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2022-08-18 08:57 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
O~4Q:#^c 内容简介 bBgyLyg Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 "9O8#i<Nr 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 3='Kii=LA 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 4MPR N?><%fra
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日
, )PpE& 目录 Ws;X;7tS Preface 1 @j'GcN vs 内容简介 2 _WN\9< 目录 i i#:M2&twE 1 引言 1 rp,Us#>6 2 光学薄膜基础 2 NKMVp/66D 2.1 一般规则 2 XVzsqi*Z 2.2 正交入射规则 3 SlI
wLv^ 2.3 斜入射规则 6 K96N{"{iI% 2.4 精确计算 7 }.r) 2.5 相干性 8 =h,J!0Y 2.6 参考文献 10 bA\(oD+: 3 Essential Macleod的快速预览 10 L3Ivm: 4 Essential Macleod的特点 32 u-@;Q<v$ 4.1 容量和局限性 33 ih(A l<IS 4.2 程序在哪里? 33 cQrXrij;! 4.3 数据文件 35 l`rO)7 4.4 设计规则 35 Kj/Lcx;bh 4.5 材料数据库和资料库 37 KskPFXxP 4.5.1材料损失 38 Q=t_m(:0 4.5.1材料数据库和导入材料 39 1^tM%2rP' 4.5.2 材料库 41 TTD#ovo' 4.5.3导出材料数据 43 He1~27+99 4.6 常用单位 43 GC7W7B 4.7 插值和外推法 46 2[i(XG{/ 4.8 材料数据的平滑 50 3u/ GrsF 4.9 更多光学常数模型 54 _*-b0 }T 4.10 文档的一般编辑规则 55 5V8`-yO9 4.11 撤销和重做 56 vQ8$C 3 4.12 设计文档 57 z-^/<u1p 4.10.1 公式 58 2hY"bpGW 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 H
$mZ? 4.10.3 沉积密度 59 ;E0x#JUrw 4.10.4 平行和楔形介质 60 KN'twPFq 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ";TqYk=- 4.10.4 性能 61 uvJmEBL: 4.10.5 保存设计和性能 64 5h6-aQU[ 4.10.6 默认设计 64 L~*nI d 4.11 图表 64 ubQr[/ 4.11.1 合并曲线图 67 B/dJj# 4.11.2 自适应绘制 68 y(X^wC 4.11.3 动态绘图 68 )!=fy'] 4.11.4 3D绘图 69 th}&|Y)T2 4.12 导入和导出 73 /$^SiE+N 4.12.1 剪贴板 73 R0e!b+MZ. 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 )}@Z*.HZL 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 `l 4.13 背景 77 o.wXaS8 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 \_ MWZRMc5 4.15 生成Rugate 84 r=# v@]zB 4.16 参考文献 91 K0Lc~n/ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 \m(>Q 5.1 Jobs 92 r{wf;5d( 5.2 创建一个新Job(工作) 93 c=aVYQ"2 5.3 输入材料 94 vdd>\r)v 5.4 设计数据文件夹 95 .J?RaH{i 5.5 默认设计 95 7pM&))R 6 细化和合成 97 ^ #3,*(S 6.1 优化介绍 97 ]F #0to 6.2 细化 (Refinement) 98 ge#P(Itz 6.3 合成 (Synthesis) 100 Sg1,9[pb 6.4 目标和评价函数 101 f!G%$?] 6.4.1 目标输入 102 d>wG6Z, | 6.4.2 目标 103 @B9#Hrc 6.4.3 特殊的评价函数 104 S+l>@wa)| 6.5 层锁定和连接 104 xP &@|Ag 6.6 细化技术 104 at(gem 6.6.1 单纯形 105 +/rh8? 6.6.1.1 单纯形参数 106 kfq<M7y 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 o<rbC <
U 6.6.2.1 Optimac参数 108 lHO.pN`2 6.6.3 模拟退火算法 109 G$s=P 6.6.3.1 模拟退火参数 109 tD])&0"( 6.6.4 共轭梯度 111 FYH^axpp 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 hA+;eXy/ 6.6.5 拟牛顿法 112 .jl^"{@6 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 +'aG{/J 6.6.6 针合成 113 Pt7C/
qM/ 6.6.6.1 针合成参数 114 PMe 3Or@ 6.6.7 差分进化 114 B RtT 7 6.6.8非局部细化 115 n"<'F4r 6.6.8.1非局部细化参数 115 #-/_J? 6.7 我应该使用哪种技术? 116 aZCxyoh + 6.7.1 细化 116 a KIS%M#Y 6.7.2 合成 117 |`Be( 6.8 参考文献 117 S9 @*g3 7 导纳图及其他工具 118 wD SSgk 7.1 简介 118 ]#dZLm_ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 C3b<Wa]) 7.2.1 四分之一波长规则 119 j2 jUrl 7.2.2 导纳图 120 c}w[T 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 \ $
:)Ka 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 t}gK)"g 7.5 斜入射导纳图 141 kS_37-; 7.6 对称周期 141 9 'IDbe{ 7.7 参考文献 142 ~HXZ-* 8 典型的镀膜实例 143 W |+&K0M 8.1 单层抗反射薄膜 145 }TU2o3Q 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 uU1q?|4 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 WiFZY*iu5 8.4 W-膜层 148 _RX*Ps= 8.5 V-膜层 149 b2YOnV 8.6 V-膜层高折射基底 150 s_76)7 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 uQkQ#'e| 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 @4jPaqa( 8.9 四层抗反射薄膜 153 sE0,b 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 nG"Ae8r 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 PAu/iqCH 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 j{P3o<l&` 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 /7C%m: 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 42 Sk` 8.15十五层宽带抗反射膜 159 e3kdIOu5 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 x2+M0 }g 8.17 1/4波长堆栈 162 'Y5=A!*@tf 8.18 陷波滤波器 163 _x?S0R1 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 #K/#-S 8.20 褶皱 165 G_?qY#"( 8.21 消偏振分光器1 169 *JVJKqed 8.22 消偏振分光器2 171 Xj21:IMR 8.23 消偏振立体分光器 172 U66oe3W 8.24 消偏振截止滤光片 173 r'u[>uY 8.25 立体偏振分束器1 174 XPcx"zv\ 8.26 立方偏振分束器2 177 dH0wVI<z 8.27 相位延迟器 178 FBrJVaF 8.28 红外截止器 179 S]biN]+7s 8.29 21层长波带通滤波器 180 YQ5d!a. 8.30 49层长波带通滤波器 181 ; J8 25CE 8.31 55层短波带通滤波器 182 /f
-\
3 8.32 47 红外截止器 183 U6oab9C?k 8.33 宽带通滤波器 184 CB?,[#r5f 8.34 诱导透射滤波器 186 ZAMS;e+e 8.35 诱导透射滤波器2 188 ;,:w%. 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ;EfREfk
8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 w~VqdB 8.35 增益平坦滤波器 193 _xU2C<)1& 8.38 啁啾反射镜 1 196 T8a!"lPP7 8.39 啁啾反射镜2 198 o<%s\n 8.40 啁啾反射镜3 199 j es[a 8.41 带保护层的铝膜层 200 lF!Iu.MM 9 8.42 增加铝反射率膜 201 >"+bL6# 8.43 参考文献 202 u<
.N\/ 9 多层膜 204 %ck/ Z 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 l&v&a!EU 9.2 内部透过率 204 l%$co07cX 9.3 内部透射率数据 205 Mhze!! 9.4 实例 206 j0[9Cj^%c 9.5 实例2 210 t~FOaSt 9.6 圆锥和带宽计算 212 e5fzV.' 5 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 9~WjCa*,& 10 光学薄膜的颜色 216 QsH Fk5) 10.1 导言 216 @60/IE{-v 10.2 色彩 216 a]_eSU@ 10.3 主波长和纯度 220 viR-h
iD 10.4 色相和纯度 221 7 {#^zr 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ]Q0+1'yuK 10.6 色差 226 w
B[H& 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 yTL<S ' 10.8 颜色渲染指数 234 _D?`'zN 10.9 色差计算 235 :HG5{zP 10.10 参考文献 236 0CRk&_ht 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 IEW[VU) 11.1 短脉冲 238 uPtS.j= 11.2 群速度 239 Og~3eL[1%C 11.3 群速度色散 241 Q@/358.LA 11.4 啁啾(chirped) 245 5A=FEg 11.5 光学薄膜—相变 245 Qape DU; 11.6 群延迟和延迟色散 246 S?Z"){ 11.7 色度色散 246 ?_7^MP> 11.8 色散补偿 249 C!}9[X!7@: 11.9 空间光线偏移 256 9N]V F' 11.10 参考文献 258 kI>PaZ`i) 12 公差与误差 260 ZJ|'$=lR 12.1 蒙特卡罗模型 260 'VTLp.~G~ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 IQ"9#{o 12.2.1 误差工具 267 LdM9k( 12.2.2 灵敏度工具 271 X6Hd%}*mN 12.2.2.1 独立灵敏度 271 w>ap8><4 12.2.2.2 灵敏度分布 275 1Qz1 Ehz> 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Zm!5X9^! 12.3 参考文献 276 G;3N"az 13 Runsheet 与Simulator 277 y6S:[Z{~A 13.1 原理介绍 277 Z,jK(7D(
13.2 截止滤光片设计 277 L
H`z '7&/ 14 光学常数提取 289 }hv" ku6! 14.1 介绍 289 KcQe1mT!+ 14.2 电介质薄膜 289 dLnMd0 14.3 n 和k 的提取工具 295 qKd&d 14.4 基底的参数提取 302 d]6#pSE 14.5 金属的参数提取 306 5b^`M 14.6 不正确的模型 306 fer~NlX 14.7 参考文献 311 oCftI':@ 15 反演工程 313 L4L[@tMPmY 15.1 随机性和系统性 313 sjj*7i* 15.2 常见的系统性问题 314 *N#{~ 15.3 单层膜 314 x:O;Z~ |. 15.4 多层膜 314 Hs~u&c 15.5 含义 319 1]<wZV}. 15.6 反演工程实例 319 H(TY. 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 $m-rn'Q 15.6.2 反演工程提取折射率 327 1ZF>e`t8 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 T[YGQT|B 16.1 光学性质的热致偏移 329 {)8!> K%G 16.2 应力工具 335 D,H v(6({ 16.3 均匀性误差 339 b0_Ih6 16.3.1 圆锥工具 339 ^1^muc[ 16.3.2 波前问题 341 C`0; 16.4 参考文献 343
`fRp9o/ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 8#MiM . f 17.1 引言 345 G*;6cV19 17.2 操作数 345 T$ )dc^ 18 如何在Function中编写脚本 351 |Vs?yW 18.1 简介 351 A#6\5u 18.2 什么是脚本? 351 VV1I2YcKt 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 |4@su"OA 18.4 基础 352 vF ,iHzv 18.4.1 Classes(类别) 352 -}Iw!p#O3 18.4.2 对象 352 hvS4"%\ 18.4.3 信息(Messages) 352 C<.Ny,U 18.4.4 属性 352 Do&/+Ssnu 18.4.5 方法 353 <+oTYPgD9 18.4.6 变量声明 353 @N-P[.qL" 18.5 创建对象 354 855JAf
18.5.1 创建对象函数 355 LZB=vc|3/ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 u`]J]gE 18.5.3 丢弃对象 356 hZobFf 18.5.4 总结 356 ;x=kJ@ 18.6 脚本中的表格 357 MZ{gU>K+ 18.6.1 方法1 357 *)jhhw=34 18.6.2 方法2 357 -W:te7 18.7 2D Plots in Scripts 358 `;9Z?]}` 18.8 3D Plots in Scripts 359 2C!Ko"1Y' 18.9 注释 360 ;=FSpZ@ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 J}9 I5O 18.11 一个更高级的脚本 362 yRZb_Mq9U 18.12 <esc>键 364 f2JeXsOI 18.13 包含文件 365 GuV.7&!x 18.14 脚本被优化调用 366 n!r<\4I 18.15 脚本中的对话框 368 o"Dk`L2 18.15.1 介绍 368 SeC[, 18.15.2 消息框-MsgBox 368 $#k 8xb 18.15.3 输入框函数 370 VR @V3 ~ 18.15.4 自定义对话框 371 C#r1zr6 18.15.5 对话框编辑器 371 m;S!E-W 18.15.6 控制对话框 377 h}k/okG 18.15.7 更高级的对话框 380 5VU
5kiCt 18.16 Types语句 384 Ltx eT. 18.17 打开文件 385 FSs<A@ 18.18 Bags 387 l1&NU'WW 18.13 进一步研究 388 R*l#[D5A 19 vStack 389 FG^Jh5 19.1 vStack基本原理 389 YQ&Ww|xe 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Vg6/ 1I 19.3 五棱镜 393 \Tc<27- 19.4 光束距离 396 +ti_?gfx 19.5 误差 399 Eu4-=2!4 19.6 二向分色棱镜 399 Lad8C 19.7 偏振泄漏 404 xb2xl.2x! 19.8 波前误差—相位 405 fq@r6\TI 19.9 其它计算参数 405 B~[QmK 20 报表生成器 406 eCDwY:t` 20.1 入门 406 wN|;_~h2 20.2 指令(Instructions) 406 <Be:fnPX7 20.3 页面布局指令 406 @2LpI*]C 20.4 常见的参数图和三维图 407 R|jt mI? 20.5 表格中的常见参数 408 [O"9OW'2!B 20.6 迭代指令 408 Md4hd#z 20.7 报表模版 408 00?_10x) 20.8 开始设计一个报表模版 409 0%Y8M` ~s7 21 一个新的project 413 $S_xrrE# 21.1 创建一个新Job 414 qSg#:;(O 21.2 默认设计 415 T\(w} 21.3 薄膜设计 416 S~~G0GiW 21.4 误差的灵敏度计算 420 ^/0c`JG!x 21.5 显色指数计算 422 B1x# 7>K 21.6 电场分布 424 r9nyEzk 后记 426 Q"6:W2#v [attachment=114019]有兴趣可以和我联系 y@#JzfY?Hr 5Iql%~_x
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