 qNL~m'  
6  细化和合成 97 !,"G/}'^;  
6.1  优化介绍 97 #::vMnT  
6.2  细化 (Refinement) 98 *^_!W'T{j  
6.3  合成 (Synthesis) 100 z(eAwmuli  
6.4  目标和评价函数 101 !{;RtUPz*  
6.4.1  目标输入 102 s'4p+eJ  
6.4.2  目标 103 czRh.kz,  
6.4.3  特殊的评价函数 104 >FNt*tX<0  
6.5  层锁定和连接 104 ro@BmRMW  
6.6  细化技术 104 k0?6.[ku  
6.6.1  单纯形 105 a| cD{d  
6.6.1.1 单纯形参数 106 /d'u1FnA =  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 &r%3)Z8Et  
6.6.2.1 Optimac参数 108 DBDfB b  
6.6.3  模拟退火算法 109 gs >cx]>  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 ic#drpl,  
6.6.4  共轭梯度 111 mo$*KNW%\  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 zY-m]7Yf  
6.6.5  拟牛顿法 112 $)V4Eu;  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 8{u 01\0}  
6.6.6  针合成 113 .5xM7,  
6.6.6.1 针合成参数 114 ]"6<"1)  
6.6.7 差分进化 114 L+L9)8FJ  
6.6.8非局部细化 115 a06DeRCej  
6.6.8.1非局部细化参数 115 .YRSd  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 C-Z,L#  
6.7.1  细化 116 wBET.l'd  
6.7.2  合成 117 y[rLk  
6.8  参考文献 117 DBRJtU!5x  
7  导纳图及其他工具 118 H"l'E9k.&p  
7.1  简介 118 ewg WzB9c  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 GZo4uwG@a  
7.2.1  四分之一波长规则 119 p%-9T>og  
7.2.2  导纳图 120 }^q#0`e(y  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 0*^Fk=>ej  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 b&1@rE-  
7.5  斜入射导纳图 141 Zpmy)W]1  
7.6  对称周期 141 !w Bmf&=  
7.7  参考文献 142 X'm2uOEj  
8  典型的镀膜实例 143 .w~USJ=X  
8.1  单层抗反射薄膜 145 8Yh2K}  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 T2{+fR v N  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 u+_#qk0NfK  
8.4  W-膜层 148 2OTpGl  
8.5  V-膜层 149 ?H&p zY~H  
8.6  V-膜层高折射基底 150 F`u~Jx8.*  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 %`'VXR?`h=  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 &bRH(yF  
8.9  四层抗反射薄膜 153 (Wn'.|^%  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 $/H'Dt6x  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 q}jf&xUWzH  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 X#yl8k_  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 w3@ te\  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 @j6D#./7j  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 0CROq}  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 sq_:U_tJ  
8.17  1/4波长堆栈 162 d\v _!7  
8.18  陷波滤波器 163 _*9Zp1r  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 *u }):8=&R  
8.20  褶皱 165 (`xc3-,  
8.21  消偏振分光器1 169 SxDE3A-:  
8.22  消偏振分光器2 171 &BgaFx**  
8.23  消偏振立体分光器 172 PewLg<?,G4  
8.24  消偏振截止滤光片 173 P*SXfb"HC  
8.25  立体偏振分束器1 174 :.cX3dP@  
8.26  立方偏振分束器2 177 DQ)SMqOotw  
8.27  相位延迟器 178 L2qF@!Yy=  
8.28  红外截止器 179 ;%1^k/b6t  
8.29  21层长波带通滤波器 180 R|suBF3  
8.30  49层长波带通滤波器 181 'Khq!pC   
8.31  55层短波带通滤波器 182 vXF\PMf  
8.32  47 红外截止器 183 61'7b`:(hi  
8.33  宽带通滤波器 184  VV  
8.34  诱导透射滤波器 186 eZcm3=WV|  
8.35  诱导透射滤波器2 188 .\VjS^o&Z&  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 =T$E lXwJ  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 wb}tN7~Y;  
8.35  增益平坦滤波器 193 ",}VB8K  
8.38  啁啾反射镜 1 196 ;VuIQ*@m"  
8.39  啁啾反射镜2 198 i"'k|TGW^  
8.40  啁啾反射镜3 199 6voK{C4J  
8.41  带保护层的铝膜层 200 4M _83WL  
8.42  增加铝反射率膜 201 EY>A(   
8.43  参考文献 202 "a: ;  
9  多层膜 204 G<-.{Gx)  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 P}5aN_v \  
9.2  内部透过率 204 =9c24j  
9.3 内部透射率数据 205 gDsZbmR  
9.4  实例 206 ~K[rQ  
9.5  实例2 210 <n>< A+D  
9.6  圆锥和带宽计算 212 ct  ZW7  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 % ;<FfS  
10  光学薄膜的颜色 216 0^m02\Li  
10.1  导言 216 UW+I 8\^  
10.2  色彩 216 3t,SXI @  
10.3  主波长和纯度 220 P ,i)A  
10.4  色相和纯度 221 nXN0~,+  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Cdv TC`~,  
10.6 色差 226 qSQjAo4t@  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 bfJDF(=h  
10.8  颜色渲染指数 234 vmoqsdZ/  
10.9  色差计算 235 9xWrz;tzo  
10.10  参考文献 236 Dihk8qJ/6  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 WFkXz*7B  
11.1  短脉冲 238 Cxh9rUe.  
11.2  群速度 239 |9y &;3  
11.3  群速度色散 241 rN}^^9  
11.4  啁啾(chirped) 245 Ev()2 80  
11.5  光学薄膜—相变 245 ;02lmpBj  
11.6  群延迟和延迟色散 246 @ +7'0[y?  
11.7  色度色散 246 )S%mKdOm $  
11.8  色散补偿 249 y>G{GQ  
11.9  空间光线偏移 256 _uBf.Qfs  
11.10  参考文献 258 !B\\:k]aO^  
12  公差与误差 260 {5to;\.  
12.1  蒙特卡罗模型 260 :70oO}0m.  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 k @ Hu0x  
12.2.1  误差工具 267 F :u}7t>  
12.2.2  灵敏度工具 271 j#*K[  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 V=YK3){>A  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 ?XHJCp;f  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 +@!9&5S A  
12.3  参考文献 276 SQeQ"k|P%  
13  Runsheet 与Simulator 277 H P7Ec  
13.1  原理介绍 277 lyib+Sa ?`  
13.2  截止滤光片设计 277 m:h]nm  
14  光学常数提取 289 tHGK<rb  
14.1  介绍 289 83 S],L  
14.2  电介质薄膜 289 v9<p@GY"\  
14.3  n 和k 的提取工具 295 )QX9T  
14.4  基底的参数提取 302 Ad"::&&Wk  
14.5  金属的参数提取 306 `Q{kiy  
14.6  不正确的模型 306 Yux7kD\c  
14.7  参考文献 311 1D*e u  
15  反演工程 313 We" "/X  
15.1  随机性和系统性 313 BFMM6-Ve  
15.2  常见的系统性问题 314 @p!["v&  
15.3  单层膜 314 Kkd7D_bZ*  
15.4  多层膜 314 Oe5aNo  
15.5  含义 319 r}vr E ^Q  
15.6  反演工程实例 319 0S' EnmG  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 i}q6^;uTF  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 @50Js3R1q  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 >6aCBS?2  
16.1  光学性质的热致偏移 329 {L8SD U{P  
16.2  应力工具 335 ]AN)M>  
16.3  均匀性误差 339 :!3P4?a  
16.3.1  圆锥工具 339 onjTuZ^h  
16.3.2  波前问题 341 EqOB 0\  
16.4  参考文献 343 cd:O@)i  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 |5O%@  
17.1  引言 345 2bCa|HTv  
17.2  操作数 345 1s*I   
18  如何在Function中编写脚本 351 p>MX}^6  
18.1  简介 351 02SUyv(Mt  
18.2  什么是脚本? 351  6E  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 h<6r+*T' p  
18.4  基础 352 p HWol!  
18.4.1  Classes(类别) 352 C5eol &  
18.4.2  对象 352 4ba1c  
18.4.3  信息(Messages) 352 `E}2|9  
18.4.4  属性 352 Sm-nb*ZyC  
18.4.5  方法 353 Z3S\@_/;  
18.4.6  变量声明 353 C#gQJ=!B  
18.5  创建对象 354 D]4?UL  
18.5.1  创建对象函数 355 6R?J.&|  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 +wQ GC  
18.5.3 丢弃对象 356 u52@{@Ad  
18.5.4  总结 356 0m?ul%=  
18.6  脚本中的表格 357 * yt/ Dj  
18.6.1  方法1 357 |R+=Yk&u  
18.6.2  方法2 357 %.Mtn%:I *  
18.7 2D Plots in Scripts 358 u]zb<)'_  
18.8 3D Plots in Scripts 359 i~\gEMaO  
18.9  注释 360 h>\}-|Ek  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 RRV&!<l@$  
18.11  一个更高级的脚本 362 hI?<F^b  
18.12  <esc>键 364 zO!`sPP  
18.13 包含文件 365 u<+;]8[o  
18.14  脚本被优化调用 366 AjZT- Q0L  
18.15  脚本中的对话框 368 ^%\p; yhL  
18.15.1  介绍 368 $bMeL7CN  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 #ReW#?P%b/  
18.15.3  输入框函数 370 +[*UC"  
18.15.4  自定义对话框 371 {VI%]n{M  
18.15.5  对话框编辑器 371 ;1"K79  
18.15.6  控制对话框 377 Va9vDb6  
18.15.7  更高级的对话框 380 GifD>c |z  
18.16 Types语句 384 KnbP@!+c  
18.17 打开文件 385 Q9rE_} Z  
18.18 Bags 387 71f]KalqL  
18.13  进一步研究 388 <nIU]}q  
19  vStack 389 F@?QVdY1q7  
19.1  vStack基本原理 389 qHv W{0E  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 1AhL-Lj  
19.3  五棱镜 393 5ptbz<Xv  
19.4 光束距离 396 bk5~t'  
19.5 误差 399 !rrjA$P<v  
19.6  二向分色棱镜 399 |QHWX^pO  
19.7  偏振泄漏 404 +LrW#K;  
19.8  波前误差—相位 405 R4{}ZT  
19.9  其它计算参数 405 sz}Nal$AC  
20  报表生成器 406 p-ry{"XA  
20.1  入门 406 &M<431y  
20.2  指令(Instructions) 406 k"AY7vq@!P  
20.3  页面布局指令 406 ^GL0|G=(1  
20.4  常见的参数图和三维图 407 W&rjJZY6  
20.5  表格中的常见参数 408 Y/{Z`}  
20.6  迭代指令 408 V1(eebi|  
20.7  报表模版 408 H#6J7\xcS  
20.8  开始设计一个报表模版 409 jQf1h|e  
21  一个新的project 413 ,m0=zH4+:  
21.1  创建一个新Job 414 S$V'_  
21.2  默认设计 415 heRQ|n.Dz)  
21.3  薄膜设计 416 R$PiF1ffj  
21.4  误差的灵敏度计算 420 .]8 Jeb  
21.5  显色指数计算 422 ^QXUiXzl  
21.6  电场分布 424 cbS8~Xmj  
后记 426
CuDU~)`  
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