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infotek 2022-09-06 08:45

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)

bvo }b-]E  
s06R~P4  
内容简介 9K{0x7~  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ~|e H8@o  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @wXo{p@W  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ;'|t>'0_  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
Rs 0Gqx  
1)M%]I4  
目录 \JZ'^P$Q  
Preface 1 DVRbTz3V  
内容简介 2 )W![TIp  
目录 i p2Fi(BW*q  
1  引言 1 fOO[`"'Pq  
2  光学薄膜基础 2 No)@#^  
2.1  一般规则 2 ,An*w_  
2.2  正交入射规则 3 cUr'mb  
2.3  斜入射规则 6 -Cf< #'x_  
2.4  精确计算 7 o=do L{ #  
2.5  相干性 8 LpSd/_^b  
2.6 参考文献 10 SyR[G*djl  
3  Essential Macleod的快速预览 10 6.GIUM%D  
4  Essential Macleod的特点 32 g ??@~\Ov  
4.1  容量和局限性 33 C`C$i>X7^  
4.2  程序在哪里? 33 n!\&X9%[8  
4.3  数据文件 35 9=;ETLL "  
4.4  设计规则 35 1)=sbFtS  
4.5  材料数据库和资料库 37 imf_@_  
4.5.1材料损失 38 uY=}w"Db  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 9Vv&\m!0  
4.5.2 材料库 41 p\7(IhW@  
4.5.3导出材料数据 43 9#niMv9  
4.6  常用单位 43 Y<-dd"\  
4.7  插值和外推法 46 w.H\j9E l  
4.8  材料数据的平滑 50 _&6&sp<n  
4.9 更多光学常数模型 54 p[-bu B]  
4.10  文档的一般编辑规则 55 D'+kzb@  
4.11 撤销和重做 56 0sKY;(  
4.12  设计文档 57 -|xyj2M  
4.10.1  公式 58 N{6Lvq[8  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59  zWIC4:  
4.10.3  沉积密度 59 W%RjjL J@  
4.10.4 平行和楔形介质 60 `;!v<@:i2  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 %8yX6`lH  
4.10.4  性能 61 Y: XxTa*  
4.10.5  保存设计和性能 64 $ OMGo`z  
4.10.6  默认设计 64 gb_k^wg~1'  
4.11  图表 64 N!F ;!  
4.11.1  合并曲线图 67 W.AN0N  
4.11.2  自适应绘制 68 |>P`Gl]E  
4.11.3  动态绘图 68 ?$xZ$zW  
4.11.4  3D绘图 69 :K_JY   
4.12  导入和导出 73 <ib# PLRM  
4.12.1  剪贴板 73 CCZ]`*wJ  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 ^g2p!7  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 T!N,1"r  
4.13  背景 77 Y8 a![  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 niV=Ijt{5  
4.15  生成Rugate 84 sX,oJIt  
4.16  参考文献 91 bqAv)2  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 +LM /< l  
5.1  Jobs 92 4#m"t?6!  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 jz2W/EE`w  
5.3  输入材料 94 wDV%.Cc  
5.4  设计数据文件夹 95 T=w5FT  
5.5  默认设计 95 +;Jb)8  
6  细化和合成 97 I)Dd"I  
6.1  优化介绍 97 VL/%D*  
6.2  细化 (Refinement) 98 |:i``gFj  
6.3  合成 (Synthesis) 100 s:y=X$&M  
6.4  目标和评价函数 101 :8bz+3p  
6.4.1  目标输入 102 .^S#h (A  
6.4.2  目标 103 b;O|-2AR  
6.4.3  特殊的评价函数 104 cM;& $IjCt  
6.5  层锁定和连接 104 "[(I*  
6.6  细化技术 104 t F<|Eja *  
6.6.1  单纯形 105 S&@uY#_(*T  
6.6.1.1 单纯形参数 106 KS/1ux4x  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 8ctUK|  
6.6.2.1 Optimac参数 108 DM%4 V|F"  
6.6.3  模拟退火算法 109 nkp!kqJ09  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 ;m3SlP{F  
6.6.4  共轭梯度 111 <5Jp2x#  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 7)NQK9~  
6.6.5  拟牛顿法 112 }Z ws e%;  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ~'e/lX9g-  
6.6.6  针合成 113 KF|<A@V  
6.6.6.1 针合成参数 114 \*s'S*~  
6.6.7 差分进化 114 0k5;Qf6A  
6.6.8非局部细化 115 >*v^E9Y  
6.6.8.1非局部细化参数 115 7  Znr2I  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 vb-L "S?kC  
6.7.1  细化 116 $g55wGF  
6.7.2  合成 117 p-zWfXn!P  
6.8  参考文献 117 :mU,g|~55  
7  导纳图及其他工具 118 mB.kV Ve0  
7.1  简介 118 cZN+D D  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 wY2#xD  
7.2.1  四分之一波长规则 119 ;N4b~k)  
7.2.2  导纳图 120 [g_Cg=J  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 {4g1Wr5=  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 gd6We)&  
7.5  斜入射导纳图 141 dQR2!yHEq  
7.6  对称周期 141 ;K[`o/#4"  
7.7  参考文献 142 (yduU  
8  典型的镀膜实例 143 [EDw0e  
8.1  单层抗反射薄膜 145 kn_%'7  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 8W 9%NW3&  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 cjf}yn  
8.4  W-膜层 148 cy)gN g  
8.5  V-膜层 149 &>Q_  
8.6  V-膜层高折射基底 150 i8w(G<Y=  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 +pJ;}+  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Dcq\1V.e`W  
8.9  四层抗反射薄膜 153 ur-&- G^  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 1%|+yu1  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !ec\8Tj  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 wxARD3%  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 $WvI%r  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 5@"&%8oeq0  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 3_2(L"S2  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 ~a8J"Wh  
8.17  1/4波长堆栈 162 nJny9g  
8.18  陷波滤波器 163 *usfJ-  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 [1'`KJ]  
8.20  褶皱 165 VY$hg  
8.21  消偏振分光器1 169 2As 4}  
8.22  消偏振分光器2 171 ,b=&iDc  
8.23  消偏振立体分光器 172 BclZsU=xn  
8.24  消偏振截止滤光片 173 . zv F!!z  
8.25  立体偏振分束器1 174 %O;"Z`I  
8.26  立方偏振分束器2 177 Zgo^M,g  
8.27  相位延迟器 178 SC`.VCfc.  
8.28  红外截止器 179 Dg/&m*Yl  
8.29  21层长波带通滤波器 180 .e5GJAW~9  
8.30  49层长波带通滤波器 181 I+w3It  
8.31  55层短波带通滤波器 182 _/ZIDIn  
8.32  47 红外截止器 183 |Sy |E  
8.33  宽带通滤波器 184 '5KgRK"  
8.34  诱导透射滤波器 186 k/O|ia 6  
8.35  诱导透射滤波器2 188 _CP e  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 3@?#4]D{'  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 X3I\O,"I  
8.35  增益平坦滤波器 193 a<FzHCw  
8.38  啁啾反射镜 1 196 zTBr<:  
8.39  啁啾反射镜2 198 )H#Hs<)Qy  
8.40  啁啾反射镜3 199 f .rz2)o  
8.41  带保护层的铝膜层 200 v I@Wuu:  
8.42  增加铝反射率膜 201 r80w{[S$  
8.43  参考文献 202 (F]f{8  
9  多层膜 204 Ooz+V;#Q  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 9k ]$MR  
9.2  内部透过率 204 D,dmlv  
9.3 内部透射率数据 205 G5E03xvL  
9.4  实例 206 xj)*K%re  
9.5  实例2 210 cUaLv1:HI  
9.6  圆锥和带宽计算 212 p-UACMN& c  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 07Yh  
10  光学薄膜的颜色 216 qiiX49}{  
10.1  导言 216 \y{Bnp5h  
10.2  色彩 216 x SF#ys4v  
10.3  主波长和纯度 220 0O+s3#"?@  
10.4  色相和纯度 221 ^6mlE+WY  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222  $.(%7[  
10.6 色差 226 VjSb>k   
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 |[}YM %e  
10.8  颜色渲染指数 234 xIf,1g@Cq9  
10.9  色差计算 235 ~K 8eRT  
10.10  参考文献 236 {7[^L1  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 .B{3=z^  
11.1  短脉冲 238 Zaf].R  
11.2  群速度 239 @a)@1:=Rm  
11.3  群速度色散 241 wy <m&M<Gr  
11.4  啁啾(chirped) 245 FAJ\9  
11.5  光学薄膜—相变 245 dY68wW>d|  
11.6  群延迟和延迟色散 246 6 9ia #  
11.7  色度色散 246 t=NPo+fm  
11.8  色散补偿 249 ooref orr  
11.9  空间光线偏移 256 5Az=)q4Q  
11.10  参考文献 258 @>B#2t&  
12  公差与误差 260 D)8&v` L S  
12.1  蒙特卡罗模型 260 .%<oy"_  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 "'p:M,:  
12.2.1  误差工具 267 F(^vD_G  
12.2.2  灵敏度工具 271 \$T  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 +'2Mj|d@p  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 f ySzZ  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 _)O1v%]"4  
12.3  参考文献 276 vXLiYWo  
13  Runsheet 与Simulator 277 |3/=dG  
13.1  原理介绍 277 ;RB]awE  
13.2  截止滤光片设计 277 {*ATY+  
14  光学常数提取 289 j1*'yvGM  
14.1  介绍 289 }|%dN*',  
14.2  电介质薄膜 289 /+.Bc(`  
14.3  n 和k 的提取工具 295 HhhN8t  
14.4  基底的参数提取 302 $Lv,e\]  
14.5  金属的参数提取 306 v*<hE>J0  
14.6  不正确的模型 306 Mg W0 ).  
14.7  参考文献 311 z4b2t}  
15  反演工程 313 U8-#W(tRR  
15.1  随机性和系统性 313 *?Nrx=O*  
15.2  常见的系统性问题 314 CO%7^}xSE,  
15.3  单层膜 314 K>l$Y#x}k  
15.4  多层膜 314 w&hgJ  
15.5  含义 319 VUxuX5B3M  
15.6  反演工程实例 319 $[T^ S  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 >A|(mc  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 IP7j)SM!  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 ynvU$}w ~'  
16.1  光学性质的热致偏移 329 >N62t9Ll[  
16.2  应力工具 335 zR6,?Tzg  
16.3  均匀性误差 339 Hdw;=]-  
16.3.1  圆锥工具 339 f 5"1WtB  
16.3.2  波前问题 341 ^90';ACFy  
16.4  参考文献 343 9+ nB;vA  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 C$(US8:{  
17.1  引言 345 }pdn-#  
17.2  操作数 345 aY}:9qBice  
18  如何在Function中编写脚本 351 ,Md8A`7x~  
18.1  简介 351 ]W~\%`#8?  
18.2  什么是脚本? 351 0_q8t!<xJw  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 :m]~o3KRy  
18.4  基础 352 7DDd 1"jE  
18.4.1  Classes(类别) 352 }(A`aB_  
18.4.2  对象 352 6=U81  
18.4.3  信息(Messages) 352 _v bCC7Bf8  
18.4.4  属性 352 px8988X  
18.4.5  方法 353 )' +" y~  
18.4.6  变量声明 353 *`Swv`  
18.5  创建对象 354 /2l&D~d"  
18.5.1  创建对象函数 355 ^ gMoW  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 $s+/OgG4H  
18.5.3 丢弃对象 356 ^\ A[^' 9  
18.5.4  总结 356 {L~j;p_G&  
18.6  脚本中的表格 357 nF>41 K  
18.6.1  方法1 357 -} Zck1  
18.6.2  方法2 357 rV84?75( Y  
18.7 2D Plots in Scripts 358 )12.W=p  
18.8 3D Plots in Scripts 359 /4/'&tY  
18.9  注释 360 H xs'VK*  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 *o.f<OwOz  
18.11  一个更高级的脚本 362 hb#Nm6  
18.12  <esc>键 364 86Hg?!<i.  
18.13 包含文件 365 v e($l"T  
18.14  脚本被优化调用 366 E! d?@Xr@  
18.15  脚本中的对话框 368 `NYu|:JK:  
18.15.1  介绍 368 OL]P(HRm]~  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 'L?e)u.  
18.15.3  输入框函数 370 */c4b:s  
18.15.4  自定义对话框 371 Z,zkm{9*  
18.15.5  对话框编辑器 371 zU7co.G  
18.15.6  控制对话框 377 E|{(O  
18.15.7  更高级的对话框 380 Em)U`"j/9  
18.16 Types语句 384 } I>68dS[  
18.17 打开文件 385 !q\MXS($#u  
18.18 Bags 387 \ vn!SO7  
18.13  进一步研究 388 V%h,JA  
19  vStack 389 >[}lC7 z,  
19.1  vStack基本原理 389 [wU e"{  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 /T _{k.  
19.3  五棱镜 393 j9gn7LS  
19.4 光束距离 396 VyX5MVh  
19.5 误差 399 Y TpiOPf  
19.6  二向分色棱镜 399 )5T82=[h<  
19.7  偏振泄漏 404 e}dGK=`  
19.8  波前误差—相位 405 .3 >"qv  
19.9  其它计算参数 405 4>^LEp  
20  报表生成器 406 !/nXEjW?  
20.1  入门 406 "<Ozoo1&w  
20.2  指令(Instructions) 406 &~mJ ).*  
20.3  页面布局指令 406 8\WV.+  
20.4  常见的参数图和三维图 407 W(pq_H'  
20.5  表格中的常见参数 408 yFoPCA86y  
20.6  迭代指令 408 Fn>KdoByN  
20.7  报表模版 408 /H4Z.|@  
20.8  开始设计一个报表模版 409 n%|og^\0  
21  一个新的project 413 'tTUro1~  
21.1  创建一个新Job 414 \SSHjONX  
21.2  默认设计 415 T:T`M:C.  
21.3  薄膜设计 416 Emy=q5ryl  
21.4  误差的灵敏度计算 420 CbGfVdw/c  
21.5  显色指数计算 422 :@uIEvD?  
21.6  电场分布 424 >``sM=Wat  
后记 426
_'8P8 T&  
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