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infotek 2022-05-18 09:30

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 \&V0vN1  
8,?v?uE  
jO9ip  
|6J ?8y  
建模任务 e]ig!G]  
s/"&9F3  
R cY>k  
结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) tg4Y i|5  
Mv|ykJoz"  
某一位置的Talbot图样 3>zN/ f  
QYXx:nIrg  
[#" =yzR<3  
   C8@TZ[w  
某一位置的Talbot图样 m,3er*t{  
d lH$yub  
d {lP  
J )BI:]m  
不同位置的Talbot图样 U]qav,^[  
C7T(+Wd!,  
`T/~.`R  
HDM<w+ZxX  
不同位置的Talbot图样 8$xPex~2  
W#_/ak$uF*  
Mr+@c)  
ZZ/cq:3$P  
沿Z轴的强度 ;S$Ll*f>D  
5OM?3M  
{s,+^7  
sK$wN4k  
走进VirtualLab Fusion I^*'.z!4Q  
VvByHcLv  
u#W5`sl  
TL= YQA  
VirtualLab Fusion的工作流程 C>^D*C(  
fbrp#G71y  
 构建光栅结构 BOlAm*tFt  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] k!jNOqbb  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ir> ]r<Zl  
,lY aA5&I  
 通过参数运行计算不同位置的强度 RR1A65B  
- 参数运行文件的使用 [用例] dtM[E`PL  
^jdL@#k00  
q)u2Y]  
[c K^+s)N  
VirtualLab Fusion技术 i;\s.wrzH  
v|Jlf$>  
$X`y%*<<v  
   TmRx KrRs  
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