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infotek 2022-08-02 08:44

锥形相位掩模的Talbot图像

36D-J)-Z  
在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 (o,&P9  
1!. CfQi  
C[:Q?LE  
     S5ofe]tS@  
建模任务 d;KrV=%30s  
RaFk/mSw  
aTC7H]e  
     =4 &/Pr  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) EJYfk?(B  
     {9KG06%+  
系统建模块 xUE9%qO  
Ek'  
B[^mWVp6L  
     w U.K+4-k  
特定位置的Talbot图案 STp}?Cb  
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Dqu1!f  
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特定位置的Talbot图案  hM2^[8  
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RRy3N )HR  
不同位置的Talbot图案 DJlY~}v#_  
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不同位置的Talbot图案 vyT$IdV2  
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