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infotek 2022-06-28 08:35

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 r?j2%M\  
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建模任务 b>Em~NMu_  
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概述 ?|NMJ Qsa7  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {\62c;.  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]]^eIjg>a6  
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光线追迹仿真 lzDA0MPI:  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 k ^(RSu<  
•单击go！ sRkPXzK  
•获得了3D光线追迹结果。 _ ,~D]JYE  
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光线追迹仿真 ;\48Q;  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 d;FOmo4  
•单击go！ (R|Ftjs .  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 * ,#SwZ  
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场追迹仿真 ;*[ oi  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 F*TkQ\y  
•单击go！ eB2a1<S&@  
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场追迹仿真（相机探测器） 4D=^24f`0  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Lm1  -  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Gph:'3 *X  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ul^VGW>i  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |] cFsB#G  
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场追迹仿真（电磁场探测器） R4g;-Ci->  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 " 3tk"#.#  
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