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2022-05-18 09:30 |
锥形相位掩模的Talbot像
在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 1OJD\w c
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建模任务 U#^:f7-$.
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 7H@Cy}a
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某一位置的Talbot图样 PT5ni6
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某一位置的Talbot图样 M}RFFg
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沿Z轴的强度 "r(p K@h
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走进VirtualLab Fusion IF21T
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VirtualLab Fusion的工作流程 Bd]DhPhJ
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构建光栅结构 aLo>Yi
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] pt;Sk?-1
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ]m,p 3
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通过参数运行计算不同位置的强度 z.F+$6
- 参数运行文件的使用 [用例] SNV+.xN
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VirtualLab Fusion技术 ])";Z
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