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2022-08-10 09:51 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
.&O}/B 内容简介 O>]I!n`!!A Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >`Xikn( 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 dh r)ra] 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 B"rV-,n{ G gmv(!
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Y r6wYs(% 目录 $'D|}=h<Y Preface 1 K=|x"6\ 内容简介 2 "
`rkp= 目录 i V8`o71p 1 引言 1 0XV8B 2 光学薄膜基础 2 f9FJ:? 2.1 一般规则 2 *x[ZN\$`Y 2.2 正交入射规则 3 z~b5K\/1B 2.3 斜入射规则 6 &''lOS| 2.4 精确计算 7 v x qsK 2.5 相干性 8 N y_d 2.6 参考文献 10 ~DYUI#x 3 Essential Macleod的快速预览 10
fFu+P<?" 4 Essential Macleod的特点 32 \;&WF1d`ac 4.1 容量和局限性 33 U .?N
4.2 程序在哪里? 33 ]%AmX-U 4.3 数据文件 35 iTTUyftHT 4.4 设计规则 35 %JUD54bBt 4.5 材料数据库和资料库 37 !S6zC > 4.5.1材料损失 38 t>nx#ErS 4.5.1材料数据库和导入材料 39 >bQ'*! 4.5.2 材料库 41 X@l>mAk 4.5.3导出材料数据 43 1F`1(MYt9 4.6 常用单位 43 %K0
H?^. 4.7 插值和外推法 46 7lQ@I}i 4.8 材料数据的平滑 50 9!CD25u 4.9 更多光学常数模型 54 \NE~k)`4j% 4.10 文档的一般编辑规则 55 H@ab]& 4.11 撤销和重做 56 PVfky@wl" 4.12 设计文档 57 SUv(MA& 4.10.1 公式 58 ]w7wwU^^*U 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 0hJ,l. 4.10.3 沉积密度 59 .gZ1}2GF= 4.10.4 平行和楔形介质 60 ^FO&GM2a 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 jVA|Vi_2 4.10.4 性能 61 A7U]wW9 4.10.5 保存设计和性能 64 +5AWX,9,- 4.10.6 默认设计 64 #8xP,2&zf 4.11 图表 64 =i'APeNaQ 4.11.1 合并曲线图 67 e,J
q<=j 4.11.2 自适应绘制 68
862e 4.11.3 动态绘图 68 o:oQF[TcFO 4.11.4 3D绘图 69 jP(|pz 4.12 导入和导出 73 7T[Kjn^{Oj 4.12.1 剪贴板 73 _JEe] 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 P*=M?:Jb, 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 r}?uZ"]=? 4.13 背景 77 =r1-M.*a.M 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 EA#{N< 4.15 生成Rugate 84 zDakl*
4.16 参考文献 91 tk]>\}% 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 qYba%g9RN( 5.1 Jobs 92 @Z}TF/Rx4 5.2 创建一个新Job(工作) 93 m$XMq 5.3 输入材料 94 TR7j`? 5.4 设计数据文件夹 95 0j\} @ 5.5 默认设计 95 LH_VdLds 6 细化和合成 97 &/+LY_r'<I 6.1 优化介绍 97 9(-f)$u 6.2 细化 (Refinement) 98 B183h 6.3 合成 (Synthesis) 100 -] @cUx 6.4 目标和评价函数 101 eDkJ+5b 6.4.1 目标输入 102 4,g[g#g<q 6.4.2 目标 103 ~<.%sVwE 6.4.3 特殊的评价函数 104 fYgEiap 6.5 层锁定和连接 104 Ef)v("'w 6.6 细化技术 104 7)-uYi]
dA 6.6.1 单纯形 105 4:zyZu3fm 6.6.1.1 单纯形参数 106 !-tP\%' 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 x->H~/ 6.6.2.1 Optimac参数 108 lVptA3F 6.6.3 模拟退火算法 109 u{J\X$] 6.6.3.1 模拟退火参数 109 0bz':M#k & 6.6.4 共轭梯度 111 c3aBPig\D 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Pt=@U: 6.6.5 拟牛顿法 112 +,q#'wSQG 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 9z'(4U 6.6.6 针合成 113 qu`F,OG 6.6.6.1 针合成参数 114 ;owU]Xk%8K 6.6.7 差分进化 114 "wi}/,) 6.6.8非局部细化 115 zE8qU; 6.6.8.1非局部细化参数 115 ;;>G}pG 6.7 我应该使用哪种技术? 116 [wkSY>Gu 6.7.1 细化 116 z(dDX%k@ 6.7.2 合成 117 <lN=<9 6.8 参考文献 117 k*u4N 7 导纳图及其他工具 118 MhDPf]`
Gg 7.1 简介 118 Xh?J"kjof 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 "2_nN]%u- 7.2.1 四分之一波长规则 119 `p#u9M> 7.2.2 导纳图 120 q,>-4Cm 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Nm{J=` 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 jJ7 "9 7.5 斜入射导纳图 141 2J &J 7.6 对称周期 141 U6IvN@
g 7.7 参考文献 142 cv7.=*Kb; 8 典型的镀膜实例 143 /P[ @o 8.1 单层抗反射薄膜 145 u
OB`A-K 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 (nnIRN<}$ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 dTVh{~/ 8.4 W-膜层 148 gg?O0W{ 8.5 V-膜层 149 4<btWbk5u* 8.6 V-膜层高折射基底 150 rCsH
0:l8P 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 f>[!Zi* 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 zbZN-j# 8.9 四层抗反射薄膜 153 j&l2n2z 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 i*61i0 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 v$~ZT_"(9 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 QI4a@WB]ok 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 )YPut. 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 >>.4@ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 mQ=nU 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 7e/K YS+!s 8.17 1/4波长堆栈 162 =
KJ_LE~) 8.18 陷波滤波器 163 a=r^?q'/ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 yv(\5)XF 8.20 褶皱 165 *?R<gWCF 8.21 消偏振分光器1 169 &eFv~9 8.22 消偏振分光器2 171 h,x'-]q 8.23 消偏振立体分光器 172 umI6# Vd`= 8.24 消偏振截止滤光片 173 "vF7b|I 8.25 立体偏振分束器1 174 A)HV#T`N 8.26 立方偏振分束器2 177 '-[?iF@l 8.27 相位延迟器 178 IJ2>\bW_p 8.28 红外截止器 179 PS/00F/Ak 8.29 21层长波带通滤波器 180 PbIir= 8.30 49层长波带通滤波器 181 ]}9D*V 8.31 55层短波带通滤波器 182 9t"/@CH{ 8.32 47 红外截止器 183 EViDMp" 8.33 宽带通滤波器 184 `y*o-St3 8.34 诱导透射滤波器 186 JU!vVA_ 8.35 诱导透射滤波器2 188 mApl}I 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ^2eH0O! 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 WoDQg64 8.35 增益平坦滤波器 193 ;hkzL_' E) 8.38 啁啾反射镜 1 196 j9O"!9$vQ 8.39 啁啾反射镜2 198 9 UcSQ"D 8.40 啁啾反射镜3 199 Pi'[d7o 8.41 带保护层的铝膜层 200 o]WG8Mo- 8.42 增加铝反射率膜 201 -3|i5,f 8.43 参考文献 202 u;H5p\zAzz 9 多层膜 204 ;2Za]%' 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Ir$:e*E> 9.2 内部透过率 204 |YK4V(5x 9.3 内部透射率数据 205 r1AG1Y 9.4 实例 206 4qg]
oiT 9.5 实例2 210 zf?U q 9.6 圆锥和带宽计算 212 {f[X) 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 mVEHVz $ 10 光学薄膜的颜色 216 (db4.G+0 10.1 导言 216 :'K%&e?7s 10.2 色彩 216 )jm u*D5N 10.3 主波长和纯度 220 &/{x7;e 10.4 色相和纯度 221 hgI;^ia
10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 nI<Ab_EB 10.6 色差 226 r|JZU 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Q+=D#x 10.8 颜色渲染指数 234 5 $:
q 10.9 色差计算 235 tjt#2i8/ 10.10 参考文献 236 8L,i}hIo. 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 D",~? 11.1 短脉冲 238 6dQ]=]; 11.2 群速度 239 JB(P-Y#yyA 11.3 群速度色散 241 Vv~:^6il 11.4 啁啾(chirped) 245 :Wmio\ 11.5 光学薄膜—相变 245 (VH0+ 11.6 群延迟和延迟色散 246 K0z@gWGE 11.7 色度色散 246 1xt N3{c 11.8 色散补偿 249 sA[eKQjaD 11.9 空间光线偏移 256 _%6Vcy 11.10 参考文献 258 RMO6k bfP 12 公差与误差 260 2:Rxyg@' 12.1 蒙特卡罗模型 260 DgRA\[c 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 'qnnZE 12.2.1 误差工具 267 ui4*vjd
12.2.2 灵敏度工具 271 X)k+BJ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 N[8y+2SZ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 p'`pO"EO 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Fc.1)yh. 12.3 参考文献 276 Sp^jC
Xu 13 Runsheet 与Simulator 277 z\r|5Z 13.1 原理介绍 277 ?j-;;NNf 13.2 截止滤光片设计 277 (H-Y-Lk+ 14 光学常数提取 289 J<=k
[Q 14.1 介绍 289 _.G p}0a 14.2 电介质薄膜 289 ^.;
x 14.3 n 和k 的提取工具 295 v
%GcNjZk5 14.4 基底的参数提取 302 r4(Cb_ 14.5 金属的参数提取 306 Tv`-h 14.6 不正确的模型 306 i0e aBG]I 14.7 参考文献 311 (&ABfm/t 15 反演工程 313 [sweN]b6F 15.1 随机性和系统性 313 2$%E:J+2:$ 15.2 常见的系统性问题 314 ~lB:xVzn 15.3 单层膜 314 ( R0>0f@ 15.4 多层膜 314 .*+KQA8 15.5 含义 319 X'KkIo
: 15.6 反演工程实例 319 f]JLFg7 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
wk (}q 15.6.2 反演工程提取折射率 327 LAfv1 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Lr}>Md 16.1 光学性质的热致偏移 329 p.J+~s4G 16.2 应力工具 335 QwL'5ws{q 16.3 均匀性误差 339 FsyM{LT 16.3.1 圆锥工具 339 WG?;Z 16.3.2 波前问题 341 56Gc[<nR 16.4 参考文献 343 Lavm 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 !;ipLC;e} 17.1 引言 345 0nV|(M0lu? 17.2 操作数 345 r:*0)UZlD 18 如何在Function中编写脚本 351 WPzq?yK 18.1 简介 351 HLml:B[F( 18.2 什么是脚本? 351 D%=FCmL5@= 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 9X6l`bo' 18.4 基础 352 W u9))Ir 18.4.1 Classes(类别) 352 l{b*YUsz> 18.4.2 对象 352 5$C]$o} 18.4.3 信息(Messages) 352 Q-,,Kn 18.4.4 属性 352 @p}"B9h*^ 18.4.5 方法 353 Z}*{4V`R 18.4.6 变量声明 353 %Yi^{ZrM 18.5 创建对象 354 rBY{&JhS 18.5.1 创建对象函数 355 js#72T/_n 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 v1Wz#oP 18.5.3 丢弃对象 356 5Sm)+FC: 18.5.4 总结 356 /y<nAGtD& 18.6 脚本中的表格 357 _RcFV 18.6.1 方法1 357 gE~]^B{ 18.6.2 方法2 357 O5?Gv??@ 18.7 2D Plots in Scripts 358 [esR!}) 18.8 3D Plots in Scripts 359 vuCl(/P` 18.9 注释 360 'eRJQ*0F 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 <#r/4a"V 18.11 一个更高级的脚本 362 hL8GW> `a 18.12 <esc>键 364 LAT%k2%Wx 18.13 包含文件 365 @&G< Np` 18.14 脚本被优化调用 366 ZXR#t?D 18.15 脚本中的对话框 368 M
XX:i 18.15.1 介绍 368 5sc`L 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ].C4RH 18.15.3 输入框函数 370 ;}BDEBl 18.15.4 自定义对话框 371 Q-:IE
T 18.15.5 对话框编辑器 371 ub* j&L=
18.15.6 控制对话框 377 s/"?P/R 18.15.7 更高级的对话框 380 |d B`URP 18.16 Types语句 384 Pfv| K;3i 18.17 打开文件 385 4tb y N 18.18 Bags 387 :~1sF_ 18.13 进一步研究 388
=]auP{AlE 19 vStack 389 J"&jR7-9 19.1 vStack基本原理 389 iO,_0Y4 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 3Wl,T5}{ 19.3 五棱镜 393 V>YZ^>oeH 19.4 光束距离 396 t'{\S_ 19.5 误差 399 2W_p)8t>b 19.6 二向分色棱镜 399 zL<<`u? 19.7 偏振泄漏 404 =Bq3O58+ 19.8 波前误差—相位 405 AUk,sCxd 19.9 其它计算参数 405 L
=kc^dU 20 报表生成器 406 nbGB84 20.1 入门 406 GWU"zWli]z 20.2 指令(Instructions) 406 cxNb!G 20.3 页面布局指令 406
69o,T`B 20.4 常见的参数图和三维图 407 O&Ws*k 20.5 表格中的常见参数 408 y[W<vb+F 20.6 迭代指令 408 tL;!!vg#V 20.7 报表模版 408 H*Tc.Ie 20.8 开始设计一个报表模版 409
>Mzk;TM 21 一个新的project 413 opKk#40 21.1 创建一个新Job 414 EPZ^I) 21.2 默认设计 415 ![{>$Q?5
21.3 薄膜设计 416 nlfu y[oX 21.4 误差的灵敏度计算 420 |"Rl_+d7D 21.5 显色指数计算 422 "XU
M$:D 21.6 电场分布 424 kYVn4Wq 后记 426 bHi0N@W!vG 如有需要可以加我微信[attachment=113942] 9<9 c^2
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