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infotek 2022-06-28 08:35

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 H#kAm!H  
2rR@2Vsw2  
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建模任务 45r]wT(C   
<<7,k f R  
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概述 pjX%LsX\  
E,*JPK-A x  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Q8;x9o@p  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 b[{m>Fa+o#  
r%Q8)nEo  
 .KiPNTh'  
R (tiIo  
光线追迹仿真 r/N[7 *i  
SQdz EF  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5(iSOsb  
•单击go！ 7~!I2DV_  
•获得了3D光线追迹结果。 zx\.2<K  
6o[0sM_];  
 o ;[C(OS  
v5&xY2RI7  
光线追迹仿真 $n=W2WJ6f  
Vr&el  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 h"VpQhi  
•单击go！ S4l)TtY  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 dp"<KcP_  
}|Hw0zP.  
 QmWC2$b  
<_BqpZ^`  
场追迹仿真 l]a^"4L4`o  
L<f-Ed9|  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 `YFkY^T  
•单击go！ 1?D8|<  
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场追迹仿真（相机探测器） T!m42EvIvE  
E@5zd@[  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^#a#<8Jz  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 MAuM)8_P/|  
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场追迹仿真（电磁场探测器） X0^zw^2W  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 g>6:CG"  
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 J>f /u:.  
场追迹仿真（电磁场探测器） *)j@G:  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 v t^r1j  
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