锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。

建模任务

结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)

某一位置的Talbot图样 D-'i G%)kA
(J6" ;

某一位置的Talbot图样 8:Z@lp^
<8}KEe4

不同位置的Talbot图样 Xg|8".B)A
ZC3tbhV

不同位置的Talbot图样 hB|H9+
:iP>z}h

沿Z轴的强度 fG:PdIJ7_
Fpy6"Z?z

走进VirtualLab Fusion P5'iYahCq_
<_##YSGh,

VirtualLab Fusion的工作流程

 构建光栅结构
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例]
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例]

 通过参数运行计算不同位置的强度
- 参数运行文件的使用 [用例]

VirtualLab Fusion技术 3q~":bpAp
Q3<bC6$r

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