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infotek 2022-05-18 09:30

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 .L{+O6*c  
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建模任务 iGeT^!N  
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) }~~^ZtJ\  
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某一位置的Talbot图样 =?*"V-l  
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某一位置的Talbot图样  D6!+  
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不同位置的Talbot图样 4bi\$   
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走进VirtualLab Fusion e^_@^(||!6  
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VirtualLab Fusion的工作流程 KXfW&d(Pk  
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 构建光栅结构 v]SE?xF{U  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ZBq*<VtV  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 17]31  
J6Nw-qF  
 通过参数运行计算不同位置的强度 2(J tD  
- 参数运行文件的使用 [用例] Jl4XE%0  
RW^v{'o  
`'.x*MNF  
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VirtualLab Fusion技术 pyJOEL]1F  
FS+^r\)  
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