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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
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infotek
2022-09-06 08:45
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
0}P&G^%"
`=CF |I
内容简介
pRt )B`#
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。
tK8\Ib J
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
'| Ag,x[
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
kTFN.kQx@
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
3c-ve$8u~
XtQ3$0{*%
目录
k$I[F<f
Preface 1
]=]'*Z%
内容简介 2
0*tEuJ7
目录 i
nNQ\rO
1 引言 1
UbMcXH8=F
2 光学薄膜基础 2
'*)!&4f
2.1 一般规则 2
b<:s{f"t,
2.2 正交入射规则 3
;>Z#1~8
2.3 斜入射规则 6
QjZ}*p
2.4 精确计算 7
tP3H7Yl!g
2.5 相干性 8
EDnmYaa)dZ
2.6 参考文献 10
;gW~+hW ^
3 Essential Macleod的快速预览 10
%t<Y6*g
4 Essential Macleod的特点 32
.X:{s,@
4.1 容量和局限性 33
tQ|b?3
4.2 程序在哪里? 33
IM +Dm
4.3 数据文件 35
CTPn'P=\C
4.4 设计规则 35
q*'hSt@+D
4.5 材料数据库和资料库 37
Dq-h`lh!D#
4.5.1材料损失 38
?*4]LuK6
4.5.1材料数据库和导入材料 39
T-<^mX[}
4.5.2 材料库 41
}n:-nB4
4.5.3导出材料数据 43
0Fi7|
4.6 常用单位 43
~t#'X8.)
4.7 插值和外推法 46
}8r+&e
4.8 材料数据的平滑 50
Oe;9[=L[
4.9 更多光学常数模型 54
o'H$g%
4.10 文档的一般编辑规则 55
Gjv'$O2_
4.11 撤销和重做 56
Z?v9ub~%
4.12 设计文档 57
YY]LK%-
4.10.1 公式 58
x,p|n
4.10.2 更多关于膜层厚度 59
Zr$PSp}
4.10.3 沉积密度 59
R;;)7|;~
4.10.4 平行和楔形介质 60
jl7e6#zu
4.10.5 渐变折射率和散射层 60
ly^F?.e-
4.10.4 性能 61
} [75`pC~O
4.10.5 保存设计和性能 64
;9prsvf
4.10.6 默认设计 64
jj.yB#T
4.11 图表 64
uIWCVR8`Y
4.11.1 合并曲线图 67
/>$)o7U`+
4.11.2 自适应绘制 68
[&Qrk8EN
4.11.3 动态绘图 68
Hq%`DWus\
4.11.4 3D绘图 69
.Qi`5C:U
4.12 导入和导出 73
yLY2_p-X
4.12.1 剪贴板 73
Z#oo8
4.12.2 不通过剪贴板导入 76
M8g=t[\
4.12.3 不通过剪贴板导出 76
<'gCI Ia2
4.13 背景 77
O %)+ w
4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
0<^K0>lm p
4.15 生成Rugate 84
>i=O =w
4.16 参考文献 91
(jQL?
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
3Um\?fj>}(
5.1 Jobs 92
,:,c kul
5.2 创建一个新Job(工作) 93
]jy6C'Mp
5.3 输入材料 94
#s]]\
5.4 设计数据文件夹 95
4uTYuaCNs
5.5 默认设计 95
b$B5sKQ
6 细化和合成 97
\!631FcQ
6.1 优化介绍 97
35c9c(A
6.2 细化 (Refinement) 98
;Y)?6^"
6.3 合成 (Synthesis) 100
kmP0gT{Sj
6.4 目标和评价函数 101
>j$f$*x
6.4.1 目标输入 102
X@\! \
6.4.2 目标 103
qA03EU
6.4.3 特殊的评价函数 104
4q~l?*S
6.5 层锁定和连接 104
P}aJvFlmP
6.6 细化技术 104
fEgZ/p!g
6.6.1 单纯形 105
1`h`-dqr#
6.6.1.1 单纯形参数 106
xXHz)w
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
CBO8^M<K
6.6.2.1 Optimac参数 108
!'PPj_Hp]
6.6.3 模拟退火算法 109
|1t30_ /gS
6.6.3.1 模拟退火参数 109
s+0$_&xR
6.6.4 共轭梯度 111
S&]JY
6.6.4.1 共轭梯度参数 111
r]8B6iV
6.6.5 拟牛顿法 112
(zTr/
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
HPU7 ` b4
6.6.6 针合成 113
gNxnoOY
6.6.6.1 针合成参数 114
rT"8e*LT
6.6.7 差分进化 114
Gq0~&6
6.6.8非局部细化 115
x.45!8Zb
6.6.8.1非局部细化参数 115
OBj.-jL
6.7 我应该使用哪种技术? 116
X|8Yz3:o
6.7.1 细化 116
}TYCF@
6.7.2 合成 117
ch< zpo:
6.8 参考文献 117
~_h4|vG
7 导纳图及其他工具 118
D0-C:gz
7.1 简介 118
)"f>cYF
7.2 薄膜作为导纳的变换 118
wd1*wt
7.2.1 四分之一波长规则 119
46$u}"E
7.2.2 导纳图 120
;rk}\M$+
7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
=D3Y q?
7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
D./e|i?
7.5 斜入射导纳图 141
5bMVDw/
7.6 对称周期 141
"qwRcuHY
7.7 参考文献 142
9hLPo
8 典型的镀膜实例 143
_ sM$O>
8.1 单层抗反射薄膜 145
*rW] HNz
8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
N%>/ e'(
8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
m;[z)-&"
8.4 W-膜层 148
)Oa"B;\j
8.5 V-膜层 149
r^Gl~sX
8.6 V-膜层高折射基底 150
drN^-e
8.7 V-膜层高折射率基底b 151
F,4Q
8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
WL$WWA08_
8.9 四层抗反射薄膜 153
V+(
8.10 Reichert抗反射薄膜 154
8mx5K-/,y^
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
s$`evX7D
8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
#7'ww*+
8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
+mAMCM2N
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
jixU9]
8.15十五层宽带抗反射膜 159
x}F.<`
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
/&ph-4\i
8.17 1/4波长堆栈 162
+5^*c^C
8.18 陷波滤波器 163
[[TB.'k
8.19 厚度调制陷波滤波器 164
J!S3pS5j
8.20 褶皱 165
B?TAS
8.21 消偏振分光器1 169
2]Y (<PC
8.22 消偏振分光器2 171
t F`>.=
8.23 消偏振立体分光器 172
(-"A5(X:/
8.24 消偏振截止滤光片 173
5t0i/&zX
8.25 立体偏振分束器1 174
x6F\|nb
8.26 立方偏振分束器2 177
93YD\R+q
8.27 相位延迟器 178
=Jem.Ph
8.28 红外截止器 179
Fbk<qQH
8.29 21层长波带通滤波器 180
)Cx8?\/c=x
8.30 49层长波带通滤波器 181
i 0L7`TB
8.31 55层短波带通滤波器 182
[IW@mn>
8.32 47 红外截止器 183
4(Y5n? /
8.33 宽带通滤波器 184
?u8+F
8.34 诱导透射滤波器 186
B&L{/.v_z\
8.35 诱导透射滤波器2 188
@#o$~'my
8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
^hbh|Du
8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
}rGDM
8.35 增益平坦滤波器 193
?k"KZxpT
8.38 啁啾反射镜 1 196
b6NttY!3
8.39 啁啾反射镜2 198
f+/^1~^
8.40 啁啾反射镜3 199
L@G)K
8.41 带保护层的铝膜层 200
uomFE(
8.42 增加铝反射率膜 201
Yh"Z@D[d
8.43 参考文献 202
9|'bPOKe
9 多层膜 204
o AQ92~b
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
G+5G,|}
9.2 内部透过率 204
9:BGA/?
9.3 内部透射率数据 205
#0 ^QUOp
9.4 实例 206
nP0}vX)<
9.5 实例2 210
2c+q~8Jv
9.6 圆锥和带宽计算 212
hefV0)4K
9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
l~f +h?cF
10 光学薄膜的颜色 216
O4-UVxv}
10.1 导言 216
O<%U*:B
10.2 色彩 216
e348^S&rG
10.3 主波长和纯度 220
e HOm^.gd
10.4 色相和纯度 221
{CGk5` g~
10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
^,`Lt *
10.6 色差 226
b?bIxCA8
10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
FtF!Dtv
10.8 颜色渲染指数 234
W>@+H"pZ
10.9 色差计算 235
OTV)#,occ
10.10 参考文献 236
h]'fX
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
MvRuW:
11.1 短脉冲 238
T!;<Fy"p
11.2 群速度 239
~I'Z=Wo
11.3 群速度色散 241
06=eA0JI
11.4 啁啾(chirped) 245
z?7s'2w&{
11.5 光学薄膜—相变 245
!`aodz*PO
11.6 群延迟和延迟色散 246
B8IfE`
11.7 色度色散 246
|d:URuG~:I
11.8 色散补偿 249
83<kaeu,^
11.9 空间光线偏移 256
P-vA.7
11.10 参考文献 258
Th!S?{v
12 公差与误差 260
~" $9auQtC
12.1 蒙特卡罗模型 260
bFflA
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
Mz"kaO
12.2.1 误差工具 267
sH&8"5BT%
12.2.2 灵敏度工具 271
"= %-
12.2.2.1 独立灵敏度 271
-D V;{8U4
12.2.2.2 灵敏度分布 275
r[\47cG
12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
ME |"pJ
12.3 参考文献 276
?2G^6>O`
13 Runsheet 与Simulator 277
+bQn2PG=
13.1 原理介绍 277
j+Tk|GRab
13.2 截止滤光片设计 277
a~{Stv
14 光学常数提取 289
pkM32v-
14.1 介绍 289
* }2o \h6Q
14.2 电介质薄膜 289
zR5D)`Ph
14.3 n 和k 的提取工具 295
#Io#OG<7b
14.4 基底的参数提取 302
N;D+]_;0|
14.5 金属的参数提取 306
W``e6RX-
14.6 不正确的模型 306
dm.3. xXq
14.7 参考文献 311
61C&vm
15 反演工程 313
z&-`<uV~
15.1 随机性和系统性 313
zd;xbH//)b
15.2 常见的系统性问题 314
U O[p
15.3 单层膜 314
'dht5iI;Yw
15.4 多层膜 314
lX7#3ti:
15.5 含义 319
$23R%8j
15.6 反演工程实例 319
"<.b=mN-
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
WK<pZ *x
15.6.2 反演工程提取折射率 327
/Pf7= P
16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
___+5r21\
16.1 光学性质的热致偏移 329
hpw;w}m
16.2 应力工具 335
DdFVOs|
16.3 均匀性误差 339
+~[19'GH
16.3.1 圆锥工具 339
CiMN J
16.3.2 波前问题 341
p4el9O&-tV
16.4 参考文献 343
',CcL N
17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
%ZZ}TUI W
17.1 引言 345
Ep'C FNbtW
17.2 操作数 345
O0Z'vbFG
18 如何在Function中编写脚本 351
?s_q|d_
18.1 简介 351
Q.8Jgel1
18.2 什么是脚本? 351
\ oL+O|
18.3 Function中脚本和操作数对比 351
kPxrI=
18.4 基础 352
0u0Hl% nl
18.4.1 Classes(类别) 352
lc/2!:g
18.4.2 对象 352
*]H ./a:1
18.4.3 信息(Messages) 352
aH>.o 1;
18.4.4 属性 352
"%Rx;xw|
18.4.5 方法 353
"oTwMU
18.4.6 变量声明 353
_mO\Nw0
18.5 创建对象 354
b>waxQxjS
18.5.1 创建对象函数 355
8EP^M~rv
18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
M1oCa,8M+
18.5.3 丢弃对象 356
*.K}`89T
18.5.4 总结 356
S ":-5S6
18.6 脚本中的表格 357
#6YNgJNk
18.6.1 方法1 357
BE m%x0y
18.6.2 方法2 357
z24-hC
18.7 2D Plots in Scripts 358
Db3tI#
18.8 3D Plots in Scripts 359
(*M(gM{;
18.9 注释 360
*F9uv)[kz
18.10 脚本管理器调用Scripts 360
[}VEDx
18.11 一个更高级的脚本 362
wv*r}{%7g[
18.12 <esc>键 364
KpK'?WhX7^
18.13 包含文件 365
b.t]p
18.14 脚本被优化调用 366
Yt{Y)=_t
18.15 脚本中的对话框 368
vUCU%>F
18.15.1 介绍 368
TQ>1u
18.15.2 消息框-MsgBox 368
}2{%V^D)r
18.15.3 输入框函数 370
1ITa6vjS
18.15.4 自定义对话框 371
RLIugz{IH
18.15.5 对话框编辑器 371
E.BMm/WH
18.15.6 控制对话框 377
_H;ObTiB
18.15.7 更高级的对话框 380
Lu<'A4Q1
18.16 Types语句 384
~+|p.(I
18.17 打开文件 385
:|d3BuY
18.18 Bags 387
:0vNg:u+
18.13 进一步研究 388
+tO V+6Uz
19 vStack 389
{0[qERj"z
19.1 vStack基本原理 389
7.]xcJmt>'
19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
!e%#Zb MIo
19.3 五棱镜 393
UZdpKi@
19.4 光束距离 396
i|2Q}$3t2
19.5 误差 399
kgA')]
19.6 二向分色棱镜 399
~Ipl'cE
19.7 偏振泄漏 404
z:acrQwJ?1
19.8 波前误差—相位 405
\BS^="AcpP
19.9 其它计算参数 405
qUVV374N
20 报表生成器 406
J \G8g,@
20.1 入门 406
z43 H]
20.2 指令(Instructions) 406
pfZxG.l
20.3 页面布局指令 406
3s$m0
20.4 常见的参数图和三维图 407
~s !+9\Fi
20.5 表格中的常见参数 408
`s.y!(`q
20.6 迭代指令 408
Hm*n,8_
20.7 报表模版 408
F+}MW/ra@
20.8 开始设计一个报表模版 409
92S<TAdPP
21 一个新的project 413
F*(<`V
21.1 创建一个新Job 414
fUE jl
21.2 默认设计 415
_o<8R@1
21.3 薄膜设计 416
fv}h;?C
21.4 误差的灵敏度计算 420
j'v2m 6/
21.5 显色指数计算 422
E5Z,4B
21.6 电场分布 424
eH75:`
后记 426
Vw+U?
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