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infotek 2022-05-18 09:30

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 &"Ux6mF-"  
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建模任务 V&{MQWy  
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) PXKJ^fa  
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某一位置的Talbot图样 Av J4\  
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走进VirtualLab Fusion AEirj /  
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VirtualLab Fusion的工作流程 <~U4*  
l(W[_ D  
 构建光栅结构 K]oM8H1  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] >zvY\{WY  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] #U7_a{cn"M  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 Ue:z1p;g  
- 参数运行文件的使用 [用例] >B -q@D  
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VirtualLab Fusion技术 : 9!%ZD  
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