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infotek 2022-06-28 08:35

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 7:)$oH  
B&lF! ]  
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建模任务 BjUz"69  
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概述 u $T'#p1  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 7[7Sm^Tw  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 CY8=prC  
@ GzN0yXhR  
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KA {Y*m^7  
光线追迹仿真 <7~+ehu  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 A!5)$>!o  
•单击go! kKSn^q L*  
•获得了3D光线追迹结果。  ^pZ\:  
 W-U[7n  
@y\M8C8  
!TuMrA *  
光线追迹仿真 iu.+bX|b  
XS"lR |  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ZTSNM)f  
•单击go! -Z%B9ql'  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 5eSmyj-W  
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场追迹仿真 ul3._Q   
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 du4Q^-repC  
•单击go! 'Sjcm@ILm  
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场追迹仿真(相机探测器)  snyg  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ZMXIKN9BF#  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ]`Y;4XR  
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场追迹仿真(电磁场探测器) 5rpTR  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 NrdbXPHceN  
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J@c)SK%2h  
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场追迹仿真(电磁场探测器) BHw/~Hd4  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 X4U$#uI{  
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