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infotek 2022-06-28 08:35

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 79Q>t%rD[  
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建模任务 8g6G},Y0  
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概述 ,e+S7 YX  
0]2@T=*kTY  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 A#CGD0T  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !N\i9w}  
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Q*]y=Za#:  
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光线追迹仿真 MXynv";<H  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 MJG)fFl] O  
•单击go! qWw{c&{Q],  
•获得了3D光线追迹结果。 zwdi$rM5  
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UE K$  
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光线追迹仿真 2IFEl-IB[  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ="s>lI-1a  
•单击go! |"k+j_/+  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 Yjix]lUXVf  
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场追迹仿真 +t<'{KZ7;  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 CYN")J8V  
•单击go! Uf<IXx&;  
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场追迹仿真(相机探测器) gBJM|"_A?  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 h}f l:J1C  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 j4!oBSp  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ^3w >:4m  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8eZ^)9m  
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场追迹仿真(电磁场探测器) \,yX3R3}.~  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /|aD,JVN"  
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