| infotek |
2022-05-18 09:30 |
锥形相位掩模的Talbot像
在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 'J0Ea\,if0
1)-VlQK p
 Ci3
b(KR
ub4(g~E
建模任务 PP6gU=9[)
leXdxpc
 Q'^$;X~-<
结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Fcn@j#[J
&_]bzTok
某一位置的Talbot图样 }qhND-9#@
]e? L,1-
 (gutDUO;
`7 Nk;
某一位置的Talbot图样 a{}8030S
|L
<
 JWxSN9.X
kL -f@CD
不同位置的Talbot图样 'L%)B-,n
KM
oDcA jH
 D<^K7tJui
,YrPwdaTB
不同位置的Talbot图样 gp^xl>E
R8j\CiV17
 g Yw=Z_z
1=jwJv.^/
沿Z轴的强度 "(;t` ,F
|@MGGAk
 1L _(n
_E^ !, Wz
走进VirtualLab Fusion `6*1mE1K &
^QTkre
 RWG Axq`9f
L yjp
VirtualLab Fusion的工作流程 vPu {xy
:1!k*5
构建光栅结构 ENZYrWl
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] }Szs9-Wns
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] JZ"XrS0 ?
<TEDs4
C
通过参数运行计算不同位置的强度 ru *}lDJ
- 参数运行文件的使用 [用例] \.`{nq
9 E
hh^_Z| 5
t,y MO
VirtualLab Fusion技术 /| [%~`?BM
'u %SI]*;>
 F#l!LER^1g
fSm|anuKZe
|
|