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2022-08-18 08:57 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
I2PFJXp_]n 内容简介 sjj*7i* Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 _<i*{;kR6 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 oH|<(8efD 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 %>G(2)Fb\\ Wa|lWIMK
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ]TmxCTVL 目录 9G@
J#vsqr Preface 1 e):rr* 内容简介 2 {)8!> K%G 目录 i M'4$z^@Z 1 引言 1 ?yq1\G)] 2 光学薄膜基础 2 D8''q% 2.1 一般规则 2 o@&dd
NO 2.2 正交入射规则 3 (;@\gRL 2.3 斜入射规则 6 Tp7slKc0p 2.4 精确计算 7 V=v7<I=] 2.5 相干性 8 _v9P0W^.7 2.6 参考文献 10 AGdFJ>/ 3 Essential Macleod的快速预览 10 Dqw?3 KB 4 Essential Macleod的特点 32 |#. J 4.1 容量和局限性 33 vF ,iHzv 4.2 程序在哪里? 33 9
Z D4Gv 4.3 数据文件 35 GrB+Y!{{ 4.4 设计规则 35 XPt<k&o1, 4.5 材料数据库和资料库 37 :nHa-N3 4.5.1材料损失 38 &~xzp^& 4.5.1材料数据库和导入材料 39 TEK]$%2 4.5.2 材料库 41 6HW8mXQh<h 4.5.3导出材料数据 43 NJ;D Qv 4.6 常用单位 43 eBmBD"$ 4.7 插值和外推法 46 2/c^3[ccR 4.8 材料数据的平滑 50 %;r0,lN|II 4.9 更多光学常数模型 54 1eZ759PoO 4.10 文档的一般编辑规则 55 u,R;=DNl 4.11 撤销和重做 56 $#/-+> 4.12 设计文档 57 mXH\z 4.10.1 公式 58 )lo;y~ o 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 $bd&$@sA 4.10.3 沉积密度 59 MyyNYZ 4.10.4 平行和楔形介质 60 f2JeXsOI 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 vThK@P!s 4.10.4 性能 61 POtj6 ?a 4.10.5 保存设计和性能 64 J^J$I! 4.10.6 默认设计 64 /@<&{_sybp 4.11 图表 64 /8(\AuDT 4.11.1 合并曲线图 67 5)rMoYn25 4.11.2 自适应绘制 68 ,p,$(V 4.11.3 动态绘图 68 oA;sP' 4.11.4 3D绘图 69 MeHlxI 4.12 导入和导出 73 8pQx6QE 4.12.1 剪贴板 73 vt`V<3 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 D[7+xAwS 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ;w/|5 ;{A; 4.13 背景 77 3:XF7T 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ld-Cb3R^ 4.15 生成Rugate 84 ^11y8[[ 4.16 参考文献 91 <QUjhWxDb 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 p6MjVu 5.1 Jobs 92 JfJLJ(} 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ^ *{:;F@ 5.3 输入材料 94 xIN&>D'|N 5.4 设计数据文件夹 95 TJHab;7F 5.5 默认设计 95 DcO$&)Eb 6 细化和合成 97 YTc
X4cC 6.1 优化介绍 97 [f^:V:){ 6.2 细化 (Refinement) 98 xH\#:DLY 6.3 合成 (Synthesis) 100 [IF5Iv\b 6.4 目标和评价函数 101 , :I:F 6.4.1 目标输入 102 F ka^0 6.4.2 目标 103 3N(5V;ti 6.4.3 特殊的评价函数 104 _</>`P[ 6.5 层锁定和连接 104 :6
, `M, 6.6 细化技术 104 ;
S(KJV 6.6.1 单纯形 105 x:7"/H| 6.6.1.1 单纯形参数 106
zz)[4G 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 XB8g5AxR 6.6.2.1 Optimac参数 108 Dsl,(qm5 6.6.3 模拟退火算法 109 l@
amAusE 6.6.3.1 模拟退火参数 109 jujhK'\ 6.6.4 共轭梯度 111 v0D~zV"<y 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 kq{PM-]l 6.6.5 拟牛顿法 112 9;\a|8O 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 K}vP0O} 6.6.6 针合成 113 Oy,7>vWQI 6.6.6.1 针合成参数 114 S,ENbP%0r 6.6.7 差分进化 114 eSqKXmH[m 6.6.8非局部细化 115 <|!?V"`3 6.6.8.1非局部细化参数 115 N)kZ2|oD 6.7 我应该使用哪种技术? 116 >1}RiOd3 6.7.1 细化 116 iI!MF1 6.7.2 合成 117 5^,"Ve| 6.8 参考文献 117 6n|R<DO%\ 7 导纳图及其他工具 118 SBf8Ipe 7.1 简介 118 9+"R}Nxv^ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 GOKca%DT= 7.2.1 四分之一波长规则 119 $s2Y,0>I6 7.2.2 导纳图 120 I"=a:q 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ~t>i+{JKE 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 n(}W[bZ4 7.5 斜入射导纳图 141 9JDdOjqo 7.6 对称周期 141 #j+0jFu 7.7 参考文献 142 _Q**4 8 典型的镀膜实例 143 8 h.Dc&V 8.1 单层抗反射薄膜 145 TrYt(F{t 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 :t7M'BSm2z 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 d)R7#HLZ7 8.4 W-膜层 148 /8Sr( 8.5 V-膜层 149 !`A]YcQ 8.6 V-膜层高折射基底 150 &y}
]^wB 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 8]`LRzM 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 33M10
1X{6 8.9 四层抗反射薄膜 153 ^Fn~@' 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ;(F_2&he
8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 I+!?~]AUuq 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 V-7A80!5 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 JZUf-0q 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 mj7Em& 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ~jpdDV&u\ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 gG,"wzj 8.17 1/4波长堆栈 162 x1O]@Z{d\ 8.18 陷波滤波器 163 >Oz~j>jL 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 =o+js;3 8.20 褶皱 165 ?a]1$>r 8.21 消偏振分光器1 169 a,YU)v^ 8.22 消偏振分光器2 171 # cAX9LV 8.23 消偏振立体分光器 172 eyIbjgpV 8.24 消偏振截止滤光片 173 YQ`m;< 8.25 立体偏振分束器1 174 t0"2Si 8.26 立方偏振分束器2 177 h{Zd, 9H 8.27 相位延迟器 178 ng-rvr 8.28 红外截止器 179 [b?[LK}. 8.29 21层长波带通滤波器 180 D-S"?aO- 8.30 49层长波带通滤波器 181 :&'[#%h8 8.31 55层短波带通滤波器 182 y.6Yl**l 8.32 47 红外截止器 183 n a3st*3V_ 8.33 宽带通滤波器 184 a9sbB0q-K@ 8.34 诱导透射滤波器 186 FRR`<do5$, 8.35 诱导透射滤波器2 188 )Bb:?!EuEH 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Q2 S!}A 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 %
k}+t3aF 8.35 增益平坦滤波器 193 b-"kclK 8.38 啁啾反射镜 1 196 v6#i>n~x, 8.39 啁啾反射镜2 198 q
qFN4AO 8.40 啁啾反射镜3 199 V-N`R-FSr 8.41 带保护层的铝膜层 200 z7PmyU
> 8.42 增加铝反射率膜 201 3yXSv1 8.43 参考文献 202 DQ{"6- 9 多层膜 204 dJf#j?\[ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 TEEt]R-y 9.2 内部透过率 204 H2iC? cSR 9.3 内部透射率数据 205 so]p1@K 9.4 实例 206 Lt?k$U{qe) 9.5 实例2 210 9u^ yEqG` 9.6 圆锥和带宽计算 212 !=B=1th4 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 7FYq6wi 10 光学薄膜的颜色 216 ZR|n\. 10.1 导言 216 /f Ui2[y 10.2 色彩 216 ?Dn
6 10.3 主波长和纯度 220 )N}.n2Y8W 10.4 色相和纯度 221 )"sJaHx< 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Y2&hf6BE 10.6 色差 226 L_(Y[! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 .Z#8,<+ 10.8 颜色渲染指数 234 8oxYgj&~X 10.9 色差计算 235 {@*l ,[,5- 10.10 参考文献 236 0\tdxi 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ^a # 11.1 短脉冲 238 BqG7Et 11.2 群速度 239 U+7!Vpq 11.3 群速度色散 241 #_9Jam%M 11.4 啁啾(chirped) 245 )>+J`NFa 11.5 光学薄膜—相变 245 L`@)*x)~R 11.6 群延迟和延迟色散 246 d xk~ 11.7 色度色散 246 j#D (
</T 11.8 色散补偿 249 =t!$72g\ 11.9 空间光线偏移 256 rpn&.#KS 11.10 参考文献 258 >DkRl 12 公差与误差 260 i0py5Q 12.1 蒙特卡罗模型 260 b8~7C4 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 "IMq + 12.2.1 误差工具 267 vWq/A . 12.2.2 灵敏度工具 271 ^oH!FN`;{ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 9{Xh wi)z 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ~X2
cTG!, 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ^QbaMX 12.3 参考文献 276 bG&vCH;}% 13 Runsheet 与Simulator 277 r6:c<p [c 13.1 原理介绍 277 A>Y!d9]ti 13.2 截止滤光片设计 277 D FN 14 光学常数提取 289 o)SA^5 14.1 介绍 289 ?I}0[+)V 14.2 电介质薄膜 289 Ps=<@,dks 14.3 n 和k 的提取工具 295 ,.-85isco 14.4 基底的参数提取 302 yIG* 14.5 金属的参数提取 306 D4;6}gRC 14.6 不正确的模型 306 5nh:S0M6V 14.7 参考文献 311 Y>a2w zr 15 反演工程 313 q%\rj?U_ 15.1 随机性和系统性 313 QbG`F8dj 15.2 常见的系统性问题 314 Zrm!,qs 15.3 单层膜 314 !dZpV~g0 15.4 多层膜 314 >#8J@=iuqv 15.5 含义 319 ly)L%hG 15.6 反演工程实例 319 NUb:5tL 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Qu6Q)dZ< 15.6.2 反演工程提取折射率 327 S1G=hgF_L 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 >7j(V`i"y 16.1 光学性质的热致偏移 329 n1+,Pe*) 16.2 应力工具 335 QCVwslj,K 16.3 均匀性误差 339 DY' 1#$; 16.3.1 圆锥工具 339 zbyJ5~ 16.3.2 波前问题 341 Yt#e[CYnu 16.4 参考文献 343 n=tg{_9f% 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 HS[N]'dc 17.1 引言 345 ;VIW/ 17.2 操作数 345 dd|/I1 18 如何在Function中编写脚本 351 ?KF.v1w7 18.1 简介 351 oMer+=vH 18.2 什么是脚本? 351 "F8A:tR 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 o^b4l'&o 18.4 基础 352 elw}(l<F 18.4.1 Classes(类别) 352 `z]MQdE_w 18.4.2 对象 352 &]euL:C 18.4.3 信息(Messages) 352 N,Ys}qP 18.4.4 属性 352 7.DAwx.HYK 18.4.5 方法 353 3t^r;b 18.4.6 变量声明 353 wD'LX 18.5 创建对象 354 ({l !'>? 18.5.1 创建对象函数 355 T.R( 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Tx!c} 18.5.3 丢弃对象 356 KtY_m`DY4R 18.5.4 总结 356 8 ?+t+m[ 18.6 脚本中的表格 357 +w'{I`QIL0 18.6.1 方法1 357 Gkq<?q({t 18.6.2 方法2 357 "Ca?liy 18.7 2D Plots in Scripts 358 =|G l 18.8 3D Plots in Scripts 359 h=Xr J 18.9 注释 360 {2,OK=XM| 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 $xU5vCwAo 18.11 一个更高级的脚本 362 %}%vey 18.12 <esc>键 364 ;}=[( eqA 18.13 包含文件 365 g,seqh% 18.14 脚本被优化调用 366 oztfr<cUH 18.15 脚本中的对话框 368 E*_lT`Hzf 18.15.1 介绍 368 >kJEa8 18.15.2 消息框-MsgBox 368 !b+/zXp3I 18.15.3 输入框函数 370 |( =`l 18.15.4 自定义对话框 371 I!;LT+b 18.15.5 对话框编辑器 371 5I(gP 18.15.6 控制对话框 377 d;kdw 18.15.7 更高级的对话框 380 6 NJ5v+ 18.16 Types语句 384 G()- NJ{ 18.17 打开文件 385 ]c \gUU 18.18 Bags 387 T;u>]"S 18.13 进一步研究 388 c%+9uu3 19 vStack 389 Jc:gNQCsP 19.1 vStack基本原理 389 ~+GMn[h 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 {t;{={$ 19.3 五棱镜 393 ,&\uuD&.@ 19.4 光束距离 396 _=.f+1W 19.5 误差 399 ^dzg'6M 19.6 二向分色棱镜 399 e Ert_@} 19.7 偏振泄漏 404 -H%806NAX7 19.8 波前误差—相位 405 N}*|*!6hI 19.9 其它计算参数 405
7xOrG],E 20 报表生成器 406 N:y3tpG 20.1 入门 406 4D`T_l 20.2 指令(Instructions) 406 xM/B"SG2 20.3 页面布局指令 406 L##lXUl 20.4 常见的参数图和三维图 407 d2x|PpmH 20.5 表格中的常见参数 408
JRm:hf' 20.6 迭代指令 408 ">G|\_ZF 20.7 报表模版 408 8W]6/st?] 20.8 开始设计一个报表模版 409 }D7q)_g= 21 一个新的project 413 >!OD[9 21.1 创建一个新Job 414 1>"K<6b+ 21.2 默认设计 415 \wxS~T<&L 21.3 薄膜设计 416 T>&d/$;]
21.4 误差的灵敏度计算 420 -
T,;Fr' 21.5 显色指数计算 422 Fvy__qcHi 21.6 电场分布 424 7J]tc1-re 后记 426 (o1*7_]e [attachment=114019]有兴趣可以和我联系 O/9 dPod P8Bv3
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