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2022-07-21 09:19 |
方形晶胞
zF6]2Y?k% 这是一个简单的二维光栅的案例,它有两个周期的方形晶格。三维单元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一个位于衬底上的菱形(平行六面体),并被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(菱形结构)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。 _7AR2 ?3Ytn+Py 光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度S偏振光照明的场矢量 VPB,8zb]  P偏振光照明的场矢量 8u,f<XHi"a !z
!R)6 后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。 /mb?C/ CI <Ct b^4$ 参数扫描 GgoPwl#{ 0i[,`>-Av Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表,显示了反射和透射衍射级次的强度: zqaz1rt[ 5$,dpLbL 在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,在一个固定的照明角度下,其中图案宽度从150nm增至250nm。这将产生以下依赖关系 ]*8K4n G
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