马赫泽德干涉仪

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Qu!OV]Cc   R %Rv   iJ5e1R8tN   1VRqz5   B'NS&7+].   干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例，在非序列场追迹技术的帮助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Vj#%B.#Zbf   kOo>Iy   建模任务 6(!,H<bON   39'X$!   sxf}Mmsk   Vj?*=UL   由于组件倾斜引起的干涉条纹 -Pv P   aY3pvOV   +#&el//   ke{DFqh   由于偏移倾斜引起的干涉条纹 tsCz+MP   NdaVT5RB