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infotek 2022-09-06 08:32

非近轴衍射分束器的设计与严格分析

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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 jJ9|  
) m?oQ#`m  
1W5YS +pf  
`OduBUI]]  
设计任务 i`E]gJ$  
T%Z`:mf  
使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 I(<1-3~  
|s|RJA1  
j+s8V-7(  
tEb2>+R  
光栅级次分析模块设置 b%AYYk)d?  
                       1V)0+_Yv  
qD 2<-E&M/  
使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。  xU)~)eK  
$U!w#|&  
aFKks .n3  
Ey)ox$  
.2OP>:9F  
1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 l46O=?usDX  
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 T_pE'U%[  
G$ipWi  
; <3w ,r  
衍射分束器表面 3<B{-z  
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UGl}=hwKkG  
 c,x2   
    为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Jg^tr>I~  
8iq~ha$]|  
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)\p@E3Uxf  
衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Bojm lVg  
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`4XfT.9GT  
 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 Ii SO {  
 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 g`\Vy4w  
 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。  RtK/bUa  
N\mV+f3A@,  
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?DM-C5$  
光栅级次和可编程光栅分析仪 :Ruj;j  
&:w{[H$-  
G| ^tqI  
    光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ("wPkm^  
9NKZE?5P|D  
CfA F.H  
        使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 0W#.$X5  
R~)c(jj5  
UIbVtJ  
            设计与评估结果            相位功能设计 %/s:G)  
            结构设计TEA评价 W>'R<IY4#N  
FMM评估            高度标度(公差) (iH5F9WO  
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通用设置 @~/LsYA:  
QZ%_hvY[%>  
lLo FM  
        提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 }4\>q$8'  
        通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 [G4#DP\t>p  
[R6du*P  
纯相位传输设计 v:<u0B-)$  
UP%X`  
z$H |8L  
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结构设计 ExV>s*y  
k2p{<SO;  
RwN*/Li  
AgO:"'c  
TE^BfAw@  
        更深的分析 <eb>/ D  
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 @I #@%"AW  
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 EVrOu""  
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 DYbkw4Z,  
O>)8< yi$  
i$"B  
pOpie5)7X  
使用TEA进行性能评估 y~Sh|2x8v  
-0Y8/6](  
~~b[X\1  
og!Uq]U/y  
使用FMM进行性能评估 !SKEL6~7  
i{!i %`"  
#2{ };)  
cPkN)+K  
进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 l^WFMeMD3a  
UvxJ _  
ES<"YF  
5}E8Tl  
进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 HmAA?J}  
qGr(MDLc  
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>/eQjp?:  
进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 SPn0D9 b]  
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