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xzaxd 2022-06-16 09:04

APC充氧的作用

请教各位大佬，镀膜中的APC充氧有什么作用？
ouyuu 2022-06-18 18:44
补充氧气，稳定真空度。 RQj`9F  
不同真空度下，膜的分布和致密度都是不一样的。 7X9+Qj;  
xzaxd 2022-06-20 11:34
但是不是真空度越高对膜层堆叠越好吗？
奔跑的小骏马 2022-06-21 18:22
APC充氧主要作用是保证镀膜材料氧化充分，不然吸收会比较大
ouyuu 2022-07-02 19:40
xzaxd:但是不是真空度越高对膜层堆叠越好吗？ (2022-06-20 11:34)  (/T +Wpy?  
L/qZ ;{  
理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧）
xzaxd 2022-07-05 16:54
ouyuu:理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧） (2022-07-02 19:40)  tzZ|S<e6=\  
O)l%OOv   
明白了！谢谢版主
xzaxd 2022-07-05 16:55
奔跑的小骏马:APC充氧主要作用是保证镀膜材料氧化充分，不然吸收会比较大 (2022-06-21 18:22)  ~bWhth2*  
)t 5;d  
好的！
18844167969 2022-08-29 16:14
解决吸收，保证材料充分氧化
wflney 2022-10-02 12:35
补充氧气，稳定真空度
shenhan0701 2023-03-29 12:12
APC功能上就是压力控制仪， 一般和离子源或者MFC（流量质量控制器）配合使用，用来稳定镀膜真空度维持氧气分压的 JfSdUWxT  
Y^yG/F  
h391485168 2023-06-26 23:53
18844167969:解决吸收，保证材料充分氧化 (2022-08-29 16:14)  "U*5Z:8?9  
I ld7}R  
解决吸收，是为了提高穿透吗？
gaofei555 2024-07-05 17:37
ouyuu:理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧） (2022-07-02 19:40)  fx]eDA|$e  
yjFe'  
学习了... 7OE[RX8!f  
renlgj 2024-07-21 17:15
主要是氧化，防止脱氧折射率变化
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