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infotek 2022-09-06 08:45

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)

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内容简介 8?p40x$m%  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ;F>$\"aG  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 &8kc0Z@y  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 UO3QwZ4j;  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
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.KzGb4U  
目录 y2"PKBK\_  
Preface 1 w5j6RQml  
内容简介 2 82w;}(!  
目录 i Xz/5 Wis4  
1  引言 1 P''5A6#5  
2  光学薄膜基础 2 %}< e;t-O  
2.1  一般规则 2 >F@qFP N]  
2.2  正交入射规则 3 f?KHp|  
2.3  斜入射规则 6 x#wkODLqi  
2.4  精确计算 7 e_eNtVq  
2.5  相干性 8 $f++n5I  
2.6 参考文献 10 Z )Imj&;  
3  Essential Macleod的快速预览 10 h6Femis  
4  Essential Macleod的特点 32 +Ce[OG.  
4.1  容量和局限性 33 +>zjTP7\e"  
4.2  程序在哪里? 33 ,'FH[2  
4.3  数据文件 35 hLs<g!*O  
4.4  设计规则 35 + F{hFuHV  
4.5  材料数据库和资料库 37 RK7vR~kf<  
4.5.1材料损失 38 J[Ck z]  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 GM1z@i\5  
4.5.2 材料库 41 -4rXOmiA  
4.5.3导出材料数据 43 ySfot`LQ  
4.6  常用单位 43 Z&f@)j  
4.7  插值和外推法 46 x,U '!F  
4.8  材料数据的平滑 50 W^a-K  
4.9 更多光学常数模型 54 5=;LHS*   
4.10  文档的一般编辑规则 55 s} I8:ufT  
4.11 撤销和重做 56 GJu[af  
4.12  设计文档 57 7H$I9e  
4.10.1  公式 58 &.m.ruab  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 >9WJa5{  
4.10.3  沉积密度 59 >i6sJ)2?>  
4.10.4 平行和楔形介质 60 fX ^h O+f  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 w^ AY= Fc  
4.10.4  性能 61 #8Bs15aV  
4.10.5  保存设计和性能 64 "aU) [  
4.10.6  默认设计 64 5Kadh2nz  
4.11  图表 64 ,A$#gLyk<  
4.11.1  合并曲线图 67 G_vcuCHm  
4.11.2  自适应绘制 68 e_<'zH_1  
4.11.3  动态绘图 68 >)Udb//  
4.11.4  3D绘图 69 1g{-DIOmn  
4.12  导入和导出 73 j_(DH2D  
4.12.1  剪贴板 73 Li'>pQ+  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 s6U$]9 `  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 P{bRRn4Z  
4.13  背景 77 ^"\3dfzKM  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 BR*'SF\T  
4.15  生成Rugate 84 m{ wk0  
4.16  参考文献 91 VW$a(G_h  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 Rudj"OGO  
5.1  Jobs 92 1BjMVMH  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 y[D8rFw  
5.3  输入材料 94 .83{NF  
5.4  设计数据文件夹 95 Jbv[Ql#  
5.5  默认设计 95 ?M/H{  
6  细化和合成 97 .jXD0~N8q  
6.1  优化介绍 97 '%H\ k5^  
6.2  细化 (Refinement) 98 ]ZMFK>"^%  
6.3  合成 (Synthesis) 100 #J Ay  
6.4  目标和评价函数 101 W0I)< S  
6.4.1  目标输入 102 bQvhBa?  
6.4.2  目标 103 A2 r\=for  
6.4.3  特殊的评价函数 104 wv7XhY}  
6.5  层锁定和连接 104 -MK9IO]i  
6.6  细化技术 104 <hV%OrBz-  
6.6.1  单纯形 105 mA?fCs  
6.6.1.1 单纯形参数 106 +W%3VV$  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 t@;r~S b  
6.6.2.1 Optimac参数 108 d:L|BkQ7*  
6.6.3  模拟退火算法 109 hr/H vB  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 tP. jJC~  
6.6.4  共轭梯度 111 V0/PjD,jP  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 /$U< S"  
6.6.5  拟牛顿法 112 ${F4x"x  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 A<U9$"j9J  
6.6.6  针合成 113 &)$}Nk  
6.6.6.1 针合成参数 114 s=H| ^v  
6.6.7 差分进化 114 TPF5?  
6.6.8非局部细化 115 CX}==0od  
6.6.8.1非局部细化参数 115 ]zATdfa  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 +B&,$ceyaJ  
6.7.1  细化 116 I^l\<1"]  
6.7.2  合成 117 |[W7&@hF  
6.8  参考文献 117 EY^+ N>  
7  导纳图及其他工具 118 di4>Ir~]  
7.1  简介 118 MJM<  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 tJvs ?eZ)  
7.2.1  四分之一波长规则 119 p9-s'F|@i  
7.2.2  导纳图 120 'Z8=y[l  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 '/'dg5bfV  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 $.F.xYS9IJ  
7.5  斜入射导纳图 141 DLH|y%"  
7.6  对称周期 141 \(&UDG$  
7.7  参考文献 142 ?p'DgL{  
8  典型的镀膜实例 143 z=6zc-$y 9  
8.1  单层抗反射薄膜 145 K"/3/`T  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 [J8;V|v  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 d#CAP9n;'  
8.4  W-膜层 148 >e^^YR^  
8.5  V-膜层 149 uZml.#@4  
8.6  V-膜层高折射基底 150 a797'{j#PI  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 _$P1N^}Zs  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 n09P!],Xa  
8.9  四层抗反射薄膜 153 O?$]/d  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 w2) @o >w  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 V [Wo9Y\  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 x K ;#C  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 o/hj~;(]  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 2GxkOch  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 =`ECM7  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 O?t49=uB}  
8.17  1/4波长堆栈 162 +-:o+S`q~  
8.18  陷波滤波器 163 7d^ ~.F  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 C@3UsD\s(  
8.20  褶皱 165 oc"7|YG  
8.21  消偏振分光器1 169 X?.tj Z,  
8.22  消偏振分光器2 171 lkW5<s_  
8.23  消偏振立体分光器 172 tu's]3RE  
8.24  消偏振截止滤光片 173 E1s~ +  
8.25  立体偏振分束器1 174 UaB2vuL*=  
8.26  立方偏振分束器2 177 @^.o8+Pp  
8.27  相位延迟器 178 C@WdPjxj  
8.28  红外截止器 179 NwN3T]W  
8.29  21层长波带通滤波器 180 @rS(3wu_&  
8.30  49层长波带通滤波器 181 U%n>(!d  
8.31  55层短波带通滤波器 182 ,WBKN)%u  
8.32  47 红外截止器 183 Pq, iR J  
8.33  宽带通滤波器 184 /\MkH\zg  
8.34  诱导透射滤波器 186 6^)eW+  
8.35  诱导透射滤波器2 188 k8b5~A,  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 av bup  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ~KczP1p  
8.35  增益平坦滤波器 193 ]app9  
8.38  啁啾反射镜 1 196 _UV_n!R  
8.39  啁啾反射镜2 198 B,] AfH  
8.40  啁啾反射镜3 199 WWTRB +1>  
8.41  带保护层的铝膜层 200 nrR2U`  
8.42  增加铝反射率膜 201 A 8g_BLj!e  
8.43  参考文献 202 [#(',~lN7  
9  多层膜 204 aeDhC#h  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 "m`}J*s"  
9.2  内部透过率 204 &Im-@rV!  
9.3 内部透射率数据 205 -O\f y!  
9.4  实例 206 Uy|Tu~  
9.5  实例2 210 p6&<eMwFA  
9.6  圆锥和带宽计算 212 h; 6G~D  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 ' e %>Ip  
10  光学薄膜的颜色 216 k2(k0HFR  
10.1  导言 216 mWU d-|Ul  
10.2  色彩 216 w '9!%mr  
10.3  主波长和纯度 220 u$FL(m4  
10.4  色相和纯度 221 [hV}$0#E[O  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 fmD~f  
10.6 色差 226 y t7>,  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 1'P4{T0 [  
10.8  颜色渲染指数 234 WcY$=\7  
10.9  色差计算 235 ke k/C`7  
10.10  参考文献 236 q/Zs]Gz  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 9z`72(  
11.1  短脉冲 238 J#5V>7G  
11.2  群速度 239 zK>m4+)~  
11.3  群速度色散 241 ^CgN>-xZ?#  
11.4  啁啾(chirped) 245 _SkiO }c8  
11.5  光学薄膜—相变 245 &DjA?0`J  
11.6  群延迟和延迟色散 246 Cm]\5}Py  
11.7  色度色散 246 L c )i  
11.8  色散补偿 249 FzykC  
11.9  空间光线偏移 256 vz)R84   
11.10  参考文献 258 ?op;#/Q(  
12  公差与误差 260 |bhv7(_  
12.1  蒙特卡罗模型 260 {jv+ J L"5  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 5V~vND* s  
12.2.1  误差工具 267 OT(0~,.GJ  
12.2.2  灵敏度工具 271 R"l6|9tmP  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 Mp=T;Nz  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 vvs2:87zvJ  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 dkY JO!  
12.3  参考文献 276 q<Qjc  
13  Runsheet 与Simulator 277 $:# :"  
13.1  原理介绍 277 [LQOP3f  
13.2  截止滤光片设计 277 m#R"~ >  
14  光学常数提取 289 .R#-u/6g(  
14.1  介绍 289 F'F 6 &a+  
14.2  电介质薄膜 289 `%^w-'  
14.3  n 和k 的提取工具 295 )\PX1198  
14.4  基底的参数提取 302 q/Vl>t  
14.5  金属的参数提取 306 Z9MR"!0  
14.6  不正确的模型 306 X|/RV4x@Cq  
14.7  参考文献 311 <6s@eare8  
15  反演工程 313 1B:5O*I!J  
15.1  随机性和系统性 313 .z=%3p8+  
15.2  常见的系统性问题 314 FFcIOn  
15.3  单层膜 314 Bo14t*(  
15.4  多层膜 314 kM[!UOnC!<  
15.5  含义 319 [La}h2gz  
15.6  反演工程实例 319 %O f w"W  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ~ ^D2]j  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 B2*7H  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 )_n(u3'  
16.1  光学性质的热致偏移 329 ^*+M9e9Z  
16.2  应力工具 335 H+-x.l`  
16.3  均匀性误差 339 VbMud]40F  
16.3.1  圆锥工具 339  I{ki))F  
16.3.2  波前问题 341 |(2#KMEWa  
16.4  参考文献 343 xIW]e1pu=(  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 S:Jg#1rww-  
17.1  引言 345 Hz[1c4)'F  
17.2  操作数 345 aMxj{*v7  
18  如何在Function中编写脚本 351 $G6kS@A  
18.1  简介 351 0I:5}$+J?  
18.2  什么是脚本? 351 g kV`ZT9  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 Hmk xE  
18.4  基础 352 |(TEG.<g  
18.4.1  Classes(类别) 352 ]Hq,Pr_+  
18.4.2  对象 352 !Q<3TfC  
18.4.3  信息(Messages) 352 6rWq hIaI  
18.4.4  属性 352 \ltS~E uWU  
18.4.5  方法 353 LR!%iP  
18.4.6  变量声明 353 <P ?gP1_zi  
18.5  创建对象 354 .Ln98#ZR  
18.5.1  创建对象函数 355 =qoOr~  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 .fhfb\$  
18.5.3 丢弃对象 356 W8u&5#$I  
18.5.4  总结 356 `8#xO{B1  
18.6  脚本中的表格 357 @8w5Oudvx  
18.6.1  方法1 357 Z__fwv.X[  
18.6.2  方法2 357 @%*@Rar  
18.7 2D Plots in Scripts 358 X[dH*PV  
18.8 3D Plots in Scripts 359 yiXb<g+B  
18.9  注释 360 @Q{:m)\  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 a5O$he  
18.11  一个更高级的脚本 362 &iq'V*+-\  
18.12  <esc>键 364 #O,w{S  
18.13 包含文件 365 @jjxgd'%&  
18.14  脚本被优化调用 366 0bJT0_  
18.15  脚本中的对话框 368 n9 FA` e  
18.15.1  介绍 368 | 2<zYY  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 d(d3@b4Ta  
18.15.3  输入框函数 370 J#4pA{01w  
18.15.4  自定义对话框 371 fk6=;{  
18.15.5  对话框编辑器 371 c&%3k+j  
18.15.6  控制对话框 377 ;14Q@yrZ0  
18.15.7  更高级的对话框 380 `s\[X-j]  
18.16 Types语句 384 $G}k'[4C  
18.17 打开文件 385 $sb@*K}:4  
18.18 Bags 387 7@ y}J5,  
18.13  进一步研究 388 $AvaOI.l  
19  vStack 389  r3OtQ  
19.1  vStack基本原理 389 EV* |\ te  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 bO6cv{>x  
19.3  五棱镜 393 2$b1q!g<  
19.4 光束距离 396 .#a7?LUH  
19.5 误差 399 M&",7CPD(1  
19.6  二向分色棱镜 399 0pB'^Q{  
19.7  偏振泄漏 404 N!v>2"x8q  
19.8  波前误差—相位 405 #a9R3-aP  
19.9  其它计算参数 405 qX6zk0I a  
20  报表生成器 406 >Rdi]:]Bv  
20.1  入门 406 $Op:-aW&  
20.2  指令(Instructions) 406 -)bu&  
20.3  页面布局指令 406 B%))HLo'  
20.4  常见的参数图和三维图 407 6 W$m,3Dg  
20.5  表格中的常见参数 408 i1b3>H*3  
20.6  迭代指令 408 4 BNbS|?vV  
20.7  报表模版 408 4IM&#_6  
20.8  开始设计一个报表模版 409 _$HCNFdh  
21  一个新的project 413 |qf9-36   
21.1  创建一个新Job 414 eSMno_Gt3  
21.2  默认设计 415 Kl(u~/=6  
21.3  薄膜设计 416 P;&U3i  
21.4  误差的灵敏度计算 420 Ur""&@  
21.5  显色指数计算 422 +K;%sAZy  
21.6  电场分布 424 oK"#*n  
后记 426
C8:y+pH_U;  
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