首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
讯技光电&黉论教育
->
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2022-06-28 08:35
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
[A_r1g&_
Tiprdvm<
n+quSF)
~JE|f 7
建模任务
5T/J%
9d"5wx
pruWO'b`
概述
l7Lj[d<n
wsfysat$
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
& z gPN8u
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
>tEK+Y|N}
<9\,QR)
B+Q+0tw*i
NQ!<f\m4n
光线追迹仿真
C*O ,rm}
MOyT< $
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
kr{)
•单击go!
o PaZ
•获得了3D光线追迹结果。
@,YlmX}
JmjxGcG
u 6(GM
O3+)qb!X
光线追迹仿真
i_y:4
0dh#/
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
~BQV]BJ7
•单击go!
!a4cjc(
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。
leIy|K>\m
{~nvs4X
!3HsI|$<G
q\U4n[Zk
场追迹仿真
hpjUkGm5
G)~MbesJ
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
.ujj:>
•单击go!
NGj"ByVjx
7&px+155
zS?n>ElI
GY7s
场追迹仿真(相机探测器)
j Ii[
YnD#p[Wo^
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
X/wmKi
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
.}~$1QKS
L^jaBl
[%t3[p<)O
4$F:NW,v:)
场追迹仿真(电磁场探测器)
+]_nbWL(%
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
Tr$i= M
Db,= 2e
}z?xGW/k
W8x[3,gT
场追迹仿真(电磁场探测器)
IyT?-R
<g*.p@o
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
?n&$m
L=,Y1nO:p
.P8-~?&M
IJldN6&\q
查看本帖完整版本: [--
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计