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infotek 2022-06-28 08:35

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 nw_s :  
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T 2_iH=u  
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建模任务 5 D=r7  
T8&eaAoo  
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概述 QN|=/c<U  
[$td:N *  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 mn\A)R Q  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 %hlgLM  
9hssI ZO  
={f8s,m)P,  
#c":y5:  
光线追迹仿真 #eX<=H]  
oo BBg@  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6nR EuT'k  
•单击go! A3*(c3  
•获得了3D光线追迹结果。 &SNH1b#>E  
G:y+yE4  
Sk)lT^by  
29CzG0?B  
光线追迹仿真 q"oNFHYPDs  
o';/$xrH  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 UR9\g(  
•单击go! <1B+@  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 &,=FPlTC=  
Go^TTL   
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场追迹仿真 [S8*b^t4  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 wOCAGEg  
•单击go! ,I ][  
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场追迹仿真(相机探测器) N3*1,/,l .  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 U^BM5b  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 1Lk(G9CoY  
U]w"T{;@.)  
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场追迹仿真(电磁场探测器) RgL>0s  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 K#AexA  
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Sk1t~  
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场追迹仿真(电磁场探测器) !c{F{ t-a  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 { PJ>gX$  
Cl!(F 6K*  
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