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infotek 2022-09-06 08:45

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)

hX`hs- *qM  
o@#Y8M  
内容简介 7M<'ddAN  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 K TsgJ\W  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 l IUuA  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 GwG4LIp  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
28/ ADZ  
>$ NDv  
目录 2pzF5h  
Preface 1 "Fy7K#n  
内容简介 2 A#nun  
目录 i {fha`i  
1  引言 1 "t({D   
2  光学薄膜基础 2 ZunCKc  
2.1  一般规则 2 Xcrk;!IB?  
2.2  正交入射规则 3 L7= Q<D<  
2.3  斜入射规则 6 !).}u,*'no  
2.4  精确计算 7 RlqQ  
2.5  相干性 8 -b9;5eS!  
2.6 参考文献 10 q}/WQ]p} <  
3  Essential Macleod的快速预览 10 Yk'9U-.mc  
4  Essential Macleod的特点 32 :N<.?%Kf  
4.1  容量和局限性 33 Mn$]I) $  
4.2  程序在哪里? 33 HQUeWCN  
4.3  数据文件 35 2:BF[c`  
4.4  设计规则 35 Q\GDrdA  
4.5  材料数据库和资料库 37 eVt$7d?Jw  
4.5.1材料损失 38 kloR#?8A  
4.5.1材料数据库和导入材料 39  U3izvM  
4.5.2 材料库 41 p}|.ZkyN  
4.5.3导出材料数据 43 P+!"wX0*N  
4.6  常用单位 43 Vo9F  
4.7  插值和外推法 46 xXY.AoO6  
4.8  材料数据的平滑 50 `} m Q  
4.9 更多光学常数模型 54 SG?Nsp^%`B  
4.10  文档的一般编辑规则 55 )mJf|W!Z#  
4.11 撤销和重做 56 "+z?x~rk  
4.12  设计文档 57 kM'"4[,nz  
4.10.1  公式 58 ?E9DXg  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 N7b1.]<  
4.10.3  沉积密度 59 \":?xh_H  
4.10.4 平行和楔形介质 60 ari7iF ~j  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 4EXB;[ ]  
4.10.4  性能 61 n4R2^gXAw  
4.10.5  保存设计和性能 64 B d^"=+c4  
4.10.6  默认设计 64 .fi/I  
4.11  图表 64 >Jw6l0z  
4.11.1  合并曲线图 67 K*IxUz(  
4.11.2  自适应绘制 68 [L6w1b,  
4.11.3  动态绘图 68 ~ ^>417>  
4.11.4  3D绘图 69 WEa2E?*  
4.12  导入和导出 73 @v}B6j b;  
4.12.1  剪贴板 73 k-E{d04-2  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 "c(Sysl.L  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 =(EI~N  
4.13  背景 77 O<j PGU  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 }C  /]  
4.15  生成Rugate 84 ~"lJ'&J}  
4.16  参考文献 91 6cdMS[_SD(  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 BR v+.(S  
5.1  Jobs 92 q8Nn%o=5V  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 >tG+?Y'{  
5.3  输入材料 94 R//$r%a  
5.4  设计数据文件夹 95 z305{B:Y  
5.5  默认设计 95 l;"Ab?P\  
6  细化和合成 97 EQIUSh)M  
6.1  优化介绍 97 e,k2vp!<&  
6.2  细化 (Refinement) 98 n;8'`s  
6.3  合成 (Synthesis) 100 x1gx$P  
6.4  目标和评价函数 101 #5&jt@NS  
6.4.1  目标输入 102 -h-oMqgu(  
6.4.2  目标 103 1|ZhPsD.}g  
6.4.3  特殊的评价函数 104 3L _I[T$s  
6.5  层锁定和连接 104 Q}*y$se!  
6.6  细化技术 104 C#i UP|7hh  
6.6.1  单纯形 105 EPX8Wwf  
6.6.1.1 单纯形参数 106 joa5|t!D9  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 85|fyX  
6.6.2.1 Optimac参数 108 ]h!`IX  
6.6.3  模拟退火算法 109 .> Z,uT^A  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 j2M+]Zp.  
6.6.4  共轭梯度 111 b[@V Ya  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 'R9g7,53R  
6.6.5  拟牛顿法 112 W~ULc 9  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ~%ozgzr^  
6.6.6  针合成 113 ~vgA7E/XV  
6.6.6.1 针合成参数 114 4ZC!SgJo  
6.6.7 差分进化 114 PzZZ>7_6S  
6.6.8非局部细化 115 V5D2\n3A  
6.6.8.1非局部细化参数 115 Y'`"9Db  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 +m,!e*g  
6.7.1  细化 116 *zVvQ=  
6.7.2  合成 117 "Vd_CO  
6.8  参考文献 117 K3mA XC,d  
7  导纳图及其他工具 118 (LJ@S eM;  
7.1  简介 118 68R1AqU_  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 MR'o{?{e`  
7.2.1  四分之一波长规则 119 kw,$NK'  
7.2.2  导纳图 120 mzD^ Y<LTd  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 zzZg$9PT[  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 Di Or{)a  
7.5  斜入射导纳图 141 8 Op.eYe  
7.6  对称周期 141 h4fLl3%H  
7.7  参考文献 142 F9XT lA  
8  典型的镀膜实例 143 r;iV$Rq !  
8.1  单层抗反射薄膜 145 /&Jv,[2kV  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 {.k)2{  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 :DkAQ-<~  
8.4  W-膜层 148 _qWC4NMF(  
8.5  V-膜层 149 |G=[5e^s[  
8.6  V-膜层高折射基底 150 BH@b1}  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 > %*B`oqo  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 %*)2s,8  
8.9  四层抗反射薄膜 153 W7UtA.2LT  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 Jm(ixekp  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Erb Sl  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 |V`S >m%N  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 noA-)  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 _MYx%Z  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 _zC (J  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161  s&*yk p  
8.17  1/4波长堆栈 162 ~%y\@x7I  
8.18  陷波滤波器 163 w@]jpH;WX  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 O|v (5 8A  
8.20  褶皱 165 . %(^mK)zQ  
8.21  消偏振分光器1 169 2HOe__Ns  
8.22  消偏振分光器2 171 s` >H  
8.23  消偏振立体分光器 172 3;$bS<>  
8.24  消偏振截止滤光片 173 r(uP!n1+  
8.25  立体偏振分束器1 174 f\ "`7  
8.26  立方偏振分束器2 177 ~v: #zU  
8.27  相位延迟器 178 WPY8C3XO  
8.28  红外截止器 179 3n(*E_n  
8.29  21层长波带通滤波器 180 K&pM o.  
8.30  49层长波带通滤波器 181 q#1X[A()  
8.31  55层短波带通滤波器 182 D6=HYqdj  
8.32  47 红外截止器 183 aIGn9:\  
8.33  宽带通滤波器 184 UR>_)*  
8.34  诱导透射滤波器 186 gM_:l  
8.35  诱导透射滤波器2 188 mf*Nr0L;J  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 !p% @Deu  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 kl{6]39  
8.35  增益平坦滤波器 193 Hbr^vYs5  
8.38  啁啾反射镜 1 196 ;9rTE|n  
8.39  啁啾反射镜2 198 3sC: jIp  
8.40  啁啾反射镜3 199 e`DsP8-&v  
8.41  带保护层的铝膜层 200 ;?im(9h"v!  
8.42  增加铝反射率膜 201 pv$tTWk  
8.43  参考文献 202 _Y YP4lEL  
9  多层膜 204 U6i~A9;  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 Pc4R!Tc  
9.2  内部透过率 204 nGZ \<-  
9.3 内部透射率数据 205 +>E5X4JC  
9.4  实例 206 \|{*arS  
9.5  实例2 210 T0L+z/N_m.  
9.6  圆锥和带宽计算 212 a"qR J-@  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 u[`v&e  
10  光学薄膜的颜色 216 my[,w$YM  
10.1  导言 216 </w 7W3F  
10.2  色彩 216 QV)}3pW  
10.3  主波长和纯度 220 eJf>"IF-  
10.4  色相和纯度 221  wF;B@  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 UT-ewXh  
10.6 色差 226 B/u*<k4  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 ^?Vq L\V5  
10.8  颜色渲染指数 234 jlRS:$|R0  
10.9  色差计算 235 oQBiPN+v.3  
10.10  参考文献 236 m3%ef  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 nL\ZId  
11.1  短脉冲 238 vcOsq#UW  
11.2  群速度 239 z[FI2jl  
11.3  群速度色散 241 fB[\("+  
11.4  啁啾(chirped) 245 b7f0#*(?  
11.5  光学薄膜—相变 245 @fDQ^ 4  
11.6  群延迟和延迟色散 246 ;E2~L  
11.7  色度色散 246 49y *xMn  
11.8  色散补偿 249 b#}t:yy  
11.9  空间光线偏移 256 D3]@i&^B  
11.10  参考文献 258 8v$ g  
12  公差与误差 260 s9:%s*$u  
12.1  蒙特卡罗模型 260 67ZYtA|t  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 wV %8v\  
12.2.1  误差工具 267 g?$e^ls  
12.2.2  灵敏度工具 271 !a)s`  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 XL?A w  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 J2Y 3er  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 q1<Fg.-r  
12.3  参考文献 276 I-,Xwj-  
13  Runsheet 与Simulator 277 S^)WYF5  
13.1  原理介绍 277 %,Q;<axzi  
13.2  截止滤光片设计 277 dd19z%  
14  光学常数提取 289 ha ik  
14.1  介绍 289 0JrK/Ma3  
14.2  电介质薄膜 289 eTT^KqE>&  
14.3  n 和k 的提取工具 295 @?j@yRe  
14.4  基底的参数提取 302 t0I>5#*WU  
14.5  金属的参数提取 306 6HB]T)n  
14.6  不正确的模型 306 sOjF?bCdO  
14.7  参考文献 311 s|BX> 1  
15  反演工程 313 rt,0j/o.1  
15.1  随机性和系统性 313 ,?t}NZY&  
15.2  常见的系统性问题 314 Qlf 9]ug)  
15.3  单层膜 314  =05iW  
15.4  多层膜 314 % Mw'e/?  
15.5  含义 319 EK:Y2WZ  
15.6  反演工程实例 319 #efqG=q  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 #?A]v>I;C  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 X!2.IsIS8  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 =]WW'~  
16.1  光学性质的热致偏移 329 .wM:YX'[G  
16.2  应力工具 335 nq),VPJi  
16.3  均匀性误差 339 /kAwe *)  
16.3.1  圆锥工具 339 [U% .Gi  
16.3.2  波前问题 341 [}jj<!9A_;  
16.4  参考文献 343 )A"ZV[eOoQ  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 -??!@R7V  
17.1  引言 345 DBLA% {05  
17.2  操作数 345 mL8A2>Gig  
18  如何在Function中编写脚本 351 #?L(#a$k  
18.1  简介 351 C,9)V5!tP2  
18.2  什么是脚本? 351 0,;E.Py?.  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 0zlM.rjEZ  
18.4  基础 352 M" xZz  
18.4.1  Classes(类别) 352 &e/@yu)x,  
18.4.2  对象 352 Bm65 W  
18.4.3  信息(Messages) 352 Xs{:[vRW  
18.4.4  属性 352 C+X)">/+L  
18.4.5  方法 353 ( [K2:n\  
18.4.6  变量声明 353 %"1` NT  
18.5  创建对象 354 $'WapxF  
18.5.1  创建对象函数 355 16a_GwfM  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 / c4;3>I S  
18.5.3 丢弃对象 356 /UEV8 1  
18.5.4  总结 356 i5ajM,i/K  
18.6  脚本中的表格 357 o+]Y=r2  
18.6.1  方法1 357 =)mXCA^  
18.6.2  方法2 357 ({D}QEP  
18.7 2D Plots in Scripts 358 iSSc5ek4  
18.8 3D Plots in Scripts 359  #a|6Q 8  
18.9  注释 360 TBoM{s=.  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 {m?K2]](  
18.11  一个更高级的脚本 362 [Ihp\!xqI  
18.12  <esc>键 364 x`};{oz;  
18.13 包含文件 365 r78u=r  
18.14  脚本被优化调用 366 Sb@{f<3E  
18.15  脚本中的对话框 368 < fojX\}3  
18.15.1  介绍 368 A^}i^  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 &:!ZT=  
18.15.3  输入框函数 370 Oz4,Y+[#  
18.15.4  自定义对话框 371 %igFHh?  
18.15.5  对话框编辑器 371 N/`TrWVF  
18.15.6  控制对话框 377 FYx `o\  
18.15.7  更高级的对话框 380 Pg!;o= { M  
18.16 Types语句 384 PfwI@%2  
18.17 打开文件 385 LUe>)eqw  
18.18 Bags 387 1YF+(fk  
18.13  进一步研究 388 8`L#1ybMO  
19  vStack 389 _IQU<Za  
19.1  vStack基本原理 389 s=\LewF1<  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 CjC'"+[w  
19.3  五棱镜 393 zIAu3  
19.4 光束距离 396 BCj`WF@8l{  
19.5 误差 399 N$=(1`zM=  
19.6  二向分色棱镜 399 ,ZzB#\  
19.7  偏振泄漏 404 STFQ";z$  
19.8  波前误差—相位 405 (<d&BV-"  
19.9  其它计算参数 405 [*Aqy76Qa  
20  报表生成器 406 :_{{PY0PK  
20.1  入门 406 cuV8#: i  
20.2  指令(Instructions) 406 L5-T6CD  
20.3  页面布局指令 406 p]1yd;Jt  
20.4  常见的参数图和三维图 407 ? $)x$nS`  
20.5  表格中的常见参数 408 Xh7~MU~X  
20.6  迭代指令 408 %-1BA *J`|  
20.7  报表模版 408 A-Q{*{^#  
20.8  开始设计一个报表模版 409 [5Y$L  
21  一个新的project 413 -H ac^4uF  
21.1  创建一个新Job 414 &6,Yjs:T m  
21.2  默认设计 415 3$96+A^M*  
21.3  薄膜设计 416 ^hl]s?"3  
21.4  误差的灵敏度计算 420 tn:/pPap  
21.5  显色指数计算 422 s{1Deek=  
21.6  电场分布 424 *x*,I ,03  
后记 426
@^y?Bh9jQ  
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