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infotek 2022-06-28 08:35

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 {]E+~%Va  
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建模任务 pY_s*0_  
*Ho/ZYj3  
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概述 Vs%|pIV  
F1jglH/MF)  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Ga#:P F0  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 DyeQJ7p  
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Si_%Rr&jW  
光线追迹仿真 87:!C5e}  
d?:=PH  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 _~q?_'kx  
•单击go! %]I ZLJ  
•获得了3D光线追迹结果。 hoQs @[  
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h$.:Uj8/  
z I+\Oll#Q  
光线追迹仿真 AX= 1b,s  
4O;OjUI0a  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 qf=1?=l291  
•单击go! HsnLm67'  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 l5g$vh\aQ]  
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场追迹仿真 LJOr!rWi  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }|5 V RJA  
•单击go! H|ER  
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场追迹仿真(相机探测器) *P 3V  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $Bj;D=d@V  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 n+BJxu?  
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场追迹仿真(电磁场探测器) 0TmR/uUT  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -0_d/'d  
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M/q E2L[y  
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场追迹仿真(电磁场探测器) #fJ] o_  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ndo a4L)$  
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