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2022-05-18 09:30 |
锥形相位掩模的Talbot像
在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 f^~2^p
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建模任务 G}Gb|sD
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) xiEcEz'lk
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某一位置的Talbot图样 LMt0'Ml9
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某一位置的Talbot图样
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不同位置的Talbot图样 K6ciqwUO
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不同位置的Talbot图样 w 7Cne%J8
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沿Z轴的强度 kx:c*3q.k
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走进VirtualLab Fusion 4
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VirtualLab Fusion的工作流程 Iv Y,9D
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构建光栅结构 >hH J:5y
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] U+(Z#b(Q
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] L[ `R8n1C
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通过参数运行计算不同位置的强度 0*/mc9 6
- 参数运行文件的使用 [用例] + 8MW$ m$
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VirtualLab Fusion技术 }qG?Vmq*R[
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