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2022-08-10 09:51 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
v_ J.M ] 内容简介 K4rr.f6 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 y#MLxm 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 'l}3Iua6qk 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 .dygp"* ;klDt|%3j
.SsIU\[)
\x+DEy'4;5 目录 z~BB|-kp1 Preface 1 g PfaiVY 内容简介 2 <
d]|5 目录 i _ E%[D( 1 引言 1 IQ_0[ 2 光学薄膜基础 2
dOhV`8l 2.1 一般规则 2 :@/fy}! 2.2 正交入射规则 3 8fN0"pymo 2.3 斜入射规则 6 5[3hw4 2.4 精确计算 7 }n.h)Oz 2.5 相干性 8 YOY+z\Q 2.6 参考文献 10 ]`NbNr]K 3 Essential Macleod的快速预览 10 f4_\F/ 4 Essential Macleod的特点 32 ?yz%r`;r 4.1 容量和局限性 33 k`t'P6
bU 4.2 程序在哪里? 33 daorKW4 4.3 数据文件 35 :b>|U"ux 4.4 设计规则 35 x
B?:G 4.5 材料数据库和资料库 37 `~RV 4.5.1材料损失 38 29]8[Z,4 4.5.1材料数据库和导入材料 39 QA3l:D}u 4.5.2 材料库 41 Z^|C~lp;n 4.5.3导出材料数据 43 *"5a5.`%, 4.6 常用单位 43 R*y[/Aw 4.7 插值和外推法 46 1^;h:,e6 4.8 材料数据的平滑 50 d{he 4.9 更多光学常数模型 54 <\8 4.10 文档的一般编辑规则 55 W>~%6K>p 4.11 撤销和重做 56 <d^7B9O?&w 4.12 设计文档 57 WU4i-@Bm8 4.10.1 公式 58 |:?.-tq 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 <7 rK 4.10.3 沉积密度 59 JA}'d7yEa 4.10.4 平行和楔形介质 60 vP4Ij 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 cg.e(@( 4.10.4 性能 61 ^ZlV1G;/W@ 4.10.5 保存设计和性能 64 9e&#;6l 4.10.6 默认设计 64 Z:hrrq9 4.11 图表 64 &>jkfG 4.11.1 合并曲线图 67 'k67$H 4.11.2 自适应绘制 68 P~<93 4.11.3 动态绘图 68 rrWk&;? 4.11.4 3D绘图 69 v (h Xk]S 4.12 导入和导出 73 M;Rw]M 4.12.1 剪贴板 73 <f6PULm 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Ak1) 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 \k=Qq(= 4.13 背景 77 GN9_ZlC 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 nnNg^<[k3 4.15 生成Rugate 84 w'0M>2 4.16 参考文献 91 )r i3ds 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 l{U 3; 5.1 Jobs 92 EM*OrUe 5.2 创建一个新Job(工作) 93 {?y7' 5.3 输入材料 94 DG\YZV4 5.4 设计数据文件夹 95 #}(Df& 5.5 默认设计 95 f5% & 6 细化和合成 97 }tZAU\z 6.1 优化介绍 97 1hyah.i]Y 6.2 细化 (Refinement) 98 uq%3;#[0 6.3 合成 (Synthesis) 100 ;QQ7vo 6.4 目标和评价函数 101
;"^9L 6.4.1 目标输入 102 }?J5!X 6.4.2 目标 103 BznA)EK?@ 6.4.3 特殊的评价函数 104 }hitU(5t0 6.5 层锁定和连接 104 :"^<
aLj 6.6 细化技术 104 `_A?a_[* 6.6.1 单纯形 105 Pu*HZW3l 6.6.1.1 单纯形参数 106 k#5e:VOb 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 "3|"rc&F# 6.6.2.1 Optimac参数 108 Oc9>F\]_m 6.6.3 模拟退火算法 109 SQU%N 6.6.3.1 模拟退火参数 109 25n(&NV 6.6.4 共轭梯度 111 SWsv, 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 *.c9$`s 6.6.5 拟牛顿法 112 Ww&- `. 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ,M&0<k\ 6.6.6 针合成 113 idS
RWa 6.6.6.1 针合成参数 114 T\!SA 6.6.7 差分进化 114 SzlfA%4+GR 6.6.8非局部细化 115 yO;C3q 6.6.8.1非局部细化参数 115 -xu.=n@, 6.7 我应该使用哪种技术? 116 51opP8 6.7.1 细化 116 <lmJa# 6.7.2 合成 117 niEEm`" 6.8 参考文献 117
tW:/R@@ 7 导纳图及其他工具 118 \e8*vos 7.1 简介 118 6q[!X0u 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ;3}EBcw) 7.2.1 四分之一波长规则 119 %
r Y8 7.2.2 导纳图 120 B=bI'S8\ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 "E|r 3cN 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 E:4P1,%01+ 7.5 斜入射导纳图 141 0 ;_wAk 7.6 对称周期 141 $%%>n^?? 7.7 参考文献 142 NZC='3Uz 8 典型的镀膜实例 143 iynS4]`U 8.1 单层抗反射薄膜 145 {/A)t1nL 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 kad;Wa#h 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ^GrkIh0nL 8.4 W-膜层 148 3).o"AN 8.5 V-膜层 149 W+f&%En 8.6 V-膜层高折射基底 150 +#uNQ`1v 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 LbX6p 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 T$^>Fiz{Se 8.9 四层抗反射薄膜 153 7vpN6YP 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 u:uSsAn0$ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 *Qg5Z 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 $JhZ'Z 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 TjUZv 1(L 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 B>|U-[A 8.15十五层宽带抗反射膜 159 !P~ PF:W~| 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 |aS~"lImh 8.17 1/4波长堆栈 162 RCh$j&Tn 8.18 陷波滤波器 163 [|[sYo 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 (' Ko#3b 8.20 褶皱 165 [CDX CV-z 8.21 消偏振分光器1 169 C9mzg 8.22 消偏振分光器2 171 MLt'YW^ 8.23 消偏振立体分光器 172 H6ky)kF& 8.24 消偏振截止滤光片 173 `\ef0 8.25 立体偏振分束器1 174 B)"#/@!bHH 8.26 立方偏振分束器2 177 uRm _ 8.27 相位延迟器 178 =X`]Ct8Z 8.28 红外截止器 179 l$-=Pqb 8.29 21层长波带通滤波器 180 ;<kZfx 8.30 49层长波带通滤波器 181 Gf
H*,1x 8.31 55层短波带通滤波器 182 XSp x''l 8.32 47 红外截止器 183 %jZp9}h 8.33 宽带通滤波器 184 $m:2&lU3 8.34 诱导透射滤波器 186 [%7;f|p? 8.35 诱导透射滤波器2 188 oEenm\ZI 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 1 ;\]D9i 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 E/~"j 8.35 增益平坦滤波器 193 CGd[3}" 8.38 啁啾反射镜 1 196 U0h)pdo 8.39 啁啾反射镜2 198 =!?[]>Dh 8.40 啁啾反射镜3 199 d2C[wQF 8.41 带保护层的铝膜层 200 ]&C:> 8.42 增加铝反射率膜 201 ~U"by_ 8.43 参考文献 202 ]27>a"p59Y 9 多层膜 204 I&pr_~. 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 pcI& 9.2 内部透过率 204 ~aJW"\{ 9.3 内部透射率数据 205 &G-#*OG 9.4 实例 206 Lp:Nw4 _ 9.5 实例2 210 &RKH2R 9.6 圆锥和带宽计算 212 c~gNH%1XN 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 #Mj$o;SX 10 光学薄膜的颜色 216 R`@8.]cpPy 10.1 导言 216 xvwD3.1 10.2 色彩 216 S'Z70 zJ 10.3 主波长和纯度 220 <XQN;{xSa 10.4 色相和纯度 221 @-wNrW$ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 QKp+;$SE' 10.6 色差 226 'Q:i&dTg 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 (dzH3_U 10.8 颜色渲染指数 234 3>-[B`dD( 10.9 色差计算 235 !,cQ'*<W8- 10.10 参考文献 236 gYTyH. 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 @-'/__cgt 11.1 短脉冲 238 P0%N
Q1bn 11.2 群速度 239 {S5RK-ax 11.3 群速度色散 241 2d-TU_JqX 11.4 啁啾(chirped) 245 e[x?6He,$ 11.5 光学薄膜—相变 245 K&=1Ap 11.6 群延迟和延迟色散 246 |d,F-9iw 11.7 色度色散 246 \%sPNw=e 11.8 色散补偿 249 { 1+Cw?1d 11.9 空间光线偏移 256 LP.HS'M~u 11.10 参考文献 258 $|4cJ#;^L 12 公差与误差 260 <8u>_o6 12.1 蒙特卡罗模型 260 _PK}rr?"7O 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 9#v-2QY 12.2.1 误差工具 267 oN *SRaAp 12.2.2 灵敏度工具 271 <Q2u)m' 12.2.2.1 独立灵敏度 271 r5t;'eCea 12.2.2.2 灵敏度分布 275 J.1O/Pw!.a 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 R[x7QlA; 12.3 参考文献 276 jCU=+b= 13 Runsheet 与Simulator 277 _Zh2eXWdjM 13.1 原理介绍 277 2 ]L=s3 13.2 截止滤光片设计 277 }5Yj 14 光学常数提取 289 *:a'GC%/ 14.1 介绍 289 PeO] lq 14.2 电介质薄膜 289 Rw{$L~\ 14.3 n 和k 的提取工具 295 `_|aeoK_ 14.4 基底的参数提取 302 I[}75:^Rt 14.5 金属的参数提取 306 8]S,u:E:N 14.6 不正确的模型 306 iJFr4o/R 14.7 参考文献 311 4HM;K_G%{ 15 反演工程 313 M2}np 15.1 随机性和系统性 313 oFWt(r 15.2 常见的系统性问题 314 :.Y|I[\E% 15.3 单层膜 314 3pB}2] 15.4 多层膜 314 3)}(M 15.5 含义 319 Eu|sWdmf
l 15.6 反演工程实例 319 b`$yqi<[ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 2b5 #PcKa 15.6.2 反演工程提取折射率 327 +}P%HH]E/p 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 NwguP 16.1 光学性质的热致偏移 329 }i(qt&U; 16.2 应力工具 335 *R BV'b 16.3 均匀性误差 339 )IQ* 16.3.1 圆锥工具 339 grr'd+_ e 16.3.2 波前问题 341 d^PD#&"g 16.4 参考文献 343 _IWxYp
17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 "u_i[[y 17.1 引言 345 C;9t">prk 17.2 操作数 345 <j;]!qFR 18 如何在Function中编写脚本 351 hR-K@fS%l' 18.1 简介 351 te i`/ 18.2 什么是脚本? 351 ^o YPyk`9 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 2UiR~P]% 18.4 基础 352 q(78fZ *X 18.4.1 Classes(类别) 352 #<4--$Xo 18.4.2 对象 352 "f4<B-9<$ 18.4.3 信息(Messages) 352 {3LA%xO 18.4.4 属性 352 wxE?3%.j\ 18.4.5 方法 353 _K'7(d0z 18.4.6 变量声明 353 yMb|I~k 18.5 创建对象 354 KF+mZB 18.5.1 创建对象函数 355 :}Ok$^5s 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 r4u z} jl{ 18.5.3 丢弃对象 356
g5i#YW 18.5.4 总结 356 zN%97q_ 18.6 脚本中的表格 357 K/^
+eoW( 18.6.1 方法1 357 <?YA,"~ 18.6.2 方法2 357 %]!adro~ 18.7 2D Plots in Scripts 358 Ql8bt77eI- 18.8 3D Plots in Scripts 359 eX"''PA 18.9 注释 360 WWNu:, 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
dy<27 = 18.11 一个更高级的脚本 362 f8=]oa] 18.12 <esc>键 364 b0rX QMu 18.13 包含文件 365 ~M5:=zKQ 18.14 脚本被优化调用 366 h./P\eDc 18.15 脚本中的对话框 368 eZH~je{1 18.15.1 介绍 368 ~EEs}i 18.15.2 消息框-MsgBox 368 "k:=Y7Dx 18.15.3 输入框函数 370 hd2'AlB 18.15.4 自定义对话框 371 ^
q?1U?4 18.15.5 对话框编辑器 371 s5&=Bsv 18.15.6 控制对话框 377 8O7Yv< 18.15.7 更高级的对话框 380 E=AVrv5T 18.16 Types语句 384 0}]SUe^ 18.17 打开文件 385 RF?DtNuq 18.18 Bags 387 o_f-GO 18.13 进一步研究 388 5dl,co{q 19 vStack 389 ZSB?Y1wG 19.1 vStack基本原理 389 b*EXIzQ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 eh(<m8I 19.3 五棱镜 393 dz-y}J11 19.4 光束距离 396 | kXm}K 19.5 误差 399 )&,{?$ . 19.6 二向分色棱镜 399 #H~_K}Ks 19.7 偏振泄漏 404 FJ54S 19.8 波前误差—相位 405 .Q* 'r&n 19.9 其它计算参数 405 Xgat-cy'DA 20 报表生成器 406 dU_;2#3m 20.1 入门 406 c?E{fD"Fc3 20.2 指令(Instructions) 406 NmpnJu|8 20.3 页面布局指令 406 0 )}$^TV 20.4 常见的参数图和三维图 407 z wk.bf>m 20.5 表格中的常见参数 408 y9 L14 20.6 迭代指令 408 IRW^ok.'b! 20.7 报表模版 408 `VT>M@i/ 20.8 开始设计一个报表模版 409 'wQv3; 21 一个新的project 413 poT&-Ic[ 21.1 创建一个新Job 414 W\cjdd 21.2 默认设计 415 2S~R ! 21.3 薄膜设计 416 7K;!iX<d 21.4 误差的灵敏度计算 420 +v7) 1y 21.5 显色指数计算 422 Kz?#C 21.6 电场分布 424 $IX\O 后记 426 S,jZ3^ 如有需要可以加我微信[attachment=113942] xZ .!d.rn
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