马赫泽德干涉仪

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&>&6OV]P'   t+_\^Oa)   `!$6F:d_l   ==Xy'n9'   iD*Hh-   干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例，在非序列场追迹技术的帮助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Bal e_s^   XwFTAaZ   建模任务 ,H%[R+)   b b.UtoPz   7F2 RH 8)   }xBDyr63   由于组件倾斜引起的干涉条纹 _QEw=*.<   mPHto-=fB   {Wi*B(   3n)$\aBE   由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ;0Q" [[J   ^RO<r}Bu