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infotek 2022-09-06 08:45

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)

|*jnJWH4:  
U")bvUIL  
内容简介 _Su$oOy(Ea  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 lc#su$xR>  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 /oE@F178  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ->$Do$  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
c9r, <TR9  
0P&rTtU6  
目录 1i^!A&  
Preface 1 l]^uVOX  
内容简介 2 Ftu4 V*lD  
目录 i S 0,p:Wey  
1  引言 1 @aWvN;v  
2  光学薄膜基础 2 7_ZfV? .  
2.1  一般规则 2 \:%e 6M  
2.2  正交入射规则 3 L+(5`Y  
2.3  斜入射规则 6 M7BJ$fA0E  
2.4  精确计算 7 DF P0WXbOE  
2.5  相干性 8 M&:[3u-  
2.6 参考文献 10 ggXg4~WL  
3  Essential Macleod的快速预览 10 (Lp<T!"  
4  Essential Macleod的特点 32 S:+SZq  
4.1  容量和局限性 33 Nu<M~/  
4.2  程序在哪里? 33 q% 2cx@c  
4.3  数据文件 35 m\O<Yc keA  
4.4  设计规则 35 dzKI?i)x  
4.5  材料数据库和资料库 37 6"/cz~h  
4.5.1材料损失 38 u @?n3l  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 xOt%H\*k"  
4.5.2 材料库 41 'K"V{  
4.5.3导出材料数据 43 f{t5r  
4.6  常用单位 43 )t0Y-),vA  
4.7  插值和外推法 46 .m9s+D]fI  
4.8  材料数据的平滑 50 7%b?[}y4  
4.9 更多光学常数模型 54 XFUlV;ek  
4.10  文档的一般编辑规则 55 8rx?mX,}  
4.11 撤销和重做 56 Q~MV0<{  
4.12  设计文档 57 ZQlja  
4.10.1  公式 58 [z5pqd-  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 /2Y t\=S=  
4.10.3  沉积密度 59 &-dyg+b3  
4.10.4 平行和楔形介质 60 [u`v'*0d  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 < HlS0J9  
4.10.4  性能 61 fb0i6RC~&  
4.10.5  保存设计和性能 64 "eA4JL\%)  
4.10.6  默认设计 64 yM`J+tq  
4.11  图表 64 >TK:&V  
4.11.1  合并曲线图 67 +fBbW::R^  
4.11.2  自适应绘制 68 ,9SBGxK5`  
4.11.3  动态绘图 68 =aX;-  
4.11.4  3D绘图 69 k?zw4S  
4.12  导入和导出 73 (&H-v'a}3  
4.12.1  剪贴板 73 [K1RP.  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 wJ,l"bnq  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 Q`j!$r  
4.13  背景 77 x|g>Zd/n  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Ka%u#};  
4.15  生成Rugate 84 __dSEOGoe  
4.16  参考文献 91 HRS^91aK  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 dT?/9JIv  
5.1  Jobs 92 b*i_'k}*<g  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 )z zZYs&|  
5.3  输入材料 94 >NwS0j$j@  
5.4  设计数据文件夹 95 !6{; z/Hy  
5.5  默认设计 95 U.g7'`Z<  
6  细化和合成 97 ' 5`w5swbc  
6.1  优化介绍 97 E}LYO:  
6.2  细化 (Refinement) 98 BC.~wNz6  
6.3  合成 (Synthesis) 100 }TfZ7~o[  
6.4  目标和评价函数 101 9f1,E98w_  
6.4.1  目标输入 102 "jS @ug  
6.4.2  目标 103 cih[A2lp  
6.4.3  特殊的评价函数 104 xvn@zi  
6.5  层锁定和连接 104 90<z*j$EK  
6.6  细化技术 104 m3[R   
6.6.1  单纯形 105 hilgl<UF  
6.6.1.1 单纯形参数 106 i286 J.  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 as%@dUK?  
6.6.2.1 Optimac参数 108 !(2rU@.  
6.6.3  模拟退火算法 109 4OX|pa  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 m/TjXA8_  
6.6.4  共轭梯度 111 Fq>tl 64A  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 nbd-f6F6  
6.6.5  拟牛顿法 112 K X0{dizZ  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 X^Dklqqy  
6.6.6  针合成 113 ]c/k%] o~  
6.6.6.1 针合成参数 114 5jMI33D  
6.6.7 差分进化 114 +8p4\l$<`  
6.6.8非局部细化 115 EGJ d:>k  
6.6.8.1非局部细化参数 115 T'C^,,if  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 &=ZVU\o:  
6.7.1  细化 116 )c432).Z  
6.7.2  合成 117 LKC^Y) 6o  
6.8  参考文献 117 _TLB1T^/4  
7  导纳图及其他工具 118 my1FW,3  
7.1  简介 118 d-k`DJ!  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 y@GqAN'DK[  
7.2.1  四分之一波长规则 119 Vd%%lv{v  
7.2.2  导纳图 120 WK$d<:"  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124  Q6qIx=c4  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 B=!&rKF  
7.5  斜入射导纳图 141 4 q-/R  
7.6  对称周期 141 ;YGCsLT<xt  
7.7  参考文献 142 ?F=^& v8  
8  典型的镀膜实例 143 k{Ad(S4J&  
8.1  单层抗反射薄膜 145 -2DvKW$  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 X>-|px$vy  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Sao4MkSz[]  
8.4  W-膜层 148 <A~a|A-QFR  
8.5  V-膜层 149 d1]1bN4`"0  
8.6  V-膜层高折射基底 150 l4O&*,}l##  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 Gn?NY}.S  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 \mo NpKf  
8.9  四层抗反射薄膜 153 rg5ZxN|g  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 PAYS~MnV@3  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 b aO ^Z  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 uPhL?s{  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 ~6nY5  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 ^osXM`  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 [uLwr$N<%L  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 Acix`-<  
8.17  1/4波长堆栈 162 &hnI0m=X  
8.18  陷波滤波器 163 k.5(d.*(  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 `AcUxnO  
8.20  褶皱 165 WgTD O3  
8.21  消偏振分光器1 169 MJ?fMR@  
8.22  消偏振分光器2 171 gc6Zy|^V4`  
8.23  消偏振立体分光器 172 a]S0|\BkN  
8.24  消偏振截止滤光片 173 kN~:Bh$  
8.25  立体偏振分束器1 174 aTWCX${~b  
8.26  立方偏振分束器2 177 tg~@(IT}j  
8.27  相位延迟器 178 I5%#A/|z  
8.28  红外截止器 179  |43dyJW  
8.29  21层长波带通滤波器 180 R` HC EX)  
8.30  49层长波带通滤波器 181 D\H;_k8  
8.31  55层短波带通滤波器 182 14DHU  
8.32  47 红外截止器 183 m8ApiGG  
8.33  宽带通滤波器 184 gJFx#s0?6.  
8.34  诱导透射滤波器 186 |O';$a1S  
8.35  诱导透射滤波器2 188 3xX ^pjk  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 p[^a4E_v  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 %a\L^w)Xn  
8.35  增益平坦滤波器 193 Tb!Fv W  
8.38  啁啾反射镜 1 196 l^k/Y ]  
8.39  啁啾反射镜2 198 E;MelK<8(  
8.40  啁啾反射镜3 199 G2y`yg  
8.41  带保护层的铝膜层 200 $p;<1+!  
8.42  增加铝反射率膜 201 AY x*Ngn  
8.43  参考文献 202 e0z(l/UB  
9  多层膜 204 [:BD9V  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 *ufVZzP(  
9.2  内部透过率 204 ?se\?q  
9.3 内部透射率数据 205 .+ d.~jHX  
9.4  实例 206 x@LNjlP  
9.5  实例2 210 cp_<y)__  
9.6  圆锥和带宽计算 212 p}e1!q;N  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 ;@<Rh^g]  
10  光学薄膜的颜色 216 T0e- X  
10.1  导言 216 mDdL7I  
10.2  色彩 216 ;O~k{5.iS  
10.3  主波长和纯度 220 4.e0k<]N`  
10.4  色相和纯度 221 xP7#`S6W  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 {A`J0ol<B9  
10.6 色差 226 =kP|TR!o-  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 M/a40uK  
10.8  颜色渲染指数 234 ,_M  
10.9  色差计算 235 =@ d/SZ|(E  
10.10  参考文献 236 ia#8 ^z  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 e.VQ!)>  
11.1  短脉冲 238 (jp!q ,)  
11.2  群速度 239 ^JM O POm  
11.3  群速度色散 241 ;k:17&:8ue  
11.4  啁啾(chirped) 245 #V$h?`qhwr  
11.5  光学薄膜—相变 245 "$#<+H>O  
11.6  群延迟和延迟色散 246 y!M# #K*  
11.7  色度色散 246 *!r"+?0gN  
11.8  色散补偿 249 #ZyY(S1.  
11.9  空间光线偏移 256 $W;f9k@C!  
11.10  参考文献 258 92(P~Sdv  
12  公差与误差 260 f\vMdY  
12.1  蒙特卡罗模型 260 1k0*WCfZ  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 U ATF}x   
12.2.1  误差工具 267 ~J![Nx/  
12.2.2  灵敏度工具 271 gwyX%9  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 ('z:XW96  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 f=hT o!i  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 EC/=JlL`5  
12.3  参考文献 276  rrP_7D  
13  Runsheet 与Simulator 277 8 RA  
13.1  原理介绍 277 7 -S?U~s  
13.2  截止滤光片设计 277 ><xJQeW  
14  光学常数提取 289 puAjAvIax  
14.1  介绍 289 Mc~L%5  
14.2  电介质薄膜 289 $1y8X K7r  
14.3  n 和k 的提取工具 295 y>>)Yo&|  
14.4  基底的参数提取 302 3gv@JGt7`  
14.5  金属的参数提取 306  B9dc *  
14.6  不正确的模型 306 %v4*$E!f  
14.7  参考文献 311 *. 1S  
15  反演工程 313 {X10,  
15.1  随机性和系统性 313 1hY%Zsj C  
15.2  常见的系统性问题 314 a0&L,7mu<'  
15.3  单层膜 314 $ftxid8  
15.4  多层膜 314 4Opf[3]  
15.5  含义 319 ]E $bK  
15.6  反演工程实例 319 O>"T*   
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 BA8g[T A7K  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 N u3B02D*  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 b!<)x}-t>  
16.1  光学性质的热致偏移 329 `96MXP  
16.2  应力工具 335 '#a;n  
16.3  均匀性误差 339 9aBz%* xo  
16.3.1  圆锥工具 339 `=lo.c  
16.3.2  波前问题 341 q"i]&dMr  
16.4  参考文献 343 /@64xrvIl=  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 MZ?+I~@  
17.1  引言 345 EXsVZg"#  
17.2  操作数 345 2cjbb kq  
18  如何在Function中编写脚本 351 n_(f"U v  
18.1  简介 351 PqMu2 e  
18.2  什么是脚本? 351 g:s|D hE[  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 J1w,;T\55  
18.4  基础 352 8g {;o 7  
18.4.1  Classes(类别) 352 WmOu#5*;  
18.4.2  对象 352 ^CK D[s  
18.4.3  信息(Messages) 352 @KRia{  
18.4.4  属性 352 _*cKu>,O  
18.4.5  方法 353 ~ike&k{  
18.4.6  变量声明 353 WfHa  
18.5  创建对象 354 %]1te*_  
18.5.1  创建对象函数 355 JS/~6'uB  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 E`Br#"/Bl  
18.5.3 丢弃对象 356 ZH<qidpR  
18.5.4  总结 356 p=V1M-  
18.6  脚本中的表格 357 BOD!0CR5  
18.6.1  方法1 357 M8IU[Pz4  
18.6.2  方法2 357 a ?\:,5=  
18.7 2D Plots in Scripts 358 J+T tM>  
18.8 3D Plots in Scripts 359 TR%8O;  
18.9  注释 360 gnYo/q=K  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 @; tM R|p  
18.11  一个更高级的脚本 362 N8DouDq  
18.12  <esc>键 364 E#Ol{6  
18.13 包含文件 365 4+89 M  
18.14  脚本被优化调用 366 _gEojuaN  
18.15  脚本中的对话框 368 $Wjx$fD  
18.15.1  介绍 368 >S8 n 8U  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 ]Ot=At  
18.15.3  输入框函数 370 ^Rtxef  
18.15.4  自定义对话框 371 ;U3K@_  
18.15.5  对话框编辑器 371 VUOe7c=  
18.15.6  控制对话框 377 SW5n?Qj3-  
18.15.7  更高级的对话框 380 sm{/S*3  
18.16 Types语句 384 $wyPGok  
18.17 打开文件 385 gD;T"^S+  
18.18 Bags 387 b`JS&E  
18.13  进一步研究 388 r?w>x`  
19  vStack 389 1h#/8 X  
19.1  vStack基本原理 389 EnmMFxu<  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 h/2@4XKj  
19.3  五棱镜 393 =:t<!dp  
19.4 光束距离 396 I%($,kd}s  
19.5 误差 399 1!yd(p=cL  
19.6  二向分色棱镜 399 aPRMpY-YC3  
19.7  偏振泄漏 404 S;u.Ds&  
19.8  波前误差—相位 405 B)/c]"@89  
19.9  其它计算参数 405 J*_^~t  
20  报表生成器 406 \6bvk _  
20.1  入门 406  6@"E*-z$  
20.2  指令(Instructions) 406 0~P]Fw^w  
20.3  页面布局指令 406 =nO:R,U  
20.4  常见的参数图和三维图 407 H?FiZy*[Y  
20.5  表格中的常见参数 408 #K*p1}rf  
20.6  迭代指令 408 lANi$ :aE  
20.7  报表模版 408 C+>mehDC_G  
20.8  开始设计一个报表模版 409 Z78i7k}  
21  一个新的project 413 h6bvUI+|h  
21.1  创建一个新Job 414 JpZ_cb`<E'  
21.2  默认设计 415 Y]^*mc0fE  
21.3  薄膜设计 416 q(csZ\e=  
21.4  误差的灵敏度计算 420 Anqt:(  
21.5  显色指数计算 422 Y; iI =U  
21.6  电场分布 424 s Ytn'&$\  
后记 426
Spu;   
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