马赫泽德干涉仪

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CU&,Kq@   x"T^>Q   h" S/D[   e@VRdhb   !+l, m8Hly   干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例，在非序列场追迹技术的帮助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 g5\B-3{   Ro$XbU)   建模任务 Ww4G   pU/.|Sh   DZZt%n8J   ( mMz]b5   由于组件倾斜引起的干涉条纹 i*>yUav"   _xs Ycw~)   :]jtV~E\   AV! cCQ   由于偏移倾斜引起的干涉条纹 gC 4#!P   dj]N59<