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2022-05-18 09:30 |
锥形相位掩模的Talbot像
在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 ]f&f_"D .N@+Ms3
c!'\k,ma<9 CC;^J-h/ 建模任务 pnyu&@e 9+xO2n
Yyr9Kj: 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) (DS"*4ty R!lug;u# 某一位置的Talbot图样 IkjJqz Jj5VBI!Ok
{@3v$W~7M 4*Gv0#dga 某一位置的Talbot图样 c))?9H
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