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infotek 2022-09-06 08:45

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)

TT'[qfAI  
fG}tMSI  
内容简介 %<E$,w>  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ]%|GmtqZs,  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Av"R[)  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 S/^"@?z,vE  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
n;(\5{a  
GqWB{$J;"  
目录 3|1i lP  
Preface 1 Qk\A c  
内容简介 2 2Tfz=7h$  
目录 i q8^^H$<Db  
1  引言 1 K@#(*."  
2  光学薄膜基础 2 nyBJb(5"B  
2.1  一般规则 2 <4_X P.N  
2.2  正交入射规则 3 u#Z#)3P  
2.3  斜入射规则 6 +w.JpbQ&  
2.4  精确计算 7 lmfi  
2.5  相干性 8 P^w#S  
2.6 参考文献 10 BB~OqZIP  
3  Essential Macleod的快速预览 10 cJ1#ge%4  
4  Essential Macleod的特点 32 R,F[XI+=N  
4.1  容量和局限性 33 Ys,{8Y,7  
4.2  程序在哪里? 33 cgm81+[%r  
4.3  数据文件 35 eU<]o< \Qo  
4.4  设计规则 35 7Garnd b  
4.5  材料数据库和资料库 37 ,!dh2xNH^  
4.5.1材料损失 38 E_8\f_%wK  
4.5.1材料数据库和导入材料 39  A-4h  
4.5.2 材料库 41 8"dv_`ym  
4.5.3导出材料数据 43 xER\ZpA :,  
4.6  常用单位 43 &4b&X0pU  
4.7  插值和外推法 46 ow_djv:,  
4.8  材料数据的平滑 50 @6mBqcE'?  
4.9 更多光学常数模型 54 ,Fi>p0bz  
4.10  文档的一般编辑规则 55 jBU4F~1y  
4.11 撤销和重做 56 hir4ZO%Zt  
4.12  设计文档 57 XLL/4)  
4.10.1  公式 58 D3)zk@N  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 M-[ $L XR  
4.10.3  沉积密度 59 (cN}Epi(D  
4.10.4 平行和楔形介质 60 # m[|2R  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 |b-]n"}c>  
4.10.4  性能 61 x\J#]d.  
4.10.5  保存设计和性能 64 {%IExPJ  
4.10.6  默认设计 64 LxpuhvIO  
4.11  图表 64 Sp}tD<V  
4.11.1  合并曲线图 67 5g9; +}X;  
4.11.2  自适应绘制 68 7{I h_.#  
4.11.3  动态绘图 68 }S3qBQTYL  
4.11.4  3D绘图 69 K^ B%/T]d  
4.12  导入和导出 73 v>Mnl  
4.12.1  剪贴板 73 (ZY@$''  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 A?`jnRo=\  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 ^b7GH9<&  
4.13  背景 77 ,}:G\u*Fu  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 lhtZaU~V  
4.15  生成Rugate 84 :"l-KQ0  
4.16  参考文献 91 z^GDJddG  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 `\m*+Bk[5  
5.1  Jobs 92 kWNV%RlSx  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 6<'21  
5.3  输入材料 94 8X I?  
5.4  设计数据文件夹 95 Dc+'<"  
5.5  默认设计 95 JR@.R ,rII  
6  细化和合成 97 eQVZO>)P1+  
6.1  优化介绍 97 o,xxh  
6.2  细化 (Refinement) 98 =b[_@zq]  
6.3  合成 (Synthesis) 100 XfKo A0  
6.4  目标和评价函数 101 JkGnKm9G  
6.4.1  目标输入 102 e#B#B  
6.4.2  目标 103 Uz7^1.-g4  
6.4.3  特殊的评价函数 104 z.6$W^  
6.5  层锁定和连接 104 7#~+@'Oe  
6.6  细化技术 104 NBF MN%  
6.6.1  单纯形 105 YhRWz=l  
6.6.1.1 单纯形参数 106 ?\#N9 +{W  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 ;P;((2_X9  
6.6.2.1 Optimac参数 108 uK'&Dam  
6.6.3  模拟退火算法 109 fi+R2p~vs  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 XUF\r]B,9  
6.6.4  共轭梯度 111 $46{<4.  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 :0/q5_t  
6.6.5  拟牛顿法 112 ^T.E+2=>z  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 <jS~ WI@  
6.6.6  针合成 113 r|*&GHo L  
6.6.6.1 针合成参数 114 z`6fotL  
6.6.7 差分进化 114 4G@nZn  
6.6.8非局部细化 115 '&99?s`u  
6.6.8.1非局部细化参数 115 y}v+c%d  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 nr)c!8  
6.7.1  细化 116 W[[bV  
6.7.2  合成 117 4 V1bLm  
6.8  参考文献 117 cV-1?h63  
7  导纳图及其他工具 118 hfcIvs/!  
7.1  简介 118 `p'Q7m2y/b  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 9]'($:LF08  
7.2.1  四分之一波长规则 119 "C?5f]T  
7.2.2  导纳图 120 Ke-)vPc  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ,&Wn [G<2  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 +Ug/rtK4   
7.5  斜入射导纳图 141 @=5qT]%U3J  
7.6  对称周期 141 Ro=AADv@  
7.7  参考文献 142 `O^G5 0  
8  典型的镀膜实例 143 ^2o dr \  
8.1  单层抗反射薄膜 145 PS S?|Vk  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 #&8}<8V  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 as+GbstN  
8.4  W-膜层 148 "&Qctk`<P  
8.5  V-膜层 149 I =Wc&1g  
8.6  V-膜层高折射基底 150 ^O^:$nXhYy  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 )R_E|@"  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 nH !3(X*  
8.9  四层抗反射薄膜 153 QHBtWQgS  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 f-2$ L  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 %b?$@H-Re  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 3ew8m}A{O  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 $[@0^IJq=K  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 6O2=Ns;J6  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 O;[9_[  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 jy2IZ o  
8.17  1/4波长堆栈 162 R)Mt(gFZT_  
8.18  陷波滤波器 163 V2|3i}V"  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Xj+q~4{|vt  
8.20  褶皱 165 E3/:.t  
8.21  消偏振分光器1 169 Dbx~n#nG  
8.22  消偏振分光器2 171 s,*c@1f?  
8.23  消偏振立体分光器 172 N"[B=fU}  
8.24  消偏振截止滤光片 173 jx_4B%kzq  
8.25  立体偏振分束器1 174 ?v}Bd!'+P  
8.26  立方偏振分束器2 177 n uQM^2  
8.27  相位延迟器 178 )<4_:  
8.28  红外截止器 179 T_<BVM  
8.29  21层长波带通滤波器 180 Cup@TET35  
8.30  49层长波带通滤波器 181 $t rAC@3O@  
8.31  55层短波带通滤波器 182 ps:f=6m2  
8.32  47 红外截止器 183 !wLg67X$ -  
8.33  宽带通滤波器 184 ALd;$fd qf  
8.34  诱导透射滤波器 186 ;%q39U}  
8.35  诱导透射滤波器2 188 FdOFE.l  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ^b?2N/m@  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ,je`YEC  
8.35  增益平坦滤波器 193 +$z]w(lbT  
8.38  啁啾反射镜 1 196 *j)M]  
8.39  啁啾反射镜2 198 x;BbTBc>  
8.40  啁啾反射镜3 199 '3l$al:H^  
8.41  带保护层的铝膜层 200 Y^ve:Z  
8.42  增加铝反射率膜 201 vC/[^  
8.43  参考文献 202 cJ}QXuuUv  
9  多层膜 204 %NHYW\sKX  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 yfjXqn[Z4  
9.2  内部透过率 204 r@)A k  
9.3 内部透射率数据 205 zz$q5[n  
9.4  实例 206 \X}8 q  
9.5  实例2 210 K3$` Kv>I  
9.6  圆锥和带宽计算 212 W,hWOO  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 P]<= ! F  
10  光学薄膜的颜色 216 Il~01|3+m  
10.1  导言 216 U_z2J(e~  
10.2  色彩 216 (hZ:X)E>  
10.3  主波长和纯度 220 h%#_~IA:|  
10.4  色相和纯度 221 W5DbFSgB  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 uVU`tDzd:  
10.6 色差 226 ddpl Pzm#  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 Ns~&sE:  
10.8  颜色渲染指数 234 +/'<z  
10.9  色差计算 235 DR+,Y2!_GT  
10.10  参考文献 236 ML!9:vz  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 : 1)}Epo,  
11.1  短脉冲 238 j64 4V|z  
11.2  群速度 239 X}JWf<=q  
11.3  群速度色散 241 Uxl(96  
11.4  啁啾(chirped) 245 XdIah<F2  
11.5  光学薄膜—相变 245 mc@M,2@D  
11.6  群延迟和延迟色散 246 [Z }B"  
11.7  色度色散 246 ;( K MGir  
11.8  色散补偿 249 |+ 7f2C  
11.9  空间光线偏移 256 d?Y-;-|8Qh  
11.10  参考文献 258 ]if;A)'  
12  公差与误差 260 $iJnxqn  
12.1  蒙特卡罗模型 260 @&R1wr1>I5  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ;~tsF.=  
12.2.1  误差工具 267 _-a|VTM  
12.2.2  灵敏度工具 271 r\mPIr|  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 C6k4g75U2  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 }$)&{d G  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 ]tVl{" .{  
12.3  参考文献 276 Va9q`XbyO  
13  Runsheet 与Simulator 277 Y1r ,2k  
13.1  原理介绍 277 p{H0dj^|  
13.2  截止滤光片设计 277 9/;{>RL=  
14  光学常数提取 289 Zc\S$+PM  
14.1  介绍 289 _g6wQdxT  
14.2  电介质薄膜 289 6F5,3&  
14.3  n 和k 的提取工具 295 %Dyh:h   
14.4  基底的参数提取 302 5EhE`k4  
14.5  金属的参数提取 306 ]gP8?s|  
14.6  不正确的模型 306 3X'WR]  
14.7  参考文献 311 i[=C_+2  
15  反演工程 313 GVObz?Z]SB  
15.1  随机性和系统性 313 8t``NZ[  
15.2  常见的系统性问题 314 \!PV*%P  
15.3  单层膜 314 @&:VKpu\  
15.4  多层膜 314 I@PJl  
15.5  含义 319 (5(fd.m+_  
15.6  反演工程实例 319 n0FYfqH  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 7|~:P $M  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 N9*UMVU  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 %c0z)R~  
16.1  光学性质的热致偏移 329 qhxC 5f4Z  
16.2  应力工具 335 Ki 3_N*z  
16.3  均匀性误差 339 ]PVt o\B=  
16.3.1  圆锥工具 339 TolrEcI  
16.3.2  波前问题 341 Ut;'Gk  
16.4  参考文献 343 nt`<y0ta  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 ?H0m<jO8~  
17.1  引言 345 NEg>lIu<~  
17.2  操作数 345 ?d,M.o{0]  
18  如何在Function中编写脚本 351 >W~=]&7{s4  
18.1  简介 351 -7 L  
18.2  什么是脚本? 351 jNqVdP]d\  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 #fzw WP  
18.4  基础 352 g 2#F_  
18.4.1  Classes(类别) 352 - #Jj-t_Fe  
18.4.2  对象 352 ~bFdJj 1*  
18.4.3  信息(Messages) 352 .' IeHh  
18.4.4  属性 352 %xh?!s|G(  
18.4.5  方法 353 R}.3|0  
18.4.6  变量声明 353 b\M b*o  
18.5  创建对象 354 .]zw*t*  
18.5.1  创建对象函数 355 H\f/n`@,G  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 H CuK  
18.5.3 丢弃对象 356 P09,P  
18.5.4  总结 356 Xiw@  
18.6  脚本中的表格 357 m/" J s  
18.6.1  方法1 357 PuU*vs3  
18.6.2  方法2 357 s!i:0}U  
18.7 2D Plots in Scripts 358 s%bUgO%&  
18.8 3D Plots in Scripts 359 i)8gCDc  
18.9  注释 360 A{t"M-<  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 V:QdQ;c  
18.11  一个更高级的脚本 362 Bj+wayMi  
18.12  <esc>键 364 y* rY~U#3  
18.13 包含文件 365 fYs?D+U;PF  
18.14  脚本被优化调用 366 >Ban?3{  
18.15  脚本中的对话框 368 ?}v}U^  
18.15.1  介绍 368 0hb/`[Q  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 M(NH9EE  
18.15.3  输入框函数 370 lf;~5/%wMG  
18.15.4  自定义对话框 371 2$  
18.15.5  对话框编辑器 371 *n;>p_#  
18.15.6  控制对话框 377 {Bc#?n  
18.15.7  更高级的对话框 380 oN4G1U Kc  
18.16 Types语句 384 bbO+%-(X  
18.17 打开文件 385 +!G4tA$g  
18.18 Bags 387 J/= +r0c  
18.13  进一步研究 388 #[Z<=i~C  
19  vStack 389 RpULm1b  
19.1  vStack基本原理 389 l-Fmn/V  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 /jvO XS\M  
19.3  五棱镜 393 V15q01bE#  
19.4 光束距离 396 >b3@>W  
19.5 误差 399 *J.c $1#h  
19.6  二向分色棱镜 399 Pb3EnNqYbM  
19.7  偏振泄漏 404 \A ;^ UxG  
19.8  波前误差—相位 405 0}6QO  
19.9  其它计算参数 405 E}Ljo  
20  报表生成器 406 A}gYcc85Z  
20.1  入门 406 \3L$I-]m  
20.2  指令(Instructions) 406 zv`zsqDJ  
20.3  页面布局指令 406 9A(n _Rs7?  
20.4  常见的参数图和三维图 407 +J%6bn)U  
20.5  表格中的常见参数 408 3g^IXm:K$  
20.6  迭代指令 408 l'W3=,G[?  
20.7  报表模版 408 :l4^iSf  
20.8  开始设计一个报表模版 409 8 H,_vf  
21  一个新的project 413 vi^z5n  
21.1  创建一个新Job 414 JThk Wx  
21.2  默认设计 415 \f6lT3"VN  
21.3  薄膜设计 416  {`tHJ|8  
21.4  误差的灵敏度计算 420 H&w(]PDh  
21.5  显色指数计算 422 $#TID=  
21.6  电场分布 424 is64)2F](  
后记 426
gQu\[e%mVo  
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