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2022-08-18 08:57 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
TG$#aX\' 内容简介 n'V{ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >9A18xC 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 rP7
QW)NF 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 [(x*!,= {:!>Y1w>
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ial{A6X 目录 4bA^Gq Preface 1 oio{@#DX` 内容简介 2 ?SFQx\/ 目录 i ]b%U9hmL^f 1 引言 1 0l[52eZ/ 2 光学薄膜基础 2 [?I<$f" 2.1 一般规则 2 SkmTW@v 2.2 正交入射规则 3 Zw0KV%7hD 2.3 斜入射规则 6 dB6,pY( 2.4 精确计算 7 R&.&x'< 2.5 相干性 8 :FI D, 2.6 参考文献 10 E,.PT^au 3 Essential Macleod的快速预览 10 U~?VN!<x[ 4 Essential Macleod的特点 32 Q&r.wV| 4.1 容量和局限性 33 V /2NIh 4.2 程序在哪里? 33 D
tZ?sG 4.3 数据文件 35 gjG SI'M0B 4.4 设计规则 35 :VP4: J^ 4.5 材料数据库和资料库 37 (@XQ]S}L 4.5.1材料损失 38 &mVClq 4.5.1材料数据库和导入材料 39 mA$y$73=T 4.5.2 材料库 41 |;~=^a3?q 4.5.3导出材料数据 43 W.[!Q` 4.6 常用单位 43 \;~Nj# 4.7 插值和外推法 46 jdJTOT 4.8 材料数据的平滑 50 ;LP3 4.9 更多光学常数模型 54 ) dk|S\ 4.10 文档的一般编辑规则 55 vO2WZ7E! 4.11 撤销和重做 56 6?[P^{GpH 4.12 设计文档 57 !xck
~EAS 4.10.1 公式 58 yZNG>1N 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 b-VtQ%Q 4.10.3 沉积密度 59 <{k{Coy 4.10.4 平行和楔形介质 60 E5rV}>(Y 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 .c}+kHv 4.10.4 性能 61 L#K`F8Wi= 4.10.5 保存设计和性能 64 W/BPf{U 4.10.6 默认设计 64 &^#iS<s1 4.11 图表 64 dX/7n= 4.11.1 合并曲线图 67 ZtO$kK%q; 4.11.2 自适应绘制 68 ?H PAX 4.11.3 动态绘图 68 pt.V^a 4.11.4 3D绘图 69 nX3?7"v 4.12 导入和导出 73 ;G8H'gM07 4.12.1 剪贴板 73 "!zJQl@ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 $k0(iFzR1 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 #&kj> 4.13 背景 77 wl]3g 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 I9G^T' W 4.15 生成Rugate 84 1i$VX|r 4.16 参考文献 91 I?g}q,!] 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 *V',@NH#Os 5.1 Jobs 92 s$pXn&: 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ~|S0E:*. 5.3 输入材料 94 9F[3B`w
5.4 设计数据文件夹 95 ^wBlQmW7J 5.5 默认设计 95 }#D=Rf?2\P 6 细化和合成 97 >R]M:Wx 6.1 优化介绍 97 $Okmurnn 6.2 细化 (Refinement) 98 eg/itty 6.3 合成 (Synthesis) 100 #fa,}aj 6.4 目标和评价函数 101 HJ]v- 6.4.1 目标输入 102 /jJD
{ 6.4.2 目标 103 @ U=y}vi8 6.4.3 特殊的评价函数 104 oH6zlmqG" 6.5 层锁定和连接 104 7mYcO3{5{ 6.6 细化技术 104 KJQ8Yhq 6.6.1 单纯形 105 N,qo/At}R[ 6.6.1.1 单纯形参数 106 9#U]?^DJ@ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 5n2!Y\ 6.6.2.1 Optimac参数 108 8WQ#) 6.6.3 模拟退火算法 109 aXj
UDu7 6.6.3.1 模拟退火参数 109 af |mk@ 6.6.4 共轭梯度 111 13F]7l-# 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 <$-^^b(y 6.6.5 拟牛顿法 112 G(wK(P0j 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 9R8q+2
6.6.6 针合成 113 |OCiq|# 6.6.6.1 针合成参数 114 +Xw%X3o) 6.6.7 差分进化 114 r]cq|Nv8: 6.6.8非局部细化 115 {rMf/ RAE 6.6.8.1非局部细化参数 115 zGU MH7 M 6.7 我应该使用哪种技术? 116 id9QfJ9t 6.7.1 细化 116 z9IW&f~~P 6.7.2 合成 117 %OgK{h 6.8 参考文献 117 JR]elRR 7 导纳图及其他工具 118 ;&J>a8B$ 7.1 简介 118 I1>f2/$z* 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 N}U+K 7.2.1 四分之一波长规则 119 VC/n}7p 7.2.2 导纳图 120 L @T/4e./ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
sG#O s 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 .Xp,|T 7.5 斜入射导纳图 141 ]pe7I
P 7.6 对称周期 141 L^t%p1R 7.7 参考文献 142 3G4WKg.^ 8 典型的镀膜实例 143 Hb*Z_s 8.1 单层抗反射薄膜 145 uxL+oP0 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 D+uo gRS61 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 W'@G5e 8.4 W-膜层 148 " J9 8.5 V-膜层 149 jGo%Aase 8.6 V-膜层高折射基底 150 E va&/o?P| 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 gD)M7`4 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
iWjNK"W 8.9 四层抗反射薄膜 153 5(CInl 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 "vybVWEE 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Bv~^keuj3t 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 )wjpxr 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 BTr
oe=R 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ;/+< N 8.15十五层宽带抗反射膜 159 =:g\I6'a 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 hJ8&OCR } 8.17 1/4波长堆栈 162 LI}e_=E 8.18 陷波滤波器 163 h*;c"/7 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 cu}(\a 8.20 褶皱 165 KtAEM;g 8.21 消偏振分光器1 169 2&S^\kf 8.22 消偏振分光器2 171 0);5cbV7i 8.23 消偏振立体分光器 172 Pn^:cr| 8.24 消偏振截止滤光片 173 6,LE_ -G5 8.25 立体偏振分束器1 174 31^/9lb
8.26 立方偏振分束器2 177 k8ILo) 8.27 相位延迟器 178 .&b^6$dC 8.28 红外截止器 179 r+%3Y:dZE 8.29 21层长波带通滤波器 180 _"Y7}A\9 8.30 49层长波带通滤波器 181 `/m]K~~ 8.31 55层短波带通滤波器 182 SPb`Q" 8.32 47 红外截止器 183 U*K4qJ6U 8.33 宽带通滤波器 184 ?pJ2"/K
8.34 诱导透射滤波器 186 Vr1r2G2 8.35 诱导透射滤波器2 188 J ##a;6@ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 W<&/5s 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 [MAPa 8.35 增益平坦滤波器 193 A
,0}bFK 8.38 啁啾反射镜 1 196 th*!EFA^o 8.39 啁啾反射镜2 198 >,zU=I?9Y 8.40 啁啾反射镜3 199 :f Rta[ 8.41 带保护层的铝膜层 200 5D/Td#T04 8.42 增加铝反射率膜 201 4V[(RXc/ 8.43 参考文献 202 BIMX2.S1o 9 多层膜 204 rJf{YUZe 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 > Q=e9L= 9.2 内部透过率 204 p
Cx_[#DrP 9.3 内部透射率数据 205 x!S}Y" 9.4 实例 206 6E_~8oEl 9.5 实例2 210 aO |@w"p8 9.6 圆锥和带宽计算 212 ?8grK 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 D`41\#ti 10 光学薄膜的颜色 216 z I9jxwXU 10.1 导言 216 A#q.)8 10.2 色彩 216 ql.[Uq 10.3 主波长和纯度 220 7C2Xy>d~ 10.4 色相和纯度 221 76[qFz 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 9BOn8p;yz 10.6 色差 226 `TF3Ho\MC 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 \0}bOHqEH 10.8 颜色渲染指数 234 #%GBopv 10.9 色差计算 235 z4J\BB 10.10 参考文献 236 2 PPb 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 E}w5.1 11.1 短脉冲 238 L1`^M 11.2 群速度 239 Pt-mLINvG 11.3 群速度色散 241 DfkGNBY 11.4 啁啾(chirped) 245 oVUsI,8 11.5 光学薄膜—相变 245 b't6ekkN 11.6 群延迟和延迟色散 246 D)L~vA/8b 11.7 色度色散 246 ?gU-a 11.8 色散补偿 249 WB (?6" 11.9 空间光线偏移 256 b-`P- 11.10 参考文献 258 a]V#mF |{ 12 公差与误差 260 o^uh3,. 12.1 蒙特卡罗模型 260 GdScYAC
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 -{?xl*D 12.2.1 误差工具 267 PCDvEbpG 12.2.2 灵敏度工具 271 !:vQg+S 12.2.2.1 独立灵敏度 271 kMzDmgoxNg 12.2.2.2 灵敏度分布 275 P-^-~/>n 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 CucW84H`J 12.3 参考文献 276 "j&p3 13 Runsheet 与Simulator 277 4,)QV_? 13.1 原理介绍 277 C2iOF /4 13.2 截止滤光片设计 277 RM%Z"pc Y6 14 光学常数提取 289 =fy.'+ 14.1 介绍 289 TgRG6?#^l 14.2 电介质薄膜 289 uRuu!{$ 14.3 n 和k 的提取工具 295 G'HLnx}Yi 14.4 基底的参数提取 302 "AWk
jdj 14.5 金属的参数提取 306 rP6k} 14.6 不正确的模型 306 f~jdN~ 14.7 参考文献 311 v+C D{Tc 15 反演工程 313 BlqfST#6 15.1 随机性和系统性 313 >9g^-~X;v 15.2 常见的系统性问题 314 Mns=X)/hc 15.3 单层膜 314 EO",|V- 15.4 多层膜 314 ?q'r9Ehe 15.5 含义 319 v<0S@9~ 15.6 反演工程实例 319 BNJG-b|g^ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 q{yzux 15.6.2 反演工程提取折射率 327 z;0]T=g 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 &t@ $]m( 16.1 光学性质的热致偏移 329 N7s9"i 16.2 应力工具 335 l29AC}^ 16.3 均匀性误差 339 4uVyf^f\]f 16.3.1 圆锥工具 339 !C.{nOfyv 16.3.2 波前问题 341 e
[F33% 16.4 参考文献 343 zlh\P` 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 7vH4}S\
q 17.1 引言 345 jd+HIR 17.2 操作数 345 b` 9Zin 18 如何在Function中编写脚本 351 ~3Z(0gujD 18.1 简介 351 %
e70*; 18.2 什么是脚本? 351 !\&4,l( 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 PO2]x: 18.4 基础 352 (ubK
i[) 18.4.1 Classes(类别) 352 ."q8 YaW 18.4.2 对象 352 NXE1v~9V 18.4.3 信息(Messages) 352 O#U_mgfzJ 18.4.4 属性 352 f
K4M:_u 18.4.5 方法 353 okW'}@jD 18.4.6 变量声明 353 OBP iLCq 18.5 创建对象 354 |@ZyD$? 18.5.1 创建对象函数 355 ht5:kt`F 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 4MgG] 18.5.3 丢弃对象 356 k#@)gL 18.5.4 总结 356 #|e5i9l*B 18.6 脚本中的表格 357 69C
ss' 18.6.1 方法1 357 -g vS3`lX 18.6.2 方法2 357 l)0yv2[h 18.7 2D Plots in Scripts 358 {O[ !*+O 18.8 3D Plots in Scripts 359 Qnp.Na[JV 18.9 注释 360 ui^v.YCMI 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 w?c~be$ 18.11 一个更高级的脚本 362 =u&NdMy 18.12 <esc>键 364 }% ?WS 18.13 包含文件 365 >LB x\/ 18.14 脚本被优化调用 366 R2[
} 18.15 脚本中的对话框 368 l_=kW!l 18.15.1 介绍 368 xm<sH!,j 18.15.2 消息框-MsgBox 368 E!>l@
ki 18.15.3 输入框函数 370 iwEHEi% 18.15.4 自定义对话框 371 &sPu3.p 18.15.5 对话框编辑器 371 ~leLQsZ 18.15.6 控制对话框 377 ]GHx<5Q:\ 18.15.7 更高级的对话框 380 {S5D~A*a+ 18.16 Types语句 384 }Qvoms<k 18.17 打开文件 385 'P)[=+O?t 18.18 Bags 387 Fd0\T#k 18.13 进一步研究 388 *FoPs 19 vStack 389 a<V* ) 19.1 vStack基本原理 389 $S!WW|9j. 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 `_+m3vHG 19.3 五棱镜 393 qT_E=)1 19.4 光束距离 396 qfEB VS( 19.5 误差 399 e%DF9}M 19.6 二向分色棱镜 399 @sb00ad2q 19.7 偏振泄漏 404 D61e 19.8 波前误差—相位 405 Fqp~1>wi 19.9 其它计算参数 405 iJK rNRj 20 报表生成器 406 r;aP`MVO< 20.1 入门 406 i(>v~T,( 20.2 指令(Instructions) 406 ^-7{{/ 20.3 页面布局指令 406 3H47 vm(` 20.4 常见的参数图和三维图 407 =R\-mov$ 20.5 表格中的常见参数 408 rO{"jJ
20.6 迭代指令 408 Kx[z7]1@ 20.7 报表模版 408 =Hs~fHa) 20.8 开始设计一个报表模版 409 V.274e 21 一个新的project 413 q&wXs | |