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infotek 2022-05-18 09:30

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 :8 2T!  
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建模任务 w:\} B'u  
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) LL<xygd  
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某一位置的Talbot图样 ,dRaV</2  
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某一位置的Talbot图样 66val"^W  
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不同位置的Talbot图样 Vb,V N?l  
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不同位置的Talbot图样 yTZev|ej@  
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沿Z轴的强度 t:10  
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走进VirtualLab Fusion Z6I|Y5#H  
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VirtualLab Fusion的工作流程 zQ,rw[C"W  
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 构建光栅结构 /8GdCac  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] f.w",S^  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] svpQ.Q  
K<P d.:  
 通过参数运行计算不同位置的强度 fJS:46  
- 参数运行文件的使用 [用例] N{%7OG  
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VirtualLab Fusion技术 VWft/2p~  
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