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infotek 2022-09-06 08:45

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)

g0m6D:f  
S4j`=<T,  
内容简介 +?[ ,y  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 uaMf3HeYV  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 WxE4r  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 VZ?"yUZ Id  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
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目录 |sN>/89=/  
Preface 1 _~aFzM  
内容简介 2 8Z TN  
目录 i 8SvPDGu `]  
1  引言 1 &UhI1mi]h  
2  光学薄膜基础 2 K-&&%Id6R  
2.1  一般规则 2 HH>"J /;c,  
2.2  正交入射规则 3 L lmdydC%  
2.3  斜入射规则 6 sh []OSM  
2.4  精确计算 7 ;2||g8'  
2.5  相干性 8 4Gl0h'!(  
2.6 参考文献 10 MB9tnGO-Q  
3  Essential Macleod的快速预览 10 bkQEfx.  
4  Essential Macleod的特点 32 (9_~R^='y  
4.1  容量和局限性 33 j';V(ZY&BB  
4.2  程序在哪里? 33 mE3^5}[>  
4.3  数据文件 35 L&wJ-}'l  
4.4  设计规则 35 LRO'o{4$E  
4.5  材料数据库和资料库 37 MTZbRi6z  
4.5.1材料损失 38 " gB.  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 N=J$+  
4.5.2 材料库 41 ]Mu + DZ  
4.5.3导出材料数据 43 v:*t5M >  
4.6  常用单位 43 *Mf;  
4.7  插值和外推法 46 -aCtk$3  
4.8  材料数据的平滑 50 f\sxx!kt  
4.9 更多光学常数模型 54 GE`:bC3  
4.10  文档的一般编辑规则 55 nJJ9>#<g$  
4.11 撤销和重做 56 l MCoc'ae  
4.12  设计文档 57 +.N3kH  
4.10.1  公式 58 \%nFCK0  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 [#y/`  
4.10.3  沉积密度 59 dmHpF\P5f  
4.10.4 平行和楔形介质 60 -!uut7Z|  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 uJz<:/rwZ-  
4.10.4  性能 61 Yqs N#E3pf  
4.10.5  保存设计和性能 64 c}iVBN6~.<  
4.10.6  默认设计 64 2Yd0:$a  
4.11  图表 64 PI>PEge!&  
4.11.1  合并曲线图 67 Ue:'55  
4.11.2  自适应绘制 68 +NGjDa  
4.11.3  动态绘图 68 %Z@+K_X9x  
4.11.4  3D绘图 69 O>)<w Ms`  
4.12  导入和导出 73 1O bxQ_x  
4.12.1  剪贴板 73 Txkmt$h  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 2@``=0z  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 YfBb=rN2s  
4.13  背景 77 # Ny  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 7cx~?xk <m  
4.15  生成Rugate 84 }q1@[ aE  
4.16  参考文献 91 Pl_4;q!$  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 ("{JNA/  
5.1  Jobs 92 a!MhxM5  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 @OOnO+g  
5.3  输入材料 94  laX(?{_  
5.4  设计数据文件夹 95 >$=-0?.  
5.5  默认设计 95 -.A%c(|Q  
6  细化和合成 97 cstSLXD  
6.1  优化介绍 97 o:kiIZ]  
6.2  细化 (Refinement) 98 {9sA'5  
6.3  合成 (Synthesis) 100 ta]B9&c  
6.4  目标和评价函数 101 7;dTQ.%n  
6.4.1  目标输入 102 :34#z.O  
6.4.2  目标 103 rQ|^H Nj  
6.4.3  特殊的评价函数 104 uP<w rlW  
6.5  层锁定和连接 104 L(a&,cdh  
6.6  细化技术 104 qd*3| O^  
6.6.1  单纯形 105 Rk2V[R.`S  
6.6.1.1 单纯形参数 106 h8;B+#f`  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 _jK    
6.6.2.1 Optimac参数 108 D"o}XTH  
6.6.3  模拟退火算法 109 < aeBhg%  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 r\7F}ZW/  
6.6.4  共轭梯度 111 yX%T-/XJ  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 c"BFkw  
6.6.5  拟牛顿法 112 3V:{_~~  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ~_WsjD0O  
6.6.6  针合成 113 ;cQhs7m(9  
6.6.6.1 针合成参数 114 d (Ufj|;  
6.6.7 差分进化 114 ,i>u>YNZ  
6.6.8非局部细化 115 ^)ouL25Z*2  
6.6.8.1非局部细化参数 115 3R(GO.n=]  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 Xd%c00"U  
6.7.1  细化 116 )i8Hdtn  
6.7.2  合成 117 ;xFx%^M}br  
6.8  参考文献 117 IXb]\ )  
7  导纳图及其他工具 118 T^LpoN/T  
7.1  简介 118 X|+o4R?  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 :uhU<H<,f  
7.2.1  四分之一波长规则 119 Ed[ tmaEuV  
7.2.2  导纳图 120 8A/;a{   
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 <p"[jC2zF;  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 "?Dov/+Q.  
7.5  斜入射导纳图 141 PI{;3X}9$,  
7.6  对称周期 141 3xS+Pu\)  
7.7  参考文献 142 &phers  
8  典型的镀膜实例 143 MhMY"bx8  
8.1  单层抗反射薄膜 145 _t<&#D~  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 +2%ih !  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 z-<091,  
8.4  W-膜层 148 D<}z7W-  
8.5  V-膜层 149 oBZ\mk L  
8.6  V-膜层高折射基底 150  pME17 af  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 j8p</gd  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 <a/TDW  
8.9  四层抗反射薄膜 153 U ObI&*2  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 #/fh_S'Z  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 L:$kd `v[  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 ~B!O X  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 8S2sNpLi-g  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 MfNxd 6w  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 (XtN3FTY  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 -2NXQ+m ;  
8.17  1/4波长堆栈 162 {"X n`@Y  
8.18  陷波滤波器 163 7_Yxz$m  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 t)|*-=  
8.20  褶皱 165 ovv<7`  
8.21  消偏振分光器1 169 l*^J}oY  
8.22  消偏振分光器2 171 3IXai)6U  
8.23  消偏振立体分光器 172 +"8 [E~Bih  
8.24  消偏振截止滤光片 173 )?35!s6  
8.25  立体偏振分束器1 174 up+W[#+  
8.26  立方偏振分束器2 177 /.1c <!  
8.27  相位延迟器 178 l1(6*+  
8.28  红外截止器 179 Y~ j.Kt  
8.29  21层长波带通滤波器 180 Hc?8Q\O:  
8.30  49层长波带通滤波器 181 +O`3eP`u  
8.31  55层短波带通滤波器 182 2aQR#lcv  
8.32  47 红外截止器 183 ?f@g1jJP  
8.33  宽带通滤波器 184 32y GIRV  
8.34  诱导透射滤波器 186 ?y1']GAo  
8.35  诱导透射滤波器2 188 p,_,o3@~  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 !|!k9~v!  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 uTsxSkHb/  
8.35  增益平坦滤波器 193 3r{3HaN(^'  
8.38  啁啾反射镜 1 196 N?cvQR{r9  
8.39  啁啾反射镜2 198 W+HiH`Qb]  
8.40  啁啾反射镜3 199 +NIq}fZn9  
8.41  带保护层的铝膜层 200 UQq ,Xq  
8.42  增加铝反射率膜 201 Z) nB  
8.43  参考文献 202 pq8XCOllXx  
9  多层膜 204 5u/dr9n  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 $~x#Q?-y  
9.2  内部透过率 204 Swugt"`nN  
9.3 内部透射率数据 205 ZJL8"(/R  
9.4  实例 206 ,4kly_$BH  
9.5  实例2 210 bv %Bo4s  
9.6  圆锥和带宽计算 212 Y"Y%JJ.J  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 GYv D*?uBc  
10  光学薄膜的颜色 216 F"p7&e\W|l  
10.1  导言 216 )OjTn"  
10.2  色彩 216 @Z0?1+k  
10.3  主波长和纯度 220 JmMB=} <  
10.4  色相和纯度 221 b02V#m;Z  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 2x PkQOj3  
10.6 色差 226 /j7e q  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 X<:B"rPuK  
10.8  颜色渲染指数 234 isU7nlc!  
10.9  色差计算 235 12{F  
10.10  参考文献 236 X#;n Gq)5  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 9jwcO)p^  
11.1  短脉冲 238 c@SNbY4}%  
11.2  群速度 239 ' 6^+|1  
11.3  群速度色散 241 ibzcO,c  
11.4  啁啾(chirped) 245 b/#SkxW#S  
11.5  光学薄膜—相变 245 E[Xqyp!<  
11.6  群延迟和延迟色散 246 .>QzM>zO  
11.7  色度色散 246 8'K~+L=}  
11.8  色散补偿 249 Q#kSp8  
11.9  空间光线偏移 256 PjwDth A1  
11.10  参考文献 258 v,T :V#f^  
12  公差与误差 260 ,W8E U  
12.1  蒙特卡罗模型 260 VtP^fM^{  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 'SW%EVB  
12.2.1  误差工具 267 Za[ ?CA  
12.2.2  灵敏度工具 271 ^$FNu~|K  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 0H$6_YX4 A  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 BE0Ov{'  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 (-}:'5|Yj  
12.3  参考文献 276 K#"J8h;x  
13  Runsheet 与Simulator 277 }Z="}Dg|T  
13.1  原理介绍 277 x3>ZO.Q  
13.2  截止滤光片设计 277 &7\=J w7w  
14  光学常数提取 289 .j et0w  
14.1  介绍 289 !+UU[uM  
14.2  电介质薄膜 289 D =+md  
14.3  n 和k 的提取工具 295 /"+CH\) E  
14.4  基底的参数提取 302 `Wl_yC_*G;  
14.5  金属的参数提取 306 G_m$?0\  
14.6  不正确的模型 306 HbI'n,+  
14.7  参考文献 311 8=K%7:b  
15  反演工程 313 a/\SPXQ/9  
15.1  随机性和系统性 313 "U"phLX  
15.2  常见的系统性问题 314 /M : 7  
15.3  单层膜 314 ^cUmLzM  
15.4  多层膜 314 T }}T`Ce  
15.5  含义 319 V jdu9Ez  
15.6  反演工程实例 319 FmtgH1u:=  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 aM7e?.rU  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 SD/=e3  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 1+F0$<e}  
16.1  光学性质的热致偏移 329 )_&P:;N  
16.2  应力工具 335 4,,@o  
16.3  均匀性误差 339 eS`ZC!W   
16.3.1  圆锥工具 339 4Wd H!z  
16.3.2  波前问题 341 t!8(IR  
16.4  参考文献 343 vh$If0  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 /~(T[\E<  
17.1  引言 345 ~xa yGk  
17.2  操作数 345 l`bl^~xRo  
18  如何在Function中编写脚本 351 ;tJ}*!z W  
18.1  简介 351 >]L\Bw  
18.2  什么是脚本? 351 I[6ft_*  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 A'tv[T d8,  
18.4  基础 352 .9u0WP95  
18.4.1  Classes(类别) 352 |EGC1x]j=  
18.4.2  对象 352 <(!~s><.  
18.4.3  信息(Messages) 352 <e?1&56  
18.4.4  属性 352 KqL+R$??"(  
18.4.5  方法 353 1gA^Qv~?  
18.4.6  变量声明 353 &At9@  
18.5  创建对象 354 qyKI.X3n*  
18.5.1  创建对象函数 355 4C#r=Uw`  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 tCR#TW+IY-  
18.5.3 丢弃对象 356 %ws@t"aER  
18.5.4  总结 356 Q\nIU7:bZ  
18.6  脚本中的表格 357 ~} 02q5H  
18.6.1  方法1 357 N79?s)l:K  
18.6.2  方法2 357 H %Dcp#k  
18.7 2D Plots in Scripts 358 h]]B @~  
18.8 3D Plots in Scripts 359 dEI]|i r  
18.9  注释 360 U>i}C_7g  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 .MS41 E!  
18.11  一个更高级的脚本 362 J'E?Z0  
18.12  <esc>键 364 ?$Dc>  
18.13 包含文件 365 k|^YYi= xF  
18.14  脚本被优化调用 366 [k]3#<sS  
18.15  脚本中的对话框 368 YfstE3BV  
18.15.1  介绍 368 B/_~j_n$m  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 <74r  
18.15.3  输入框函数 370 OJ1MV7&  
18.15.4  自定义对话框 371 6zp]SPY  
18.15.5  对话框编辑器 371 arc{:u.K  
18.15.6  控制对话框 377 m@y<wk(  
18.15.7  更高级的对话框 380 Lng@'Yr  
18.16 Types语句 384 V/+D]  
18.17 打开文件 385  K,o&gY  
18.18 Bags 387 `< 82"cAT{  
18.13  进一步研究 388 uqM=/T^A  
19  vStack 389 %,+&Kl I  
19.1  vStack基本原理 389 U;=1v:~d  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 1=_Qj}!1  
19.3  五棱镜 393 Eq=j+ch7  
19.4 光束距离 396 FOAXm4"  
19.5 误差 399 %l3f .  
19.6  二向分色棱镜 399 YCq:]  
19.7  偏振泄漏 404 S "/-)_{  
19.8  波前误差—相位 405 P& h]uNu  
19.9  其它计算参数 405 @e-2]z  
20  报表生成器 406 )SHB1U25{  
20.1  入门 406 cR=o!2O  
20.2  指令(Instructions) 406 j6E|j>@u  
20.3  页面布局指令 406 ZUakW3f  
20.4  常见的参数图和三维图 407  (F&o!W  
20.5  表格中的常见参数 408 2Z-QVwa*U  
20.6  迭代指令 408 X4JSI%E  
20.7  报表模版 408 i!*8@:VI  
20.8  开始设计一个报表模版 409 c5Hyja=  
21  一个新的project 413 7$v_#ZE.H  
21.1  创建一个新Job 414 O Cn  ra  
21.2  默认设计 415 bZ#5\L2  
21.3  薄膜设计 416 f#\Nz>tOhE  
21.4  误差的灵敏度计算 420 3i#'osq  
21.5  显色指数计算 422 +q%b'!&Q  
21.6  电场分布 424 92ngSaNC  
后记 426
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