光学波导气体传感器技术原理介绍
光学波导气体传感器,简称为“光波导传感器”,实际光学波导就是通过玻璃光波导面固定对某一种被测气体有选择性响应的敏感试剂,来制作的薄膜光波导气体传感器。首先利用离子交换法可以制备出折射率平稳变化的光波导,然后通过玻璃基板表面附近结合比较弱的或可移动的离子与玻璃表面的半径较小离子进行交换,可以形成折射率略高于基板的导波。 ~X~xE]1o|U '"xL}8HX} 接着将筛选具有一定选择性的敏感材料,通过旋转甩涂法或者提拉法固定在玻璃光波导表面,制作薄膜玻璃光波导传感元件,将薄膜玻璃光波导传感元件安装在光波导检测系统中对气体进行检测,当敏感层与被测气体相互按触时,气敏改变敏感薄膜的光学参数,进而引起临近波传播模式的改变,导致输出光强度的变化。 e+F}9HR7 LZUA+ x(
[attachment=114042] q?;*g@t 光学波导气体传感器架构图 jiwpDB& |