锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。

建模任务

结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)

某一位置的Talbot图样 ;q=0NtCS=4
MU }<-1

某一位置的Talbot图样 0n FEPMO
jb~W(8cj

不同位置的Talbot图样 ;8|D4+
k!&G;6O-

不同位置的Talbot图样 ]q,5'[=~4h
{2A| F{7>

沿Z轴的强度 3 s@6pI
*Ce8( "v,

走进VirtualLab Fusion qI]PM9
[lU0TDq

VirtualLab Fusion的工作流程

 构建光栅结构
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例]
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例]

 通过参数运行计算不同位置的强度
- 参数运行文件的使用 [用例]

VirtualLab Fusion技术 n?UFFi+a
mY)Y47iL

查看本帖完整版本: [-- 锥形相位掩模的Talbot像 --] [-- top --]