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infotek 2022-06-28 08:35

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 "<1{9  
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建模任务 *^ZV8c}  
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概述 JK5gQ3C[  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 hHnYtq  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 BW4J>{  
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光线追迹仿真 s;Q!X ?Q  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 -[.[>&`/  
•单击go！ HG^'I+Yn  
•获得了3D光线追迹结果。 AoxA+.O  
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 VMWf>ZU  
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光线追迹仿真 q(84+{>B  
Y$@?.)tY  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "4{r6[dn  
•单击go！ S"H2 7  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 <RL]  
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场追迹仿真 .$vK&k  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 gg2( 5FPP  
•单击go！ 5r ^(P  
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场追迹仿真（相机探测器） 0o&5 ]lEe  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 PCtzl )  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 X"%gQ.1|{j  
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场追迹仿真（电磁场探测器） h/Y'<:  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 G18b$z  
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场追迹仿真（电磁场探测器） fp"W[S|uL  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 YN5rml'-  
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