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infotek 2022-09-06 08:45

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)

y,?G75wij  
Bh,)5E^m  
内容简介 (VaN\+I:T  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 \TB%N1^  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 1?RCJ]e5  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 B21AcE  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
@JEmybu  
KVM@//:{  
目录 (kQ.tsl  
Preface 1 %lJiM`a  
内容简介 2 BZ+ mO  
目录 i r!$NZ2I  
1  引言 1 ; eF4J  
2  光学薄膜基础 2 P%`R7yk  
2.1  一般规则 2 ]cqZ!4?_  
2.2  正交入射规则 3 zI&4k..4  
2.3  斜入射规则 6 IR dz(~CP  
2.4  精确计算 7 1O2h9I$bk  
2.5  相干性 8 6IY}SI0N  
2.6 参考文献 10 !""!sFx)R  
3  Essential Macleod的快速预览 10 '}+X,Usm  
4  Essential Macleod的特点 32 "YzTMKu  
4.1  容量和局限性 33 .x!7  
4.2  程序在哪里? 33 9LEilmPs  
4.3  数据文件 35 B~;LBgpp  
4.4  设计规则 35 BgWz<k}5M  
4.5  材料数据库和资料库 37 "h^#<bPN  
4.5.1材料损失 38 K%c ATA3  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 <`xRqe:&9  
4.5.2 材料库 41 Kt 90mA  
4.5.3导出材料数据 43 03QEXm~|Q  
4.6  常用单位 43 /GuS IZg"_  
4.7  插值和外推法 46 9U<)_E<y  
4.8  材料数据的平滑 50 lDJd#U'V  
4.9 更多光学常数模型 54 *[xNp[4EU  
4.10  文档的一般编辑规则 55 }1]!#yMfq  
4.11 撤销和重做 56 `,-hG  
4.12  设计文档 57 UiK+c30FU  
4.10.1  公式 58 V1`5D7Z  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 JQ@`EV9,  
4.10.3  沉积密度 59 P\X=*  
4.10.4 平行和楔形介质 60 L_~I ~  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 Vr-3M+l=O  
4.10.4  性能 61 6PJJ?}P^1  
4.10.5  保存设计和性能 64 CS;W)F  
4.10.6  默认设计 64 QFNz9c  
4.11  图表 64 dx13vZ3[U  
4.11.1  合并曲线图 67 <Sprp]n 7  
4.11.2  自适应绘制 68 F/h:&B:;  
4.11.3  动态绘图 68 qsft*&  
4.11.4  3D绘图 69 |.8d,!5w}  
4.12  导入和导出 73 M8?#%x6;N  
4.12.1  剪贴板 73 :nKsZ1bX  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76  mF*?e/  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 _PyW=Tj  
4.13  背景 77 Tw}?(\ya  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Z9"{f)T  
4.15  生成Rugate 84 V|3yZ8lE  
4.16  参考文献 91 !qTpQ5Dm  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 [/AdeR  
5.1  Jobs 92 V/(`Ek-  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 B;z>Dd,Y_x  
5.3  输入材料 94 5y(t`Fmt  
5.4  设计数据文件夹 95 1=/doo{^  
5.5  默认设计 95 yp[<9%Fi  
6  细化和合成 97 y/X:=d6"  
6.1  优化介绍 97 zj9bSDVL(  
6.2  细化 (Refinement) 98 Q$?7)yyu+  
6.3  合成 (Synthesis) 100 uG=t?C6  
6.4  目标和评价函数 101 _Sly7_  
6.4.1  目标输入 102 o\@ A2r3  
6.4.2  目标 103 %Ye)8+-  
6.4.3  特殊的评价函数 104 *`+<x  
6.5  层锁定和连接 104 ~{7zm"jN  
6.6  细化技术 104 +p9LE4g7Q  
6.6.1  单纯形 105 IW1GhZ41'  
6.6.1.1 单纯形参数 106 IS,zy+w  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 o%V @D'w  
6.6.2.1 Optimac参数 108 vs\'1^*D  
6.6.3  模拟退火算法 109 <pTQpU  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 ch0oFc$  
6.6.4  共轭梯度 111 xta}4:d-Y  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 .Bb$j=  
6.6.5  拟牛顿法 112 ZL4l (&"  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 [Krm .)  
6.6.6  针合成 113 ,zAK3d&hj  
6.6.6.1 针合成参数 114 }zkL[qu;  
6.6.7 差分进化 114 >W`S(a Mn  
6.6.8非局部细化 115 :"M9*XeHO  
6.6.8.1非局部细化参数 115 935-{h@k  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 o,S!RG&  
6.7.1  细化 116 v%H"_T  
6.7.2  合成 117 &Pu+(~'Q  
6.8  参考文献 117 C6K|:IK{  
7  导纳图及其他工具 118  OLk9A  
7.1  简介 118 ruZYehu1W  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 t{/:(Nu  
7.2.1  四分之一波长规则 119 Zz"I.$$[M  
7.2.2  导纳图 120 a4A`cUt  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 r+t ,J|V  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 z $9@j2  
7.5  斜入射导纳图 141 rQ`\JE&`  
7.6  对称周期 141 A#v|@sul  
7.7  参考文献 142 d{QMST2&  
8  典型的镀膜实例 143 vC{ h2A  
8.1  单层抗反射薄膜 145 WW//heJe-  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 \p5|}<Sr)  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 a$C2}  
8.4  W-膜层 148 0zg2g!lh  
8.5  V-膜层 149 69t7=r  
8.6  V-膜层高折射基底 150 k0H?9Z4k5  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 XOu+&wOu  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 J?._/RL8-  
8.9  四层抗反射薄膜 153 i/NDWVFD  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 8h*t55  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Qo'yS"g<9)  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 6yE'/VB<  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 %9t{Z1$  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 f"vk# 3  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 "/Y<G  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 nYOY"'z  
8.17  1/4波长堆栈 162 *,"jF!C&[  
8.18  陷波滤波器 163 |:./hdcad  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 J"diFz+20  
8.20  褶皱 165 }P#Vsqe V  
8.21  消偏振分光器1 169 JDkCUN5  
8.22  消偏振分光器2 171 znt)]>f#  
8.23  消偏振立体分光器 172 A[RHw<  
8.24  消偏振截止滤光片 173 0yn[L3x7  
8.25  立体偏振分束器1 174 i][f#e4  
8.26  立方偏振分束器2 177 @'*eC}\E  
8.27  相位延迟器 178 W0Ktw6  
8.28  红外截止器 179 ]53O}sH>  
8.29  21层长波带通滤波器 180 DeH0k[o  
8.30  49层长波带通滤波器 181 ypH8QfxLTr  
8.31  55层短波带通滤波器 182 haCKv   
8.32  47 红外截止器 183 ERF,tLa!  
8.33  宽带通滤波器 184 vwVVBG;t  
8.34  诱导透射滤波器 186 y>$1 UwQ  
8.35  诱导透射滤波器2 188 Yg/}ghF\  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Ski G2n]  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 x5oOF7#5  
8.35  增益平坦滤波器 193 W$r^  
8.38  啁啾反射镜 1 196 O#vn)+Y,*  
8.39  啁啾反射镜2 198 Gu5~ DyT`G  
8.40  啁啾反射镜3 199 ,I ZqLA  
8.41  带保护层的铝膜层 200 0x\2 #i  
8.42  增加铝反射率膜 201 b\:~;  
8.43  参考文献 202 $`pd|K`  
9  多层膜 204 }g>kpa0c  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 69Nw/$  
9.2  内部透过率 204 @}(SR\~N]  
9.3 内部透射率数据 205 @M=$qO_$9  
9.4  实例 206 EJ`Q8uz  
9.5  实例2 210 |k6Ox*  
9.6  圆锥和带宽计算 212 (_K_`5d;QI  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 ur6e&bTp  
10  光学薄膜的颜色 216 gY!N3 *:  
10.1  导言 216 5X0QxnnV  
10.2  色彩 216 E tx`K5Tr]  
10.3  主波长和纯度 220 bG(x:Py&  
10.4  色相和纯度 221 za T_d/?J  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 I+|uU g5  
10.6 色差 226 T^]7R4 Fg  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 ?KB@Zm+#~  
10.8  颜色渲染指数 234 =p q:m  
10.9  色差计算 235 :k~dj C  
10.10  参考文献 236 _8^0!,j  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 +%XnMl  
11.1  短脉冲 238 p>q&&;fe  
11.2  群速度 239  D,Lp|V  
11.3  群速度色散 241 paWxanSt  
11.4  啁啾(chirped) 245 )Q]w6he3  
11.5  光学薄膜—相变 245 &cc9}V)M  
11.6  群延迟和延迟色散 246 ($62o&I  
11.7  色度色散 246 zJY']8ah  
11.8  色散补偿 249 O#EqG.L5  
11.9  空间光线偏移 256 &tj0M.-  
11.10  参考文献 258 .*Vkua  
12  公差与误差 260 =We2^W-{  
12.1  蒙特卡罗模型 260 FaY_ 0G;y  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Lc]1$  
12.2.1  误差工具 267 PNpu*# Z`  
12.2.2  灵敏度工具 271 uE`r/=4  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 NEV p8)w  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 XQ?fJWLU  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276  )3%@9  
12.3  参考文献 276  qSTWb%  
13  Runsheet 与Simulator 277 Z5B/|{  
13.1  原理介绍 277 uw33:G  
13.2  截止滤光片设计 277  ?Vc0)  
14  光学常数提取 289 9i=B  
14.1  介绍 289 g1{/ 5{XI  
14.2  电介质薄膜 289 jj,r <T  
14.3  n 和k 的提取工具 295 w"8V0z  
14.4  基底的参数提取 302 _ie.|4k  
14.5  金属的参数提取 306 ,h&a9:+i  
14.6  不正确的模型 306 \uM? S  
14.7  参考文献 311 V_"f|[1  
15  反演工程 313 dZ]Rqr _!  
15.1  随机性和系统性 313 VEs5;]#<2D  
15.2  常见的系统性问题 314 yMxTfR  
15.3  单层膜 314 {eQWO.C{  
15.4  多层膜 314 Ur!~<4GO  
15.5  含义 319 [T^?Q%h  
15.6  反演工程实例 319 g_aCHEFBv  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 6kR\xP]Kr  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 bd== +   
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 ^DB{qU  
16.1  光学性质的热致偏移 329 }mk>!B}=  
16.2  应力工具 335 n]yEdL/1  
16.3  均匀性误差 339 4 1t)(+r  
16.3.1  圆锥工具 339 zzIr2so  
16.3.2  波前问题 341 rs]I  
16.4  参考文献 343 }k7'"`#?"  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 N3%*7{X 9  
17.1  引言 345 a]B[`^`z  
17.2  操作数 345 !SxG(*u  
18  如何在Function中编写脚本 351 0L#/lDNk  
18.1  简介 351 P@0Y./Ds  
18.2  什么是脚本? 351 LFf`K)q  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 M%`\P\A  
18.4  基础 352 h|)vv4-d|  
18.4.1  Classes(类别) 352 : ]WqfR)#  
18.4.2  对象 352 mL yBm  
18.4.3  信息(Messages) 352 8P2 J2IU  
18.4.4  属性 352 [6tSYUZs  
18.4.5  方法 353 +L%IG  
18.4.6  变量声明 353 X2yTlLdY  
18.5  创建对象 354 27A!\pn  
18.5.1  创建对象函数 355 %d;ezY'2  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 -VT+O+9_A  
18.5.3 丢弃对象 356 u:dx;*  
18.5.4  总结 356 KbW9s,:p  
18.6  脚本中的表格 357 Z?G&.# :  
18.6.1  方法1 357 _Z Y\,_  
18.6.2  方法2 357 GJA`l8`SQ  
18.7 2D Plots in Scripts 358 I#rubAl  
18.8 3D Plots in Scripts 359 '0Q,  
18.9  注释 360 iG<Som  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 & ,hr8  
18.11  一个更高级的脚本 362 <AoXEu D  
18.12  <esc>键 364 rcN 9.1  
18.13 包含文件 365 z(13~38+  
18.14  脚本被优化调用 366 #,NvO!j<4  
18.15  脚本中的对话框 368 >BVoHt~;  
18.15.1  介绍 368 +-$Ko fnM  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 s!B/WsK  
18.15.3  输入框函数 370 B.dT)@Lx0  
18.15.4  自定义对话框 371 {XCf-{a]~  
18.15.5  对话框编辑器 371 g(4bBa9y  
18.15.6  控制对话框 377 7'lZg<z{~j  
18.15.7  更高级的对话框 380 r@G#[.*A>  
18.16 Types语句 384 c1XX~8  
18.17 打开文件 385 EnVuD 9  
18.18 Bags 387 {KL5GowH  
18.13  进一步研究 388 ci9R.U)  
19  vStack 389 2?q(cpsN  
19.1  vStack基本原理 389 6<76H  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 w3T]H_V  
19.3  五棱镜 393 aHzHvl  
19.4 光束距离 396 .ic:`1  
19.5 误差 399 yV_wDeAz  
19.6  二向分色棱镜 399 w n|]{Ww35  
19.7  偏振泄漏 404 j]rz] k  
19.8  波前误差—相位 405 Fr2N[\>s  
19.9  其它计算参数 405 Cfu=u *u  
20  报表生成器 406 zCaT tb|@  
20.1  入门 406 RW'nUL?_\  
20.2  指令(Instructions) 406 }f}}A=  
20.3  页面布局指令 406 V9NTs8LKc  
20.4  常见的参数图和三维图 407 i5}4(sV  
20.5  表格中的常见参数 408 ?#A]{l  
20.6  迭代指令 408 ,M5}4E7L%s  
20.7  报表模版 408 "/{RhY<  
20.8  开始设计一个报表模版 409 8 .>/6M  
21  一个新的project 413 pKG<Nvgz&  
21.1  创建一个新Job 414 @C_KV0i  
21.2  默认设计 415 ,5 j"ruZ  
21.3  薄膜设计 416 fh8j2S9J  
21.4  误差的灵敏度计算 420 R"v 3!P  
21.5  显色指数计算 422 FDzqL;I  
21.6  电场分布 424 T#@lDpO  
后记 426
W#fZ1E6  
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