马赫泽德干涉仪

xZ;eV76   马赫泽德干涉仪

,\P|%yv   [7gz?9VyLF   D})/2O p   ]wEI*c(   |gP)lR   干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例，在非序列场追迹技术的帮助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 _BJ:GDz>   a6./;OC   建模任务 bO/r1W   m[2[9bQ0   Cy6!?Mik   .[]S!@+%   由于组件倾斜引起的干涉条纹 H,w8+vZ4\   cyB+(jLHDs   iBbaHU*V   =0Y0o_   由于偏移倾斜引起的干涉条纹 E=,5%>C0#%   .u#Hg'oP