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infotek 2022-05-18 09:30

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 e.<y-b?  
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建模任务 &1k2J   
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) vxmz3ht,Q  
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某一位置的Talbot图样 equTKM  
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沿Z轴的强度 f Cq  
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走进VirtualLab Fusion s?j` _ B  
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VirtualLab Fusion的工作流程 e=]>TeqG0  
rTR4j>Ua~  
 构建光栅结构 ]nEZ Q+F  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 3*DwXH+  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] >*5+{~k~4  
quvdm68  
 通过参数运行计算不同位置的强度 RH=Tu6i  
- 参数运行文件的使用 [用例] ;T6x$e  
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VirtualLab Fusion技术 :n4X>YL)  
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