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2022-08-10 09:51 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)
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& 内容简介 Az9X#h.vf Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 UvPp~N7, 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @+?+6sS 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 gI)w^7Gi s8t f@H4r
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99F>n[5 目录 [#7y[<.P Preface 1 CxJfrI_W 内容简介 2 13ipaz 目录 i 6RH/V:YY 1 引言 1 xJvLuzUD 2 光学薄膜基础 2 sL)Rg(rkx 2.1 一般规则 2 X!T|07#c 2.2 正交入射规则 3 \4OK!6LkI 2.3 斜入射规则 6 M$,Jg5Dc 2.4 精确计算 7 (JevHdI*V 2.5 相干性 8 dKU5; 2.6 参考文献 10 (-bRj# 3 Essential Macleod的快速预览 10 Jf_]Z 4 Essential Macleod的特点 32 q z=yMIy= 4.1 容量和局限性 33 ha_@Yqgh 4.2 程序在哪里? 33 =fo4x|{O 4.3 数据文件 35 PdR >;$1 4.4 设计规则 35 dF$KrwDK
4.5 材料数据库和资料库 37 DeA @0HOxh 4.5.1材料损失 38 :OHSxb>[ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 >[K0=nA 4.5.2 材料库 41 bKYY{V55 4.5.3导出材料数据 43 GUKDhg,W 4.6 常用单位 43 9^oo-,Su_ 4.7 插值和外推法 46 :ezA+=ENg 4.8 材料数据的平滑 50 F\JLbY{x] 4.9 更多光学常数模型 54 O-Dc[t% 4.10 文档的一般编辑规则 55 w-lrnjs 4.11 撤销和重做 56 K~USK?Q% 4.12 设计文档 57 NzAQ@E2d: 4.10.1 公式 58 6!Qknk$ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 =Qyqfy*@D? 4.10.3 沉积密度 59 SAP;9*f1\ 4.10.4 平行和楔形介质 60 U%L
-NMe 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 r9?o$=T 4.10.4 性能 61 +hpSxdAz4 4.10.5 保存设计和性能 64 \F[n`C"Is 4.10.6 默认设计 64 EVG"._I@ 4.11 图表 64 9-b 8`|s 4.11.1 合并曲线图 67 .M8=^,h^K 4.11.2 自适应绘制 68 `\wUkmH 4.11.3 动态绘图 68 k'x#t( 4.11.4 3D绘图 69 &T7cH>E'K^ 4.12 导入和导出 73 1f<RyAE?5 4.12.1 剪贴板 73 B9}E
{)T? 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ~,T+JX 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 q=njKC 4.13 背景 77 +miR3~w. 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 `6P?G|' 4.15 生成Rugate 84 M</Wd{.g" 4.16 参考文献 91 > <X $# 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 |Hfl&3 5.1 Jobs 92 !\ZcOk2 5.2 创建一个新Job(工作) 93 uNy!<u 5.3 输入材料 94 r4EoJyt 5.4 设计数据文件夹 95 V7BsE w 5.5 默认设计 95 +ZX.1[O 6 细化和合成 97 RYH)AS4w' 6.1 优化介绍 97 n6/f an; 6.2 细化 (Refinement) 98 AO $Wy@ 6.3 合成 (Synthesis) 100 ]9s\_A9 6.4 目标和评价函数 101 J)#S-ZB+'k 6.4.1 目标输入 102
A0OB$OK 6.4.2 目标 103 N2T&,&,t 6.4.3 特殊的评价函数 104 '^DUq?E4 6.5 层锁定和连接 104 {d,?bs) 6.6 细化技术 104 w]}f6VlEl 6.6.1 单纯形 105 $D}"k!H 6.6.1.1 单纯形参数 106 rfc|`*m}0 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 1 )'Iu`k/ 6.6.2.1 Optimac参数 108 eKyqU9 6.6.3 模拟退火算法 109 oJh"@6u6K 6.6.3.1 模拟退火参数 109 gX_SKy 6.6.4 共轭梯度 111 RbKwO}
z$q 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 F*,5\s< 6.6.5 拟牛顿法 112 |*ReqM|_C 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 6P^hN%0 6.6.6 针合成 113 AC'lS
>7s 6.6.6.1 针合成参数 114 n_}aZB3;U 6.6.7 差分进化 114 }qL~KA{& 6.6.8非局部细化 115 }1Z6e[K? 6.6.8.1非局部细化参数 115 PV(4$I} 6.7 我应该使用哪种技术? 116 SwX@I6huM 6.7.1 细化 116 &y\igX1 6.7.2 合成 117 >e/ r2U 6.8 参考文献 117 i&*<lff 7 导纳图及其他工具 118 cl_TF[n? 7.1 简介 118 5x2L(l-2 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Fo(y7$33* 7.2.1 四分之一波长规则 119 DL1
+c`d 7.2.2 导纳图 120 ` .$&T7 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 9$wAm89 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ]);NnsG 7.5 斜入射导纳图 141 !vVT]k[N 7.6 对称周期 141 u-:MVEm 7.7 参考文献 142 h\FwgkJP 8 典型的镀膜实例 143 {:$NfW 8.1 单层抗反射薄膜 145 MOeoU1Hn 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 {!r#f(?uT 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 S eOy7 8.4 W-膜层 148 7DZTQUb" 8.5 V-膜层 149 `,P
>mp)uU 8.6 V-膜层高折射基底 150 X|' 2R^V. 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 +|0 t 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
|Qr:!MA 8.9 四层抗反射薄膜 153 -"tY{}z 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 2lo:a{}j 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 djGs~H>;U_ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 %/!+(7
D 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 O"iak 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 -K^41W71 8.15十五层宽带抗反射膜 159 t#~XLCE 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 |T
y=7d , 8.17 1/4波长堆栈 162 *uU4^E( 8.18 陷波滤波器 163 59Nd}wPO; 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 &`@lB (m 8.20 褶皱 165 QF&6?e06p0 8.21 消偏振分光器1 169 x,uBJ 8.22 消偏振分光器2 171 abSq2*5K 8.23 消偏振立体分光器 172 Tyd
h9I 8.24 消偏振截止滤光片 173 -N4z-ozhC 8.25 立体偏振分束器1 174 ]x_F{&6U8 8.26 立方偏振分束器2 177 O2lIlCL 8.27 相位延迟器 178 Wc\+x1 :8 8.28 红外截止器 179 S<pkc8 8.29 21层长波带通滤波器 180 61>f(?s 8.30 49层长波带通滤波器 181 $Elkhe]O % 8.31 55层短波带通滤波器 182 Qi^;1& 8.32 47 红外截止器 183 .<.#aY;N 8.33 宽带通滤波器 184 O8y9dX-2 8.34 诱导透射滤波器 186 LD_M 3
P 8.35 诱导透射滤波器2 188 I&\4C.\> 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ZPvf-PqJl 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Fs) 8.35 增益平坦滤波器 193 snq;:n! 8.38 啁啾反射镜 1 196 )cKj iXn 8.39 啁啾反射镜2 198 *m&%vj.Kc 8.40 啁啾反射镜3 199 63C(Tp" 8.41 带保护层的铝膜层 200 0Az/fzJlz 8.42 增加铝反射率膜 201 r&Qt_ 8.43 参考文献 202 H`gb}?9R 9 多层膜 204 O]bKNA.5 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ^vW$XRnt 9.2 内部透过率 204 hLo>R'@uN 9.3 内部透射率数据 205 /tzlbI]z 9.4 实例 206 uQ^hV%|" 9.5 实例2 210 ThiN9! Y 9.6 圆锥和带宽计算 212 4|=vxJ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 b}}y=zO|$ 10 光学薄膜的颜色 216 `V@z&n0P6 10.1 导言 216 ` yYvYc 10.2 色彩 216 |(&oI(l5K 10.3 主波长和纯度 220 +N8aq<l 10.4 色相和纯度 221 xl9(ze 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 IX.sy 10.6 色差 226 Q.1XP 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ]LVnt-q 10.8 颜色渲染指数 234 pALJl[Cb 10.9 色差计算 235 OW#_ty_ul 10.10 参考文献 236 LyV#j>gD 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 1J&\,f& 11.1 短脉冲 238 #4N >d~ 11.2 群速度 239 NnP.k7m) 11.3 群速度色散 241 1@@y]s_.a 11.4 啁啾(chirped) 245 6i-*N[!U 11.5 光学薄膜—相变 245 PLdf_/]- 11.6 群延迟和延迟色散 246 mYzcVhV 11.7 色度色散 246 vbedk+dd?A 11.8 色散补偿 249 _jo$)x+'x 11.9 空间光线偏移 256 %z2oDAjX 11.10 参考文献 258 NA\ x< 12 公差与误差 260 *0\k
Z,#BJ 12.1 蒙特卡罗模型 260 ?R282l 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ,6RQvw 12.2.1 误差工具 267 V_lGj 12.2.2 灵敏度工具 271 {zu/tCq? 12.2.2.1 独立灵敏度 271 K#@K"N= 12.2.2.2 灵敏度分布 275 O"8 P#Ed 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ]` K[W & 12.3 参考文献 276 8;0^'Qr8 13 Runsheet 与Simulator 277 xY+A]Up|w 13.1 原理介绍 277 O'fc/cvh=' 13.2 截止滤光片设计 277 Z@u ;Z[@ 14 光学常数提取 289 >j-
b5g"g 14.1 介绍 289 "raj>2@ 14.2 电介质薄膜 289 t"tNtLI 14.3 n 和k 的提取工具 295 g4Bg6<; 14.4 基底的参数提取 302 PYaOH_X. 14.5 金属的参数提取 306 $6Z[|9W^A 14.6 不正确的模型 306 t9]r
14.7 参考文献 311 7F~xq#Wi# 15 反演工程 313 0O_E\- = 15.1 随机性和系统性 313 aC4m{F[ 15.2 常见的系统性问题 314 *6'_5~G 15.3 单层膜 314 /lru"R D 15.4 多层膜 314 Sw[=S '(l 15.5 含义 319 ,d5ia4\K 15.6 反演工程实例 319 bnIf}ut-G 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 >[hrJn[ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 oUCVd}wH 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 X+\0%| 16.1 光学性质的热致偏移 329 8`6
LMQ 16.2 应力工具 335 aQC7 V !v 16.3 均匀性误差 339 -)<JBs> 16.3.1 圆锥工具 339 aL{EkiR 16.3.2 波前问题 341 E#m76]vkCU 16.4 参考文献 343 eUYG96Jw 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 - f+CyhR"* 17.1 引言 345 2zwuvgiZ 17.2 操作数 345 EccFx7h 18 如何在Function中编写脚本 351 ?! !;XW 18.1 简介 351 =xl7vHn7 18.2 什么是脚本? 351 P~;<o!f 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ~rp.jd 0l 18.4 基础 352 ">03~:oA 18.4.1 Classes(类别) 352 Z5 w`-# 18.4.2 对象 352 65 NWX8f} 18.4.3 信息(Messages) 352 m21QN9(i% 18.4.4 属性 352 F@oT7NB/n 18.4.5 方法 353 H;4oZ[g 18.4.6 变量声明 353 i_'|:Uy*F 18.5 创建对象 354 !N@Yh"c 18.5.1 创建对象函数 355 ^a: Saq-} 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 @fUX)zm> 18.5.3 丢弃对象 356 }Z<D^Z~w 18.5.4 总结 356 QJb7U5:B+ 18.6 脚本中的表格 357 \nn56o@eN 18.6.1 方法1 357 A632 :V 18.6.2 方法2 357 ,%&
LG],6 18.7 2D Plots in Scripts 358 b6
J2*;XG 18.8 3D Plots in Scripts 359 O(b"F?
w 18.9 注释 360 t"jIfU>'a/ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 5VCMpy 18.11 一个更高级的脚本 362 ufHuI* 18.12 <esc>键 364 1==P.d( 18.13 包含文件 365 R;5QD` 18.14 脚本被优化调用 366
dfYYyE 18.15 脚本中的对话框 368 Ih9O Rp7 18.15.1 介绍 368 f]O5V$!RuE 18.15.2 消息框-MsgBox 368 cN0~;!{i 18.15.3 输入框函数 370 n3-GnVC][ 18.15.4 自定义对话框 371 :..E:HdYO 18.15.5 对话框编辑器 371 %`t]FV^# 18.15.6 控制对话框 377 NXC~#oG 18.15.7 更高级的对话框 380 "H/2r]?GT 18.16 Types语句 384 )of5229 18.17 打开文件 385 A=\'r<: 18.18 Bags 387 BVwRPt 18.13 进一步研究 388 z/Mhu{ttL 19 vStack 389 0%(4G83gw 19.1 vStack基本原理 389 f
z/?= 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 dT*f-W 19.3 五棱镜 393 qkZ5+2m 19.4 光束距离 396 i75?*ld 19.5 误差 399 U>3%!83kF 19.6 二向分色棱镜 399 *;V2_fWJ@ 19.7 偏振泄漏 404 .j+2x[`l 19.8 波前误差—相位 405 Q}k_#w 19.9 其它计算参数 405 Q9Xmb2LN 20 报表生成器 406 wd2P/y42;; 20.1 入门 406 ~0Q\Lp); 20.2 指令(Instructions) 406 Xm0&U?dZB 20.3 页面布局指令 406 GSUOMy[M- 20.4 常见的参数图和三维图 407 wUZ(Tin 20.5 表格中的常见参数 408 GT1 X 20.6 迭代指令 408 .yHHogbt 20.7 报表模版 408 t6H2tP\AS 20.8 开始设计一个报表模版 409 `
i^`Q 21 一个新的project 413 .aAw7LW 21.1 创建一个新Job 414 z?IY3]v*z< 21.2 默认设计 415 [W8iM7D 21.3 薄膜设计 416 ux/[d6To 21.4 误差的灵敏度计算 420 9
up*g 21.5 显色指数计算 422 t"!8 21.6 电场分布 424 >k&lGF<nl 后记 426 x"h)"Y[c5 如有需要可以加我微信[attachment=113942] S3JygN*
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