首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
讯技光电&黉论教育
->
锥形相位掩模的Talbot图像
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2022-08-02 08:44
锥形相位掩模的Talbot图像
36D-J)-Z
在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。
(o,&P9
1!. CfQi
C[:Q?LE
S5ofe]tS@
建模任务
d;KrV=%30s
RaFk/mSw
aTC7 H]e
=4 &/Pr
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
EJYfk?(B
{9KG06%+
系统建模块
xUE 9%qO
Ek'
B[^mWVp6L
wU.K+4-k
特定位置的Talbot图案
STp}?Cb
kStWsc$;+T
Dqu1!f
E)%]?/w
特定位置的Talbot图案
hM2^[8
>lqWni
RRy3N )HR
不同位置的Talbot图案
DJlY~}v#_
+x$;T*0
JZ&]"12]fR
a3]'%kKp
不同位置的Talbot图案
vyT$IdV2
v"Bv\5f,Ys
查看本帖完整版本: [--
锥形相位掩模的Talbot图像
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计