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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
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infotek
2022-09-06 08:45
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
dnRS$$9#
{+D 6o
内容简介
8?p40x$m%
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。
;F>$\"aG
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
&8kc0Z@y
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
UO3QwZ4j;
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
)=,%iL-
.KzGb4U
目录
y2"PKBK\_
Preface 1
w5j6RQml
内容简介 2
82w;}(!
目录 i
Xz/5Wis4
1 引言 1
P''5A6#5
2 光学薄膜基础 2
%}< e;t-O
2.1 一般规则 2
>F@qFPN]
2.2 正交入射规则 3
f?KHp|
2.3 斜入射规则 6
x#wkODLqi
2.4 精确计算 7
e_eNtVq
2.5 相干性 8
$f++n5I
2.6 参考文献 10
Z )Imj&;
3 Essential Macleod的快速预览 10
h6Femis
4 Essential Macleod的特点 32
+Ce[OG.
4.1 容量和局限性 33
+>zjTP7\e"
4.2 程序在哪里? 33
,'FH[2
4.3 数据文件 35
hLs<g!*O
4.4 设计规则 35
+ F{hFuHV
4.5 材料数据库和资料库 37
RK7vR~kf<
4.5.1材料损失 38
J[Ckz]
4.5.1材料数据库和导入材料 39
GM1z@i\5
4.5.2 材料库 41
-4rXOmiA
4.5.3导出材料数据 43
ySfot`LQ
4.6 常用单位 43
Z&f@)j
4.7 插值和外推法 46
x,U'!F
4.8 材料数据的平滑 50
W^a-K
4.9 更多光学常数模型 54
5=;LHS*
4.10 文档的一般编辑规则 55
s} I8:ufT
4.11 撤销和重做 56
GJu[af
4.12 设计文档 57
7H$I9e
4.10.1 公式 58
&.m.ruab
4.10.2 更多关于膜层厚度 59
>9WJa 5{
4.10.3 沉积密度 59
>i6sJ)2?>
4.10.4 平行和楔形介质 60
fX ^hO+f
4.10.5 渐变折射率和散射层 60
w^AY= Fc
4.10.4 性能 61
#8Bs15aV
4.10.5 保存设计和性能 64
"aU) [
4.10.6 默认设计 64
5Kadh2nz
4.11 图表 64
,A$#gLyk<
4.11.1 合并曲线图 67
G_vcuCHm
4.11.2 自适应绘制 68
e_<'zH_1
4.11.3 动态绘图 68
>)Udb//
4.11.4 3D绘图 69
1g{-DIOmn
4.12 导入和导出 73
j_(DH2D
4.12.1 剪贴板 73
Li'>pQ+
4.12.2 不通过剪贴板导入 76
s6U$]9 `
4.12.3 不通过剪贴板导出 76
P{bRRn4Z
4.13 背景 77
^"\3dfzKM
4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
BR*'SF\T
4.15 生成Rugate 84
m{ wk0
4.16 参考文献 91
VW$a(G_h
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
Rudj"OGO
5.1 Jobs 92
1BjMVMH
5.2 创建一个新Job(工作) 93
y[D8r Fw
5.3 输入材料 94
.83{NF
5.4 设计数据文件夹 95
Jbv[Ql#
5.5 默认设计 95
?M/H{
6 细化和合成 97
.jXD0~N8q
6.1 优化介绍 97
'%H\k5^
6.2 细化 (Refinement) 98
]ZMFK>"^%
6.3 合成 (Synthesis) 100
#JAy
6.4 目标和评价函数 101
W0I)< S
6.4.1 目标输入 102
bQvhBa?
6.4.2 目标 103
A2 r\=for
6.4.3 特殊的评价函数 104
wv7XhY}
6.5 层锁定和连接 104
-MK9IO]i
6.6 细化技术 104
<hV%OrBz-
6.6.1 单纯形 105
mA?fCs
6.6.1.1 单纯形参数 106
+W%3VV$
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
t@;r~Sb
6.6.2.1 Optimac参数 108
d:L|BkQ7*
6.6.3 模拟退火算法 109
hr/H vB
6.6.3.1 模拟退火参数 109
tP.jJC~
6.6.4 共轭梯度 111
V0/PjD,jP
6.6.4.1 共轭梯度参数 111
/$U<S"
6.6.5 拟牛顿法 112
${F4x "x
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
A<U9$"j9J
6.6.6 针合成 113
&)$}Nk
6.6.6.1 针合成参数 114
s=H|^v
6.6.7 差分进化 114
TPF5 ?
6.6.8非局部细化 115
CX}==0od
6.6.8.1非局部细化参数 115
]zATdfa
6.7 我应该使用哪种技术? 116
+B&,$ceyaJ
6.7.1 细化 116
I^l\<1"]
6.7.2 合成 117
|[W7&@hF
6.8 参考文献 117
EY^+ N>
7 导纳图及其他工具 118
di4>Ir~]
7.1 简介 118
MJ M<
7.2 薄膜作为导纳的变换 118
tJvs ?eZ)
7.2.1 四分之一波长规则 119
p9-s' F|@i
7.2.2 导纳图 120
'Z8=y[l
7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
'/'dg5bfV
7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
$.F.xYS9IJ
7.5 斜入射导纳图 141
DLH|y%"
7.6 对称周期 141
\(&UDG$
7.7 参考文献 142
?p'DgL{
8 典型的镀膜实例 143
z=6zc-$y 9
8.1 单层抗反射薄膜 145
K"/3/`T
8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
[J8;V|v
8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
d#CAP9n;'
8.4 W-膜层 148
>e^^YR^
8.5 V-膜层 149
uZml.#@4
8.6 V-膜层高折射基底 150
a797'{j#PI
8.7 V-膜层高折射率基底b 151
_$P1N^}Zs
8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
n09P!],Xa
8.9 四层抗反射薄膜 153
O?$]/d
8.10 Reichert抗反射薄膜 154
w2) @o>w
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
V [Wo9Y\
8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
x K ;#C
8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
o/hj~;(]
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
2GxkOch
8.15十五层宽带抗反射膜 159
=`ECM7
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
O?t49=uB}
8.17 1/4波长堆栈 162
+-:o+S`q~
8.18 陷波滤波器 163
7d^ ~.F
8.19 厚度调制陷波滤波器 164
C@3UsD\s(
8.20 褶皱 165
oc"7|YG
8.21 消偏振分光器1 169
X?.tj Z,
8.22 消偏振分光器2 171
l kW5<s_
8.23 消偏振立体分光器 172
tu' s]3RE
8.24 消偏振截止滤光片 173
E1s~ +
8.25 立体偏振分束器1 174
UaB2vuL*=
8.26 立方偏振分束器2 177
@^.o8+Pp
8.27 相位延迟器 178
C@Wd Pjxj
8.28 红外截止器 179
NwN3T]W
8.29 21层长波带通滤波器 180
@rS(3wu_&
8.30 49层长波带通滤波器 181
U%n>(!d
8.31 55层短波带通滤波器 182
,W BKN)%u
8.32 47 红外截止器 183
Pq,iR J
8.33 宽带通滤波器 184
/\MkH\zg
8.34 诱导透射滤波器 186
6^)eW+
8.35 诱导透射滤波器2 188
k8b5~A,
8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
av bup
8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
~KczP1p
8.35 增益平坦滤波器 193
]app 9
8.38 啁啾反射镜 1 196
_UV_n!R
8.39 啁啾反射镜2 198
B,] AfH
8.40 啁啾反射镜3 199
WWTRB +1>
8.41 带保护层的铝膜层 200
nrR2U`
8.42 增加铝反射率膜 201
A8g_BLj!e
8.43 参考文献 202
[#(',~lN7
9 多层膜 204
aeDhC#h
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
"m`}J*s"
9.2 内部透过率 204
&Im-@rV!
9.3 内部透射率数据 205
-O\fy!
9.4 实例 206
Uy|Tu~
9.5 实例2 210
p6&<eMwFA
9.6 圆锥和带宽计算 212
h; 6G~D
9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
' e %>Ip
10 光学薄膜的颜色 216
k2(k0HFR
10.1 导言 216
mWUd-| Ul
10.2 色彩 216
w'9!%mr
10.3 主波长和纯度 220
u$FL(m4
10.4 色相和纯度 221
[hV}$0#E[O
10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
fmD~f
10.6 色差 226
y t7 >,
10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
1'P4{T0 [
10.8 颜色渲染指数 234
WcY $=\7
10.9 色差计算 235
kek/C`7
10.10 参考文献 236
q/Zs]Gz
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
9z`72(
11.1 短脉冲 238
J #5V>7G
11.2 群速度 239
zK>m4+)~
11.3 群速度色散 241
^CgN>-xZ?#
11.4 啁啾(chirped) 245
_SkiO}c8
11.5 光学薄膜—相变 245
&DjA?0`J
11.6 群延迟和延迟色散 246
Cm]\5}Py
11.7 色度色散 246
L c )i
11.8 色散补偿 249
FzykC
11.9 空间光线偏移 256
vz)R84
11.10 参考文献 258
?op;#/Q(
12 公差与误差 260
|bhv7(_
12.1 蒙特卡罗模型 260
{jv+ JL"5
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
5V~vND* s
12.2.1 误差工具 267
OT(0~,.GJ
12.2.2 灵敏度工具 271
R"l6|9tmP
12.2.2.1 独立灵敏度 271
Mp=T;Nz
12.2.2.2 灵敏度分布 275
vvs2:87zvJ
12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
dkY JO!
12.3 参考文献 276
q<Qjc
13 Runsheet 与Simulator 277
$:# :"
13.1 原理介绍 277
[ LQOP3f
13.2 截止滤光片设计 277
m#R"~ >
14 光学常数提取 289
.R#-u/6g(
14.1 介绍 289
F'F6 &a+
14.2 电介质薄膜 289
`%^w-'
14.3 n 和k 的提取工具 295
)\PX1 198
14.4 基底的参数提取 302
q/Vl>t
14.5 金属的参数提取 306
Z9MR"!0
14.6 不正确的模型 306
X|/RV4x@Cq
14.7 参考文献 311
<6s@eare8
15 反演工程 313
1B:5O*I!J
15.1 随机性和系统性 313
.z=%3p8+
15.2 常见的系统性问题 314
FFcIOn
15.3 单层膜 314
Bo14t*(
15.4 多层膜 314
kM[!UOnC!<
15.5 含义 319
[La}h2gz
15.6 反演工程实例 319
%Ofw"W
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
~ ^D2]j
15.6.2 反演工程提取折射率 327
B2* 7H
16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
)_n(u3'
16.1 光学性质的热致偏移 329
^*+M9e9Z
16.2 应力工具 335
H+-x.l`
16.3 均匀性误差 339
VbMud]40F
16.3.1 圆锥工具 339
I{ki))F
16.3.2 波前问题 341
|(2#KMEWa
16.4 参考文献 343
xIW]e1pu=(
17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
S:Jg#1rww-
17.1 引言 345
Hz[1c4)'F
17.2 操作数 345
aMxj{*v7
18 如何在Function中编写脚本 351
$G 6kS@A
18.1 简介 351
0I :5}$+J?
18.2 什么是脚本? 351
g kV`ZT9
18.3 Function中脚本和操作数对比 351
HmkxE
18.4 基础 352
|(TEG.<g
18.4.1 Classes(类别) 352
]Hq,Pr_+
18.4.2 对象 352
!Q<3TfC
18.4.3 信息(Messages) 352
6rWq hIaI
18.4.4 属性 352
\ltS~EuWU
18.4.5 方法 353
LR!%iP
18.4.6 变量声明 353
<P ?gP1_zi
18.5 创建对象 354
.Ln98#ZR
18.5.1 创建对象函数 355
=qoOr~
18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
.fhfb\$
18.5.3 丢弃对象 356
W8u&5#$I
18.5.4 总结 356
`8#xO{B1
18.6 脚本中的表格 357
@8w5Oudvx
18.6.1 方法1 357
Z__fwv.X[
18.6.2 方法2 357
@%*@Rar
18.7 2D Plots in Scripts 358
X[dH*PV
18.8 3D Plots in Scripts 359
yi Xb<g+B
18.9 注释 360
@Q{:m)\
18.10 脚本管理器调用Scripts 360
a5O$he
18.11 一个更高级的脚本 362
&iq'V*+-\
18.12 <esc>键 364
#O,w{S
18.13 包含文件 365
@jjxgd'%&
18.14 脚本被优化调用 366
0bJT0_
18.15 脚本中的对话框 368
n9 FA`e
18.15.1 介绍 368
| 2<zYY
18.15.2 消息框-MsgBox 368
d(d3@b4Ta
18.15.3 输入框函数 370
J#4pA{01w
18.15.4 自定义对话框 371
fk6=;{
18.15.5 对话框编辑器 371
c&%3k+j
18.15.6 控制对话框 377
;14Q@yrZ0
18.15.7 更高级的对话框 380
`s\[X-j]
18.16 Types语句 384
$G}k'[4C
18.17 打开文件 385
$sb@*K}:4
18.18 Bags 387
7@y}J5,
18.13 进一步研究 388
$AvaOI.l
19 vStack 389
r3OtQ
19.1 vStack基本原理 389
EV* |\ te
19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
bO6cv{>x
19.3 五棱镜 393
2$b1q!g<
19.4 光束距离 396
.#a7?LUH
19.5 误差 399
M&",7CPD(1
19.6 二向分色棱镜 399
0pB'^Q{
19.7 偏振泄漏 404
N!v>2"x8q
19.8 波前误差—相位 405
#a9R3-aP
19.9 其它计算参数 405
qX6zk0I a
20 报表生成器 406
>Rdi]:]Bv
20.1 入门 406
$Op:-aW&
20.2 指令(Instructions) 406
-)bu&
20.3 页面布局指令 406
B%))HLo'
20.4 常见的参数图和三维图 407
6 W$m,3Dg
20.5 表格中的常见参数 408
i1b3>H*3
20.6 迭代指令 408
4 BNbS|?vV
20.7 报表模版 408
4IM_6
20.8 开始设计一个报表模版 409
_$HC NFdh
21 一个新的project 413
|qf9-36
21.1 创建一个新Job 414
eSMno_Gt3
21.2 默认设计 415
Kl(u~/=6
21.3 薄膜设计 416
P;&U3i
21.4 误差的灵敏度计算 420
Ur""&@
21.5 显色指数计算 422
+K;%sAZy
21.6 电场分布 424
oK"#*n
后记 426
C8:y+pH_U;
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