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infotek 2022-05-18 09:30

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 k M /:n  
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建模任务 /(~ HHNnh  
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) GG#-x$jK  
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某一位置的Talbot图样 #X)DFAtb  
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VirtualLab Fusion的工作流程 Z&@P<  
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 构建光栅结构 ZXhNn<  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] =8vwaJ  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] \V~B+e  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 uaD+G:{ [  
- 参数运行文件的使用 [用例] c @lF*"4  
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VirtualLab Fusion技术 JiqhCt\  
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