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2022-05-18 09:30 |
锥形相位掩模的Talbot像
在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 v!F(DP.)Z
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建模任务 A{6ZEQAh>
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ( rw bF
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- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] =;{S>P!I(t
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Z?x]HB`r
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- 参数运行文件的使用 [用例] !c&^b@
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