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infotek 2022-06-28 08:35

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。  A:b(@'h  
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c V$an  
建模任务 S@Iza9\|@  
U_Jchi,!  
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概述 / <C{$Gu  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 \1Xr4H u  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~%chF/H  
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光线追迹仿真 g ?.y7!m  
Bo,>blspw  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 I=[Ir8} ;  
•单击go! YjCHKI"e  
•获得了3D光线追迹结果。 CP'b,}Dd?I  
8KyRD1 (-R  
Y1Q240  
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光线追迹仿真 '@/1e\-y  
&t~NR$@  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Rtu"#XcBw+  
•单击go! $fCKK&Wy  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 K'Y/0:"*  
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场追迹仿真 5jq @ nq6  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 skm~~JM^  
•单击go! W:maE9E=  
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场追迹仿真(相机探测器) (#?O3z1@"  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 C$0rl74Wi  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 enx+,[  
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场追迹仿真(电磁场探测器) `_k_}9Fr  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7Ll? #eun  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ?W_8 X2(`  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -^)<FY\  
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