薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 1(CpTaa  
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建模任务 WZOi,  
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正弦光栅—透射相位曲线 {dM18;  
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正弦光栅—透射相位曲线 a/A$ MXZ_  
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正弦光栅—衍射效率 o?BcpWp  
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正弦光栅—效率与周期 "xe %  IS  
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 wl|cipy"  
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闪耀光栅—效率与高度（TEA） dF$a52LS  
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闪耀光栅—透射相位曲线 0~ !).f  
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闪耀光栅—衍射效率 "5:^aC]  
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闪耀光栅—效率与周期  ntK#7(U'  
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VirtualLab Fusion一瞥 m?wPZ^u  
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• 设置光栅结构 -CePtq`  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] Y.FqWJP=p  
• 分析光栅衍射效率 "%^T~Z(_j  
−光栅阶次分析器[用户案例] Ed6k7  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 b/^i  
− 利用参数运行文档[用户案例] Jw"fqr  
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VirtualLab Fusion技术 j'xk[bM  
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