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infotek 2022-06-28 08:35

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 T1Py6Q,-  
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建模任务 chICc</l&  
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概述 %"{P?V<-V  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @rGY9%E  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Htgo=7!?\3  
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光线追迹仿真 kZ5#a)U<  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 q(n"r0)=  
•单击go! i:YX_+n  
•获得了3D光线追迹结果。 Z )c\B  
s*rR> D:  
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光线追迹仿真 ho=!Yy  
3wfcGQn|sD  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 y`oj\  
•单击go!  bUcp8  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 s)WA9PiC  
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场追迹仿真 nXn@|J&z~U  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4$iS@o|  
•单击go! xn`)I>v  
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场追迹仿真(相机探测器) az ZtuDfv  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 [7}3k?42X  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 K/zb6=->  
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场追迹仿真(电磁场探测器) |tAkv  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 '9!_:3[d\]  
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场追迹仿真(电磁场探测器) .F,l>wUNe  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^N^G?{EV/#  
+.~K=.O)  
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