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infotek 2022-06-28 08:35

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 [A_r1g&_  
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建模任务  5T/J%  
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概述 l7Lj[d<n  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 & zgPN8u  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 > tEK+Y|N}  
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光线追迹仿真 C*O ,rm}  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 kr{)  
•单击go! o PaZ  
•获得了3D光线追迹结果。 @,YlmX}  
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O3+)qb!X  
光线追迹仿真  i_y:4  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~BQV]BJ7  
•单击go! !a4cjc(  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 leIy|K>\m  
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场追迹仿真 hpjUkGm5  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 .ujj:>  
•单击go! NGj"ByVjx  
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场追迹仿真(相机探测器) j Ii[  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 X/wmKi  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 .}~$1QKS  
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场追迹仿真(电磁场探测器) +]_nbWL(%  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Tr$i= M  
 Db,= 2e  
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场追迹仿真(电磁场探测器) IyT ?-R  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?n&$m  
L=,Y1nO:p  
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