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infotek 2022-09-06 08:45

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)

^D A<=C-[!  
?OVje9  
内容简介 z2[{3Kd*  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 V3q [ $~9  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 tYCVVs`?  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 9i+`,r  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
nG0R1<  
kxt/I<cs  
目录 d VyT`  
Preface 1 ~ ;ObT=  
内容简介 2 Ar'k6NX  
目录 i :r9<wbr)k0  
1  引言 1 *g[MGyF "  
2  光学薄膜基础 2 zQaD&2 q  
2.1  一般规则 2 S9d Xkd  
2.2  正交入射规则 3 t {H{xd  
2.3  斜入射规则 6 ~9n30j%]s  
2.4  精确计算 7 -.l.@  
2.5  相干性 8 IO<Ds#(  
2.6 参考文献 10 z"f+;1  
3  Essential Macleod的快速预览 10 h`f$]_c  
4  Essential Macleod的特点 32 8T88  
4.1  容量和局限性 33 O2"5\@HfE  
4.2  程序在哪里? 33 $0|`h)&  
4.3  数据文件 35 ew<_2Xy"<  
4.4  设计规则 35 iAZbh"I  
4.5  材料数据库和资料库 37 r*9*xZ>8u  
4.5.1材料损失 38 Ty}Y/jW  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 yf/i)  
4.5.2 材料库 41 4))N(m%3F  
4.5.3导出材料数据 43 l"/E,X  
4.6  常用单位 43 -quJX;~  
4.7  插值和外推法 46 q1Mt5O}  
4.8  材料数据的平滑 50 *U +<Hv`C  
4.9 更多光学常数模型 54 B_ bZa  
4.10  文档的一般编辑规则 55 :Q8*MJ3&V  
4.11 撤销和重做 56 wlgR = l  
4.12  设计文档 57 &z@}9U*6b  
4.10.1  公式 58 h 27f0x9  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ZmmX_!M  
4.10.3  沉积密度 59 Hb0_QT~  
4.10.4 平行和楔形介质 60 N9 h|_ax  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 l2ie\4dK@  
4.10.4  性能 61 '3?-o|v@D  
4.10.5  保存设计和性能 64 T"1=/r$Ft  
4.10.6  默认设计 64 zI4d|P  
4.11  图表 64 8*Ty`G&v  
4.11.1  合并曲线图 67 Q" r y@ (I  
4.11.2  自适应绘制 68 AG><5 }  
4.11.3  动态绘图 68 U9jdb9 |  
4.11.4  3D绘图 69 &hih p"  
4.12  导入和导出 73 3^5h:OaT  
4.12.1  剪贴板 73 \>x1#Vr>#V  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 KW$.Yy  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 X 8):R- J  
4.13  背景 77 @km4qJZ  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 &4ndi=.#rg  
4.15  生成Rugate 84 nw(R=C  
4.16  参考文献 91 F)4I70vG  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 ?TJ4L/"(k6  
5.1  Jobs 92 GL~ Wnt  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 6|IJwP^Q_  
5.3  输入材料 94 Swh\^/B8  
5.4  设计数据文件夹 95 cbl>:ev1h  
5.5  默认设计 95 (,KzyR=*'  
6  细化和合成 97 e+)y6Q=  
6.1  优化介绍 97 z[6avW"q  
6.2  细化 (Refinement) 98 p=3t!3  
6.3  合成 (Synthesis) 100 Kp^"<%RT  
6.4  目标和评价函数 101 ;M~9Yr=1  
6.4.1  目标输入 102 Y`d@4*FN$  
6.4.2  目标 103 RA?_j$  
6.4.3  特殊的评价函数 104 6TTu[*0NT  
6.5  层锁定和连接 104 $@O?  
6.6  细化技术 104 Y% JE})  
6.6.1  单纯形 105 G|RBwl  
6.6.1.1 单纯形参数 106 }Xfg~ %6  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 $B7c\MR j  
6.6.2.1 Optimac参数 108 l(Dr@LB~  
6.6.3  模拟退火算法 109 (E7"GJ  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 R!yh0y}Z  
6.6.4  共轭梯度 111 ;K~=? k  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 H4sW%nZ0  
6.6.5  拟牛顿法 112 P (DEf(  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Zb2PFwcy  
6.6.6  针合成 113 nCQ".G  
6.6.6.1 针合成参数 114 y5F"JjQAa  
6.6.7 差分进化 114 pL!,1D!  
6.6.8非局部细化 115 ycSGv4 )  
6.6.8.1非局部细化参数 115 bRrS d:e  
6.7  我应该使用哪种技术? 116  Na@;F{  
6.7.1  细化 116 %@)R  
6.7.2  合成 117 w>8kBQ?b  
6.8  参考文献 117 v9FR  
7  导纳图及其他工具 118 [V qiF~o,  
7.1  简介 118 'n>44_7L  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 4f~sRubK  
7.2.1  四分之一波长规则 119 FPkk\[EU  
7.2.2  导纳图 120 pJs`/   
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 dQ~GE}[  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 ZZZ`@pXm;  
7.5  斜入射导纳图 141 v#d(Kj  
7.6  对称周期 141 )+|wrK:*v  
7.7  参考文献 142  ^#C+l  
8  典型的镀膜实例 143 Lq ;~6  
8.1  单层抗反射薄膜 145 ;Z`a[\i':  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 SjpCf8Z(  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 he/rt#  
8.4  W-膜层 148 YFPse.2$a  
8.5  V-膜层 149 V=p"1!(  
8.6  V-膜层高折射基底 150 #pgD-0_  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 3 !8#wn  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 .>}I/+n  
8.9  四层抗反射薄膜 153 Er|&4-9  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 }!k?.(hpE  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 XR9kxTuk  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 `?.6}*4@_A  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 qoH:_o8ClO  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 9M'"q7Kh  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 0TA8#c  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 GM9[ 0+u;  
8.17  1/4波长堆栈 162 rp dv{CUp7  
8.18  陷波滤波器 163 b;d7mh 4  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 \)wVO*9*0  
8.20  褶皱 165 jD"nEp-  
8.21  消偏振分光器1 169 ;di .U,  
8.22  消偏振分光器2 171 F):kF_ho  
8.23  消偏振立体分光器 172 Lg(G&ljE@k  
8.24  消偏振截止滤光片 173 PX_9i@ZG  
8.25  立体偏振分束器1 174 ~Q Q1ZP3  
8.26  立方偏振分束器2 177 &Ep$<kx8  
8.27  相位延迟器 178 OmZZTeGg1s  
8.28  红外截止器 179 "PElQBLP:  
8.29  21层长波带通滤波器 180 r}e(MT:R'  
8.30  49层长波带通滤波器 181 m <z?6VC  
8.31  55层短波带通滤波器 182 aM1WC 'c&)  
8.32  47 红外截止器 183 +mD;\iW]  
8.33  宽带通滤波器 184 ROfV Y:,M  
8.34  诱导透射滤波器 186 D4(73  
8.35  诱导透射滤波器2 188 [.Md_  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ujE~#b}X  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 YU 0pWM  
8.35  增益平坦滤波器 193 EZ/_uj2&SN  
8.38  啁啾反射镜 1 196 e 2N F.  
8.39  啁啾反射镜2 198 *y|w9 r p  
8.40  啁啾反射镜3 199 F=5vA v1  
8.41  带保护层的铝膜层 200 tj0 0xYY  
8.42  增加铝反射率膜 201 9}2/ko  
8.43  参考文献 202 |x1Ttr,  
9  多层膜 204 B/K=\qmm  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 .Jg<H %%f  
9.2  内部透过率 204 s/~pr.>-l  
9.3 内部透射率数据 205 `|"o\Bg<  
9.4  实例 206 .Wp(@l'Hd  
9.5  实例2 210 }*%=C!m4R!  
9.6  圆锥和带宽计算 212 C" `\[F`.k  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 QD^=;!  
10  光学薄膜的颜色 216 5>CeFy  
10.1  导言 216 UHi^7jQ  
10.2  色彩 216 K*'AjT9wX+  
10.3  主波长和纯度 220 {Fyw<0 [@  
10.4  色相和纯度 221 i=>`=. ~  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 rGt]YG#C  
10.6 色差 226 ?wmu 0rR  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 ZJGIib  
10.8  颜色渲染指数 234 7KRNTnd  
10.9  色差计算 235 Fd80T6[  
10.10  参考文献 236 *kF/yN  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ,g?M[(wtc  
11.1  短脉冲 238 iH]0 YT.E  
11.2  群速度 239 2fc+PE  
11.3  群速度色散 241 yJqDB$0  
11.4  啁啾(chirped) 245 6rG7/  
11.5  光学薄膜—相变 245 Yu&\a?]\2  
11.6  群延迟和延迟色散 246 P&5vVA6K7  
11.7  色度色散 246 5HL>2 e[  
11.8  色散补偿 249 2y8FP#  
11.9  空间光线偏移 256 p((.(fx  
11.10  参考文献 258 WRAv>s9  
12  公差与误差 260 kaEu\@%n  
12.1  蒙特卡罗模型 260 lu.xv6+  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 kIt1kw  
12.2.1  误差工具 267 o 0b\<}  
12.2.2  灵敏度工具 271 C`3fM05g  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 aa!1w93?i  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 AC fhy[,  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 @.`HvS  
12.3  参考文献 276 _ J"J[$  
13  Runsheet 与Simulator 277 QiRx2Z*\  
13.1  原理介绍 277 }gX4dv B  
13.2  截止滤光片设计 277 yFFNzw{  
14  光学常数提取 289 c No)LF  
14.1  介绍 289 {Y]3t9!\  
14.2  电介质薄膜 289 l~kxK.Ru  
14.3  n 和k 的提取工具 295 m]=G73jzO  
14.4  基底的参数提取 302 P8CIKoKCV  
14.5  金属的参数提取 306 (@\0P H0  
14.6  不正确的模型 306 -M[BC~!0;  
14.7  参考文献 311 n=!5ha%#N  
15  反演工程 313 [vdC$9z,  
15.1  随机性和系统性 313 :NH '>'  
15.2  常见的系统性问题 314 2PSv3?".  
15.3  单层膜 314 ;]/cCi  
15.4  多层膜 314 f%YD+Dt_V  
15.5  含义 319 XT==N-5,  
15.6  反演工程实例 319 aO\@5i_r  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Xd~lifF  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 ><6g-+*k  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 uk.x1*0x  
16.1  光学性质的热致偏移 329 zfml^N  
16.2  应力工具 335 ju"j?2+F  
16.3  均匀性误差 339 D%'rq  
16.3.1  圆锥工具 339 FFF7f5F  
16.3.2  波前问题 341 sD<8-n  
16.4  参考文献 343 U:IeMf-;  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 P'Jb')m  
17.1  引言 345 4Gy3s|{  
17.2  操作数 345 O}Do4>02  
18  如何在Function中编写脚本 351 N_.`5I;e  
18.1  简介 351 0L7^Vr)  
18.2  什么是脚本? 351 e=Kr>~q=  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 @eDL j}  
18.4  基础 352 ."v&?o Ck]  
18.4.1  Classes(类别) 352 nQ'AB~ Do  
18.4.2  对象 352 v{U1B  
18.4.3  信息(Messages) 352 y {Mh ?H  
18.4.4  属性 352 +(hr5  
18.4.5  方法 353 j7Lw( AJ  
18.4.6  变量声明 353 @j4~`~8  
18.5  创建对象 354 _~ 7cn  
18.5.1  创建对象函数 355 s8kkf5bu  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 HR k^KB  
18.5.3 丢弃对象 356 +)d7SWO6]!  
18.5.4  总结 356 s0'Xihsw6  
18.6  脚本中的表格 357 \6Hu&WHy  
18.6.1  方法1 357 }*0*8~Q'5  
18.6.2  方法2 357 en gh3TZC  
18.7 2D Plots in Scripts 358 zd [cp@  
18.8 3D Plots in Scripts 359 ~E7=c3:"  
18.9  注释 360 `\S~;O  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 + f?xVW<h  
18.11  一个更高级的脚本 362 L_7-y92<W  
18.12  <esc>键 364 ~7=w,+  
18.13 包含文件 365 ;0\  
18.14  脚本被优化调用 366 = P {]3K  
18.15  脚本中的对话框 368 N+ R/ti  
18.15.1  介绍 368 <^jW  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 \LW '6 pQ_  
18.15.3  输入框函数 370 eTa[~esu.  
18.15.4  自定义对话框 371 l. i&.;f  
18.15.5  对话框编辑器 371 rB%acTCz=[  
18.15.6  控制对话框 377 lV!@h}mG  
18.15.7  更高级的对话框 380 X*C4N F0  
18.16 Types语句 384 =u`^QE  
18.17 打开文件 385 Y3I+TI>x  
18.18 Bags 387 -T-h~5   
18.13  进一步研究 388 ^?tF'l`  
19  vStack 389 +hS}msu'  
19.1  vStack基本原理 389 E>?T<!r~j  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 xpVYNS{c+|  
19.3  五棱镜 393 R|AG N*.  
19.4 光束距离 396 l*yJU3PW  
19.5 误差 399 F/w!4,'<?5  
19.6  二向分色棱镜 399 G%K<YyAP  
19.7  偏振泄漏 404 v ~%6!Tr  
19.8  波前误差—相位 405 Jk7[}Jc$  
19.9  其它计算参数 405 Ey u?T  
20  报表生成器 406 1)M>vdrP  
20.1  入门 406 eESJk 14  
20.2  指令(Instructions) 406 P A9 ]L  
20.3  页面布局指令 406 a4! AvG  
20.4  常见的参数图和三维图 407 R3$e q )  
20.5  表格中的常见参数 408 =X2EF  
20.6  迭代指令 408 q-}J0vu\K  
20.7  报表模版 408 8ESBui3;  
20.8  开始设计一个报表模版 409 a8%/Xwr~  
21  一个新的project 413 > c7fg^@  
21.1  创建一个新Job 414 /Et:',D  
21.2  默认设计 415 >g6:{-b^a  
21.3  薄膜设计 416 iffRGnN^e  
21.4  误差的灵敏度计算 420 _A \c 6#  
21.5  显色指数计算 422 E-i rB/0  
21.6  电场分布 424 xFS`#1  
后记 426
T;}pMRd%  
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