中科院微电子研究所在a-IGZO晶体管领域取得重要进展

近日，中科院微电子研究所在非晶铟镓锌氧化物（a-IGZO）晶体管领域取得重要进展。据悉，a-IGZO被视为实现高密度三维集成的最佳候选沟道材料之一。三维集成技术的本质是为提高晶体管在芯片上的集成密度。因此，对于兼容后道工艺的a-IGZO晶体管来说，探索其尺寸的极限微缩是实现高密度三维集成的关键。

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器件结构示意图及TEM表征图

针对上述问题，微电子所重点实验室科研人员通过采用宏观电学测试和微观表征技术相结合的方法，研究了尺寸微缩时a-IGZO晶体管基本特性的变化规律，通过微缩栅介质等效氧化层厚度和半导体厚度来提高器件的栅控能力，进一步优化金属半导体接触，降低了器件的接触电阻，并使用栅控能力更强的双栅互联结构与操作模式，实现了性能优异的双栅a-IGZO短沟道晶体管。

此外，基于该成果的文章入选2022 VLSI，同时入选demon session 文章。

天蓝色3230	2022-07-14 23:30
加油，加油！

tomryo	2022-07-15 07:09
中科院微电子研究所在a-IGZO晶体管领域取得重要进展

wssf001	2022-07-15 07:23
这对芯片行业的发展又是一大促进

有生之年

2022-07-15 08:25

实验室科研人员通过采用宏观电学测试和微观表征技术相结合的方法，研究了尺寸微缩时a-IGZO晶体管基本特性的变化规律，通过微缩栅介质等效氧化层厚度和半导体厚度来提高器件的栅控能力，进一步优化金属半导体接触，降低了器件的接触电阻，并使用栅控能力更强的双栅互联结构与操作模式，实现了性能优异的双栅a-IGZO短沟道晶体管。

牛开心	2022-07-15 08:26
实现了性能优异的双栅a-IGZO短沟道晶体管

u201713898	2022-07-15 08:43
这对芯片行业的发展又是一大促进

初书亦	2022-07-15 08:46
不错，不错！ 6rN5Xf cS 3Ibt'$dK

光学白小白	2022-07-15 09:08
a-IGZO晶体管领域取得重要进展

钻研光设小学僧	2022-07-15 09:15
厉害厉害

木子示羊	2022-07-15 09:32
中科院微电子研究所在a-IGZO晶体管领域取得重要进展

jameszyhuang	2022-07-15 09:34
中科院微电子研究所在a-IGZO晶体管领域取得重要进展

wmh1985	2022-07-15 09:37
中科院微电子研究所在非晶铟镓锌氧化物（a-IGZO）晶体管领域取得重要进展。据悉，a-IGZO被视为实现高密度三维集成的最佳候选沟道材料之一。三维集成技术的本质是为提高晶体管在芯片上的集成密度。因此，对于兼容后道工艺的a-IGZO晶体管来说，探索其尺寸的极限微缩是实现高密度三维集成的关键。

honestccw	2022-07-15 10:21
默默无闻的科学工作者

fei666	2022-07-15 10:30
基于该成果的文章“Scaling Dual-Gate Ultra-thin a-IGZO FET to 30 nm Channel Length with Record-high Gm,max of 559 μS/μm at VDS=1 V, Record-low DIBL of 10 mV/V and Nearly Ideal SS of 63 mV/dec”入选2022 VLSI，同时入选demon session 文章。微电子所硕士生陈楷飞为第一作者，杨冠华副研究员和李泠研究员为通讯作者。 F-7b`cF9[r [attachment=113426]

浮夸	2022-07-15 10:36
中科院加油

personking	2022-07-15 11:27
中科院微电子研究所在a-IGZO晶体管领域取得重要进展

光学小白a	2022-07-15 11:31
中科院微电子研究所在非晶铟镓锌氧化物（a-IGZO）晶体管领域取得重要进展

周末末没有周末	2022-07-15 13:08
a-IGZO晶体管领域取得重要进展

blacksmith	2022-07-15 14:52
厉害好厉害

only丶	2022-07-15 16:53
这对芯片行业的发展又是一大促进 y-q?pqt

jeremiahchou	2022-07-15 18:16
中科院微电子研究所在非晶铟镓锌氧化物（a-IGZO）晶体管领域取得重要进展。据悉，a-IGZO被视为实现高密度三维集成的最佳候选沟道材料之一。三维集成技术的本质是为提高晶体管在芯片上的集成密度。因此，对于兼容后道工艺的a-IGZO晶体管来说，探索其尺寸的极限微缩是实现高密度三维集成的关键。

xjz0203	2022-07-15 18:40
a-IGZO晶体管领域取得重要进展

churuiwei	2022-07-15 18:41
中科院微电子研究所在非晶铟镓锌氧化物（a-IGZO）晶体管领域取得重要进展

谭健	2022-07-15 20:52
加油，加油！

道到	2022-07-15 20:54
中科院微电子研究所在a-IGZO晶体管领域取得重要进展

谭健	2022-07-15 20:55
中科院微电子研究所在非晶铟镓锌氧化物（a-IGZO）晶体管领域取得重要进展

jabil	2022-07-15 21:15
Nice information Z?aR9OTP

liu.wade	2022-07-15 22:54
中科院微电子研究所在a-IGZO晶体管领域取得重要进展

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