首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 讯技光电&黉论教育 -> 锥形相位掩模的Talbot像 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2022-05-18 09:30

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 ^P[e1?SZG  
4.k0<  
qz"}g/;?  
X1DF*wI  
建模任务 E@z<:pG{  
Df}A^G >X  
TEP,Dq  
结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) U&g@.,Y#  
)%`c_FL@N=  
某一位置的Talbot图样 h&M{]E9=  
.8 2P(}h  
Q3XpHnufu+  
   Yz'K]M_Dq  
某一位置的Talbot图样 KWq+PeB5TS  
]Oe2JfJwx  
#oS<E1  
8f_l}k$Eg  
不同位置的Talbot图样 /,BD#|  
.O DU  
^4y,W]JUDt  
&9.Cl;I  
不同位置的Talbot图样 R6 y#S&]x  
sSr&:BOsi  
a]$1D!Anc  
>,v`EIg  
沿Z轴的强度 EH- sZAv  
\Q {m9fE  
im${3>26  
]RwpX ^ 1  
走进VirtualLab Fusion 'S20\hwt-  
t0( A4E  
UBv,=v  
To\QjP-  
VirtualLab Fusion的工作流程 Fh)IgzFj  
5u,{6  
 构建光栅结构 I!ED?n  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] eJrQ\>z]V&  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 55G+;  
^8]NxV@l  
 通过参数运行计算不同位置的强度 kPKB|kP\  
- 参数运行文件的使用 [用例] `A,-@`p  
aR[JD2G  
q?H|o(  
S~<$H y*kh  
VirtualLab Fusion技术 g6y B6vk  
*-#&K\  
d .[8c=$  
   2\R'@L*  
查看本帖完整版本: [-- 锥形相位掩模的Talbot像 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计