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infotek 2022-09-06 08:45

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)

=1R 2`H\  
m,q)lbRl  
内容简介 ts@$*  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 BCz4 s{F  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 jCNR63/  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 MMET^SO  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
#4LTUVH  
8,vP']4r%  
目录 PX&}g-M9  
Preface 1 H\<0{#F  
内容简介 2 S[/udA   
目录 i VZ`YbY  
1  引言 1 Sw-2vnSdM  
2  光学薄膜基础 2 LCA+y1LP-_  
2.1  一般规则 2 t4:/qy  
2.2  正交入射规则 3 !J<0.nO/:  
2.3  斜入射规则 6 V62lN<M  
2.4  精确计算 7 40].:9VG  
2.5  相干性 8 IV':sNV  
2.6 参考文献 10 iS.gN&\z^  
3  Essential Macleod的快速预览 10 3y2L! &'z  
4  Essential Macleod的特点 32 Th\T$T`X$  
4.1  容量和局限性 33 MzKl=G  
4.2  程序在哪里? 33 Tw` dLK?  
4.3  数据文件 35  DQV9=  
4.4  设计规则 35 E U RKzJk  
4.5  材料数据库和资料库 37 !~'D;Jh  
4.5.1材料损失 38 w7pX]<?R"  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 J n2QvUAZ&  
4.5.2 材料库 41 =c&.I}^1L  
4.5.3导出材料数据 43 ){,M v:#+T  
4.6  常用单位 43 3bo [34  
4.7  插值和外推法 46 ""N~##)8  
4.8  材料数据的平滑 50 *nHMQ/uf  
4.9 更多光学常数模型 54 &P35\q   
4.10  文档的一般编辑规则 55 N,VI55J:y>  
4.11 撤销和重做 56 *u,&?fCl  
4.12  设计文档 57 BAi0w{  
4.10.1  公式 58 ]{+Y!tD  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 3X',L*f  
4.10.3  沉积密度 59 (47la$CR  
4.10.4 平行和楔形介质 60 ('dbMH\O  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 THK^u+~LM  
4.10.4  性能 61 RwrRN+&s\  
4.10.5  保存设计和性能 64 4,Uqcw?!F'  
4.10.6  默认设计 64 )_o^d>$da  
4.11  图表 64 JlRNJ#h>  
4.11.1  合并曲线图 67 S-7C'dc  
4.11.2  自适应绘制 68 ]8Xip/uE  
4.11.3  动态绘图 68 >+!Ef  
4.11.4  3D绘图 69 2!b##`UjA7  
4.12  导入和导出 73 wPcEvGBN=  
4.12.1  剪贴板 73 7<B-2g  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 fuF{8-ua  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 Q+QD ,  
4.13  背景 77 4)'U!jSb  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 %S$$*|_G  
4.15  生成Rugate 84 HN5,MD[  
4.16  参考文献 91 0B}2~}#  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 tAY{+N]f  
5.1  Jobs 92 pW>{7pXn  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 MtoOIkQ  
5.3  输入材料 94 [9MbNJt 8~  
5.4  设计数据文件夹 95 %p&y/^=0I  
5.5  默认设计 95 /Ah&d@b  
6  细化和合成 97 P46Q3EE  
6.1  优化介绍 97 v#X#F9C  
6.2  细化 (Refinement) 98 o?a3hD  
6.3  合成 (Synthesis) 100 >&7^yXS  
6.4  目标和评价函数 101 _G25$%/LU  
6.4.1  目标输入 102 n%4/@M  
6.4.2  目标 103 iJmzVR+  
6.4.3  特殊的评价函数 104 #5'& |<  
6.5  层锁定和连接 104 V RD^>Gi  
6.6  细化技术 104 lNWP9?X  
6.6.1  单纯形 105 6h %rt]g  
6.6.1.1 单纯形参数 106 ~<_WYSzS  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 F*>#Xr~/  
6.6.2.1 Optimac参数 108 9tVV?Q@)  
6.6.3  模拟退火算法 109 !=a]Awr\  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 ?A*!rW:l;  
6.6.4  共轭梯度 111 n&?)gKL0g  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 [+ xsX*+  
6.6.5  拟牛顿法 112 w&Gc#-B  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 `<M>"~W  
6.6.6  针合成 113 X;l/D},.  
6.6.6.1 针合成参数 114 >V)"TZH  
6.6.7 差分进化 114 )c'E9ZuZ>d  
6.6.8非局部细化 115 Q>rr?L`  
6.6.8.1非局部细化参数 115 %b4tyX:N0  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 -)}Z $;1a  
6.7.1  细化 116 SPt/$uYJ  
6.7.2  合成 117 L G5_\sY!  
6.8  参考文献 117  [)~1Lu  
7  导纳图及其他工具 118 #d-zH:uq  
7.1  简介 118 GdVF;  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 -57~7 <N  
7.2.1  四分之一波长规则 119 @|Yn~PwKs  
7.2.2  导纳图 120 y RXWd*9  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 v:yU+s|kN  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 5Pn.c!  
7.5  斜入射导纳图 141 Y|Gp\  
7.6  对称周期 141 W ulyM cJ  
7.7  参考文献 142 ::$W .!Uv  
8  典型的镀膜实例 143 {B4qeG5  
8.1  单层抗反射薄膜 145 {ilz[LM8(  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 7*K UM6z  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 dM= &?g  
8.4  W-膜层 148 $8%"bR;Hu  
8.5  V-膜层 149 p^RX<L/\=_  
8.6  V-膜层高折射基底 150 LSJ.pBl\X  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 |vl~B|",  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 }^&f {   
8.9  四层抗反射薄膜 153 111A e *U  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 p$'S\W|  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 mY4pvpZw8  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 /3~L#jS  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 %\T,=9tD\  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 &s vg<UZ  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 `Y4Kw  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 Y'i yfnk  
8.17  1/4波长堆栈 162 7KhS{w6  
8.18  陷波滤波器 163 #YE?&5t  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 pQ:^ ziwa3  
8.20  褶皱 165 6Uk+a=Ar  
8.21  消偏振分光器1 169 5 k3m"*  
8.22  消偏振分光器2 171  7N[".V]c  
8.23  消偏振立体分光器 172 xS/W}-dPv  
8.24  消偏振截止滤光片 173 Nyy&'\`!  
8.25  立体偏振分束器1 174 2RX]~}  
8.26  立方偏振分束器2 177 o&E8<e  
8.27  相位延迟器 178 ',0:/jSz  
8.28  红外截止器 179 S=!WFKcJR  
8.29  21层长波带通滤波器 180 \j`0 f=z_  
8.30  49层长波带通滤波器 181 Gd%i?(U,R  
8.31  55层短波带通滤波器 182 :&vX0 Ce:  
8.32  47 红外截止器 183 c.IUqin  
8.33  宽带通滤波器 184 nwKp8mfP  
8.34  诱导透射滤波器 186 OlRXgJ  
8.35  诱导透射滤波器2 188 rC^ 5Z  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 iv~R4;;)  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 IRm}?hHf  
8.35  增益平坦滤波器 193 \(i'iC  
8.38  啁啾反射镜 1 196 ]|CcQ1#|H  
8.39  啁啾反射镜2 198 @Z ==B%`  
8.40  啁啾反射镜3 199 ,^?g\&f(  
8.41  带保护层的铝膜层 200 Unb2D4&'  
8.42  增加铝反射率膜 201 qhGz2<}_j  
8.43  参考文献 202 spfW)v/T!  
9  多层膜 204 AyO%,6p[  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 6v3l^~kc'  
9.2  内部透过率 204 ,yGbMOV  
9.3 内部透射率数据 205 !~vK[G(R  
9.4  实例 206 Nz2 VaZ  
9.5  实例2 210 ]!{S2x&"  
9.6  圆锥和带宽计算 212 5VTVx1P[8  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 w UxFE=ia  
10  光学薄膜的颜色 216 ev;&n@k_I  
10.1  导言 216 tC'E#2  
10.2  色彩 216 IQO|)53)  
10.3  主波长和纯度 220 P_A@`eU0  
10.4  色相和纯度 221 3LETzsJ  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 eTp|!T  
10.6 色差 226 [ *Dj:A)V^  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 Wm6qy6HR  
10.8  颜色渲染指数 234 `Jc/ o=]  
10.9  色差计算 235 } e$  
10.10  参考文献 236 {nwoJ'-V  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 jV}8VK*`+  
11.1  短脉冲 238 .m]}Ba}J$  
11.2  群速度 239 [o<hQ`&  
11.3  群速度色散 241 yIKpyyC9H  
11.4  啁啾(chirped) 245 CKn2ZL  
11.5  光学薄膜—相变 245 &qS%~h%2  
11.6  群延迟和延迟色散 246 m*]`/:/X[  
11.7  色度色散 246 $b|LZE\bU.  
11.8  色散补偿 249 -E?:W`!  
11.9  空间光线偏移 256 *eoH"UFYQ#  
11.10  参考文献 258 ;<garDf  
12  公差与误差 260 YjDQ`f/  
12.1  蒙特卡罗模型 260 06]3+s{{  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 )oCL![^pXe  
12.2.1  误差工具 267 *gwaW!=  
12.2.2  灵敏度工具 271 >}*W$i  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 R/v|ZvI  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 ,A{Bx`o?  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 IVh5SS  
12.3  参考文献 276 et+lL"&  
13  Runsheet 与Simulator 277 0FcDO5ia  
13.1  原理介绍 277 iXm&\.%  
13.2  截止滤光片设计 277 Sqn>L`Lz  
14  光学常数提取 289 h&j2mv(  
14.1  介绍 289 tAN!LI+w  
14.2  电介质薄膜 289 @}4>:\es  
14.3  n 和k 的提取工具 295 [nxYfER7  
14.4  基底的参数提取 302 )L9eLxI  
14.5  金属的参数提取 306 i[KXkjr  
14.6  不正确的模型 306 - 2L(])t6  
14.7  参考文献 311 l!:bNMd  
15  反演工程 313 :'bZ:J>f  
15.1  随机性和系统性 313 ]z'L1vQl7  
15.2  常见的系统性问题 314 6ZI Pe~`  
15.3  单层膜 314 (5jKUQ8Q>  
15.4  多层膜 314 9R$$(zB 1;  
15.5  含义 319 -E\G3/*51  
15.6  反演工程实例 319 ynA_Z^j  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 lknj/i5L  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 #D_Ti%.^}  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 sd\}M{U  
16.1  光学性质的热致偏移 329 ^*l dsc  
16.2  应力工具 335 OulRqbL2  
16.3  均匀性误差 339 k I`HD  
16.3.1  圆锥工具 339 2j4202  
16.3.2  波前问题 341 5P <"I["  
16.4  参考文献 343 (QIU3EN  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 H%m^8yW1  
17.1  引言 345 {P?Ge  
17.2  操作数 345 TkTGYh  
18  如何在Function中编写脚本 351 WrwbLlE  
18.1  简介 351 xytWE:=  
18.2  什么是脚本? 351 t'Yd+FK   
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 c),UO^EqV  
18.4  基础 352 8-+# !]  
18.4.1  Classes(类别) 352 e6'0g=Y#   
18.4.2  对象 352 J37vA zK%  
18.4.3  信息(Messages) 352 C4E}.``Hm  
18.4.4  属性 352 !Yo2P"  
18.4.5  方法 353 D A=LR  
18.4.6  变量声明 353 MMjewGxe  
18.5  创建对象 354 0*]0#2Z  
18.5.1  创建对象函数 355 W:<2" &7  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 2 Ax(q&`9  
18.5.3 丢弃对象 356 @}UOm- M  
18.5.4  总结 356 J" ,Cwk\  
18.6  脚本中的表格 357 /b{@']  
18.6.1  方法1 357 i8Be%y%y  
18.6.2  方法2 357 pDP* 3  
18.7 2D Plots in Scripts 358 "=]'"'B:  
18.8 3D Plots in Scripts 359 (~\HizSl  
18.9  注释 360 TQt[he$O  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 w`boQ_Ir  
18.11  一个更高级的脚本 362 y46sL~HRv  
18.12  <esc>键 364 H '5zl^8I  
18.13 包含文件 365 U{EcV%C2  
18.14  脚本被优化调用 366 q) 5s'(  
18.15  脚本中的对话框 368 ^&F.T-(A  
18.15.1  介绍 368 a$uD oi  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 'GW~~UhdW  
18.15.3  输入框函数 370 }c9RDpjh~  
18.15.4  自定义对话框 371 hT =E~|O  
18.15.5  对话框编辑器 371 CiU^U|~'L  
18.15.6  控制对话框 377 8}oe))b  
18.15.7  更高级的对话框 380 {3os9r,  
18.16 Types语句 384 4Vj]bm  
18.17 打开文件 385 Tw/7P~*  
18.18 Bags 387 BThrv$D}  
18.13  进一步研究 388 #( 4)ps.  
19  vStack 389 Y]&2E/oc  
19.1  vStack基本原理 389 l;z+E_sQ  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 3KD:JKn^  
19.3  五棱镜 393 r^s$U,e#~  
19.4 光束距离 396 )MN6\v  
19.5 误差 399 qoQ,3&<  
19.6  二向分色棱镜 399 _NuHz  
19.7  偏振泄漏 404 V?MaI .gj  
19.8  波前误差—相位 405 ]*DIn1C^  
19.9  其它计算参数 405 L eUp!  
20  报表生成器 406 rIv#YqT  
20.1  入门 406 5 a&a-(  
20.2  指令(Instructions) 406 F ww S[ 3  
20.3  页面布局指令 406 [mUC7Kpi  
20.4  常见的参数图和三维图 407 V,7Xeh(+5L  
20.5  表格中的常见参数 408 OlW5k`B  
20.6  迭代指令 408 slA~k;K:_  
20.7  报表模版 408 {R~L7uR @O  
20.8  开始设计一个报表模版 409 U z)G Y  
21  一个新的project 413 r_^]5C\  
21.1  创建一个新Job 414 -k,}LJjo  
21.2  默认设计 415 d8jP@>  
21.3  薄膜设计 416 mk-L3H1@J3  
21.4  误差的灵敏度计算 420 \ o?  
21.5  显色指数计算 422 ]x_14$rk  
21.6  电场分布 424 Qmv8T ^+  
后记 426
[HRP&jr  
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