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infotek 2022-06-28 08:35

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 m5{Y  
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建模任务 WI[6 l6  
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概述 H6bomp"  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "&Q-'L!M'/  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 K)l{3\9l|  
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光线追迹仿真 ogip#$A}3  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 K34ca-~  
•单击go! qqS-0U2  
•获得了3D光线追迹结果。 ]$y"|xqR  
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q,QMvUK:  
光线追迹仿真 :==kC672  
B/i,QBPF]  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ]rZ"5y  
•单击go! e>uV8!u  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 [^1;8Tbk  
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场追迹仿真 Uc<B)7{'  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 YPf&y"E&H  
•单击go! XH1so1h  
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场追迹仿真(相机探测器) MfCu\[qOz  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Ij@YOt  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 |+cyb<(V J  
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场追迹仿真(电磁场探测器) Pt";f  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jVi''#F?f  
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CuT[V?^iD  
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场追迹仿真(电磁场探测器) wH{lp/  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r\ ` R$  
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