薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。

建模任务 QS~;C&1Hl
Ur626}

正弦光栅—效率与高度（TEA）

正弦光栅—透射相位曲线 {}3kla{
i;0`d0^

正弦光栅—透射相位曲线 kCR)k=*
]kmOX

正弦光栅—衍射效率 'D-#,X C
s9A'{F

正弦光栅—效率与周期 33kI#45s
qD\%8l.]Z

正弦光栅—特定周期下的相位曲线 =tcPYYD
ZW2#'$b

闪耀光栅—效率与高度（TEA） p _e-u-
4Uf+t?U9

闪耀光栅—透射相位曲线 s/[i>`g/9
V8&/O)}o

闪耀光栅—衍射效率 (r[<g*+3
>`NY[Mn

闪耀光栅—效率与周期 UKK}$B
g}^/8rW

闪耀光栅—特定周期下的相位曲线

VirtualLab Fusion一瞥 \Di~DN1
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VirtualLab Fusion工作流程

• 设置光栅结构
−使用界面配置光栅结构[用户案例]
• 分析光栅衍射效率
−光栅阶次分析器[用户案例]
• 通过参数运行检查不同参数的影响
− 利用参数运行文档[用户案例]

VirtualLab Fusion技术 h5F'eur
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