《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）

B|a<= ~   @&m]:GR   内容简介 f_O|   Macleod软件自带的用户手册功能全面，其介绍涵盖了软件的方方面面，能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而，为了顺应目前薄膜行业的需求，急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍，以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作，因此，我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ,N:^4A   《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结，结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod，其内容丰富，实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法，还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题，如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节，首先，从光学薄膜的基本理论出发（第2章），为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次，在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作，以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后，从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合，从而使大家将理论知识与实际经验结合起来，对实际镀膜提出实用的建议，以减少设计时间并降低生产成本。 ,nL~?h-Zh   薄膜光学涵盖范围很广，书中并附设计光盘和参考文献，有兴趣者可依此深入研究，为精准起见，在不影响理解的情况下，尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助，通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限，书中错误纰漏之处在所难免，本书若有不周之处，尚请读者不吝赐教。 ;"IWm<]h;-   讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 zqt<[=O   j;uUM6   目录 kwUUv F7w   Preface 1 Bj4c_YBte   内容简介 2 p }sM"}Ul   目录 i w^8Q~3|7   1  引言 1 Tv7W)?3h   2  光学薄膜基础 2 5@1h^wv   2.1  一般规则 2 !VI xEu^ke   2.2  正交入射规则 3 @1'OuX^   2.3  斜入射规则 6 SaGI4O_\s   2.4  精确计算 7 |)To 0Z   2.5  相干性 8 p/_W*0/i   2.6 参考文献 10 H+I,c1sF   3  Essential Macleod的快速预览 10 pSC{0Y$g   4  Essential Macleod的特点 32 ^PFiO 12   4.1  容量和局限性 33 D3aX\ NGP   4.2  程序在哪里？ 33 @F(e r   4.3  数据文件 35 I`XOvSO   4.4  设计规则 35 yB 7si(,1>   4.5  材料数据库和资料库 37 !{V`N|0   4.5.1材料损失 38 u,iiS4'Ze   4.5.1材料数据库和导入材料 39 *0,*F~n   4.5.2 材料库 41 gNxv.6Pp=   4.5.3导出材料数据 43 z)KoK`\mE"   4.6  常用单位 43 ;p*L(8<YI   4.7  插值和外推法 46 %P1zb7:8   4.8  材料数据的平滑 50  dEXhn   4.9 更多光学常数模型 54 j,].88H   4.10  文档的一般编辑规则 55 hoBFC1   4.11 撤销和重做 56 $I-iq @   4.12  设计文档 57 hb~d4J=S   4.10.1  公式 58 mQ}\ptdfV   4.10.2 更多关于膜层厚度 59 chD7^&5]   4.10.3  沉积密度 59 a9lYX*:   4.10.4 平行和楔形介质 60 hU(   4.10.5  渐变折射率和散射层 60 0e"KdsA:<U   4.10.4  性能 61 yD3vq}U!   4.10.5  保存设计和性能 64 M6cybEk`   4.10.6  默认设计 64 anz7ae&P'K   4.11  图表 64 ?xKiN5q"6   4.11.1  合并曲线图 67 h\#4[/   4.11.2  自适应绘制 68 3@eI?(N   4.11.3  动态绘图 68 P[H`]q|   4.11.4  3D绘图 69 *tZ3?X[b   4.12  导入和导出 73 n3J,`1*ct   4.12.1  剪贴板 73 ;w%g*S   4.12.2  不通过剪贴板导入 76 !#]kzS0   4.12.3  不通过剪贴板导出 76 YVRE9   4.13  背景 77 :/? Op   4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 "e\73?P   4.15  生成Rugate 84 .w\4Th#   4.16  参考文献 91 uq:'`o-1   5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 wAR:GO'n   5.1  Jobs 92 /-<]v3J   5.2  创建一个新Job（工作） 93 Gg6cjc=dC   5.3  输入材料 94 2mj>,kS?c   5.4  设计数据文件夹 95 gDfM}2]/   5.5  默认设计 95 ')F@em   6  细化和合成 97 -{eiV0<^   6.1  优化介绍 97 3S^Qo9S   6.2  细化 (Refinement) 98 yF` (GU   6.3  合成 (Synthesis) 100 ND9;% <80   6.4  目标和评价函数 101 k]& I(VQ"   6.4.1  目标输入 102 K24y;968   6.4.2  目标 103 B7{j$0fm*   6.4.3  特殊的评价函数 104 :1iXBG\   6.5  层锁定和连接 104 QKz2ONV=)   6.6  细化技术 104 R'K /\    6.6.1  单纯形 105 mMhe,8E&   6.6.1.1 单纯形参数 106 ?1]B(V9nBq   6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 3kJSz-_M   6.6.2.1 Optimac参数 108 3_VWtGQ   6.6.3  模拟退火算法 109 g5Hsz,x   6.6.3.1　模拟退火参数 109 OZObx   6.6.4  共轭梯度 111 d9 8pv%   6.6.4.1 共轭梯度参数 111 8^-g yx'   6.6.5  拟牛顿法 112 A^c5CJ_   6.6.5.1 拟牛顿参数： 112 )[sSCt]   6.6.6  针合成 113 Pt;\]?LVrD   6.6.6.1 针合成参数 114 dj0Du^v4   6.6.7 差分进化 114 wAb_fU&*   6.6.8非局部细化 115 kr1^`>O5   6.6.8.1非局部细化参数 115 Yu ^}   6.7  我应该使用哪种技术？ 116 Ke& fTK   6.7.1 　细化 116 d<;XQ.Wo7   6.7.2　 合成 117 [qt^gy)   6.8  参考文献 117 N)z] F9Kg   7  导纳图及其他工具 118 Y50$2%kM   7.1  简介 118 V|0UwS\n   7.2  薄膜作为导纳的变换 118 ',RR*{I   7.2.1  四分之一波长规则 119 oWOH#w   7.2.2  导纳图 120 p@znmn-   7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Sag\wKV8   7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 h"nv[0!)   7.5  斜入射导纳图 141 ~Uz|sQ*G   7.6  对称周期 141 gwF@'Uu   7.7  参考文献 142 /%N~$ &wW   8  典型的镀膜实例 143 [c6_6q As   8.1  单层抗反射薄膜 145 Ipmr@%~   8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 ?at~il$z'   8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 a-DE-V Uls   8.4  W-膜层 148 8%U)EU   8.5  V-膜层 149 BQ&h&57K   8.6  V-膜层高折射基底 150 1-gX=8]]   8.7  V-膜层高折射率基底b 151 2Z..~1r   8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 MN)<Tr2f   8.9  四层抗反射薄膜 153 veE8 N~0N.   8.10  Reichert抗反射薄膜 154 tbk9N( R   8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 <$9AP   8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 ^jhHaN]G^   8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 bm7$DKp#   8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 anV)$PT=   8.15十五层宽带抗反射膜 159 j({L6</x   8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 +Q_Gm3^   8.17  1/4波长堆栈 162 @fYA{-ZC   8.18  陷波滤波器 163 \S2'3SDd/   8.19 厚度调制陷波滤波器 164 T +4!g|Y   8.20  褶皱 165 C"mb-n7s   8.21  消偏振分光器1 169 #QDV_ziE5   8.22  消偏振分光器2 171 42Ffx?Qmv   8.23  消偏振立体分光器 172 uc"u@ _M   8.24  消偏振截止滤光片 173 `RzM)ILl   8.25  立体偏振分束器1 174 =O_[9kuJ   8.26  立方偏振分束器2 177 ZmHl~MR@   8.27  相位延迟器 178 :3Jh f$   8.28  红外截止器 179 3 \WdA$Wx   8.29  21层长波带通滤波器 180 ;~q)^.K3   8.30  49层长波带通滤波器 181 ?%0i,p@<   8.31  55层短波带通滤波器 182 T<=\5mn   8.32  47 红外截止器 183 t[ MRyi)LF   8.33  宽带通滤波器 184 bU,&|K/   8.34  诱导透射滤波器 186 '}Y8a$(;V   8.35  诱导透射滤波器2 188 xX>448=   8.36  简单密集型光波复用（DWDM）滤波器 190 wb9 zJAsc   8.37  高级密集型光波复用技术（DWDM）滤波器 192 ! O>mu6:Rf   8.35  增益平坦滤波器 193 aH#|Lrd J   8.38  啁啾反射镜 1 196 J8D-a!   8.39  啁啾反射镜2 198 t-Fl"@s   8.40  啁啾反射镜3 199 liB>~DVC   8.41  带保护层的铝膜层 200 Y{'G2)e   8.42  增加铝反射率膜 201 Kj>_XaFCg!   8.43  参考文献 202 [(K^x?\Y0'   9  多层膜 204 \ a<Ye T   9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 p5'\< gQ   9.2  内部透过率 204 zC^Ib&gm>,   9.3 内部透射率数据 205 MLb\:Ihy   9.4  实例 206 1f:k:Y9i   9.5  实例2 210 =@f;s<v/   9.6  圆锥和带宽计算 212 x"d* [m   9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 33C#iR1(WJ   10  光学薄膜的颜色 216 M;bQid@BG   10.1  导言 216 *\>2DUu\`   10.2  色彩 216 x/<.?[A   10.3  主波长和纯度 220 eyWwE%   10.4  色相和纯度 221 m4 (Fuu   10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 h 2zCX   10.6 色差 226 ,O+7nByi[V   10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 btE+.V   10.8  颜色渲染指数 234 ?m.4f&X   10.9  色差计算 235 %"6IAt   10.10  参考文献 236 G#C)]4[n   11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 xVPGl U   11.1  短脉冲 238 & Hqu`A/^   11.2  群速度 239 V+q RDQ   11.3  群速度色散 241 re*/JkDq3K   11.4  啁啾(chirped) 245 l]Sui_+ZU   11.5  光学薄膜—相变 245 cG'Wh@   11.6  群延迟和延迟色散 246 YGO@X(ej,   11.7  色度色散 246 $} Myj'`r   11.8  色散补偿 249 7$;$4.'   11.9  空间光线偏移 256 hdB[H8Q   11.10  参考文献 258 F*=RP$sj   12  公差与误差 260 2^aTW`>L   12.1  蒙特卡罗模型 260 one>vi`=   12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 -iHhpD9"X   12.2.1  误差工具 267 2o/`8+eJu   12.2.2  灵敏度工具 271 +*q@=P,   12.2.2.1 独立灵敏度 271 BTyVfq sx   12.2.2.2 灵敏度分布 275 YB|9k)Z2[   12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 P.:T zk6   12.3  参考文献 276 NC}#P<U   13  Runsheet 与Simulator 277 11sW$@xs 9   13.1  原理介绍 277 DvCt^O*   13.2  截止滤光片设计 277 ^xwFjQXx   14  光学常数提取 289 luT8>9X^:a   14.1  介绍 289 5,Y2Lzr   14.2  电介质薄膜 289 z"#.o^5   14.3  n 和k 的提取工具 295 nmGHJb,$   14.4  基底的参数提取 302 hz%IxI9   14.5  金属的参数提取 306 EoeEg,'~F   14.6  不正确的模型 306 as4NvZ@+r   14.7  参考文献 311 *&]l   15  反演工程 313 (Nahtx!/9   15.1  随机性和系统性 313 xJ hbGK   15.2  常见的系统性问题 314 D,/9rH   15.3  单层膜 314 Hi9z<l=$   15.4  多层膜 314 |Y11sDa9h   15.5  含义 319 \tx/!tA   15.6  反演工程实例 319 v"+EBfx   15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 aw1J#5j`n   15.6.2 反演工程提取折射率 327 : 4WbDeR   16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 r `dU (T!   16.1  光学性质的热致偏移 329 dk/*%a +   16.2  应力工具 335 }q W aE   16.3  均匀性误差 339 beE%%C]X   16.3.1  圆锥工具 339 D$E9%'i r   16.3.2  波前问题 341 rR~X>+K   16.4  参考文献 343 ;G]'}$ `/q   17  如何在Function（模块）中编写操作数 345 (?y2@I}   17.1  引言 345 5nAF=Bj   17.2  操作数 345 (qN(#~   18  如何在Function中编写脚本 351 ]s@8I2_   18.1  简介 351 a7G2C oM8   18.2  什么是脚本？ 351 9K<a}QJP   18.3  Function中脚本和操作数对比 351 w>_EM&r6~u   18.4  基础 352 u0b-JJ7)BQ   18.4.1  Classes（类别） 352 K3DJ"NJ<Ji   18.4.2  对象 352 3H2;mqq   18.4.3  信息（Messages） 352 ^^l"brPa   18.4.4  属性 352 ^ZUgDQduc   18.4.5  方法 353 XH$|DeAFM   18.4.6  变量声明 353 YCO:bBmp:   18.5  创建对象 354 [uQZD1<q   18.5.1  创建对象函数 355 t}*!UixE   18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 wtLMc   18.5.3 丢弃对象 356 0f/!|c   18.5.4  总结 356 \r,.hUp   18.6  脚本中的表格 357 lG>e6[Wc   18.6.1  方法1 357 Y26l,XIV   18.6.2  方法2 357 4 GW[GT   18.7 2D Plots in Scripts 358 '/g+;^_cB   18.8 3D Plots in Scripts 359 -U[`pUY?f   18.9  注释 360 XF$]KAL0   18.10  脚本管理器调用Scripts 360 3>)BI(Wl   18.11  一个更高级的脚本 362 "IJMvTmj   18.12  <esc>键 364 C)p< M H<   18.13 包含文件 365 .WyX/E$I^!   18.14  脚本被优化调用 366 >0#q!H,X   18.15  脚本中的对话框 368 | V,jd   18.15.1  介绍 368 6D"`FPC   18.15.2  消息框-MsgBox 368 |o=ST   18.15.3  输入框函数 370 Ia:puks=   18.15.4  自定义对话框 371 1e&b;l'*=   18.15.5  对话框编辑器 371 BV?N_/DXp   18.15.6  控制对话框 377 sNmC#,   18.15.7  更高级的对话框 380 cG!2Iy~lA   18.16 Types语句 384 M`pTT5r   18.17 打开文件 385 ~{Rt4o _W   18.18 Bags 387 SliQwm5   18.13  进一步研究 388 1'm`SRX#e   19  vStack 389 PFgjW p"Y   19.1  vStack基本原理 389 L00;rTs>   19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 x~Ly$A2p   19.3  五棱镜 393 edk9Qd9   19.4 光束距离 396 ,h.Jfo54,   19.5 误差 399 UH&1c8y}   19.6  二向分色棱镜 399  / !   19.7  偏振泄漏 404 ZfCr"aL   19.8  波前误差—相位 405 ;}jbdS3   19.9  其它计算参数 405 f<4q]HCa   20  报表生成器 406 pjs9b%.   20.1  入门 406 (i0"hi   20.2  指令(Instructions) 406 8421-c6y>   20.3  页面布局指令 406 }rA+W-7   20.4  常见的参数图和三维图 407 A+1]Ql)$   20.5  表格中的常见参数 408 ^'53]b:   20.6  迭代指令 408 _6S b.9m   20.7  报表模版 408 G[<[#$(   20.8  开始设计一个报表模版 409 !^bB/e   21  一个新的project 413 ]op^dW1;0_   21.1  创建一个新Job 414 ],}afa!A   21.2  默认设计 415 cc(r,ij~4   21.3  薄膜设计 416 1o~U+s_r   21.4  误差的灵敏度计算 420 YEPG[W<kg   21.5  显色指数计算 422 +IO1ipc4cE   21.6  电场分布 424 2T(,H.O   后记 426

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