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infotek 2022-06-28 08:35

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &|RTLGwX  
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建模任务 (*Q:'2e  
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概述 $of2lA  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 7C3YVm6g  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 btq 4diW  
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光线追迹仿真 e3:L]4t  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 &g^*ep~|#  
•单击go！ 1,bE[_  
•获得了3D光线追迹结果。 Fr  
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光线追迹仿真 *`Vmncv3  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 (uDd_@a9t  
•单击go！ 3)\fZYu)  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9CeR^/i  
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场追迹仿真 gC/ e]7FNr  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 >5L_t   
•单击go！ [{BY$"b#:  
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场追迹仿真（相机探测器） er)I".|  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 S\&3t}_  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。  xV5UaD<  
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场追迹仿真（电磁场探测器） tULGfvp  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )XK\[tL  
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场追迹仿真（电磁场探测器） p#ar`-vQ  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iT4*~(p 3  
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