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infotek 2022-05-18 09:30

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 ]f&f_"D  
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c!'\k,ma<9  
CC;^J-h/  
建模任务 pnyu&@e  
9+xO2n  
Yyr9Kj:  
结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) (DS"*4ty  
R!lug;u#  
某一位置的Talbot图样 IkjJqz  
Jj 5VBI!Ok  
{@3v$W~7M  
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某一位置的Talbot图样 c))?9H ,e)  
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不同位置的Talbot图样 jD}h`(bE  
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不同位置的Talbot图样 *Uj;a.  
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沿Z轴的强度 hayJgkZ '  
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走进VirtualLab Fusion FfrC/"N  
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VirtualLab Fusion的工作流程 5J|S6x\  
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 构建光栅结构 HLG5SS7  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] .`5|NUhN  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] $I>]61l%  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 D GcpYA.7'  
- 参数运行文件的使用 [用例] wet[f{c  
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VirtualLab Fusion技术 k ,+,,W  
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