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infotek 2022-05-18 09:30

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Zj_b>O-V  
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建模任务 Plc-4y1  
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) []D&bYpv  
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某一位置的Talbot图样 Qo>b*Ku;  
3\AU 72-  
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某一位置的Talbot图样 "WlZ)wyF%  
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不同位置的Talbot图样 tE.FrZS  
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不同位置的Talbot图样 ky8_UnaO  
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沿Z轴的强度 \Bz_p'[G  
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走进VirtualLab Fusion 4Xgg%@C  
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&]V.S7LC #  
VirtualLab Fusion的工作流程 ><RpEnWZ<  
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 构建光栅结构 Gq+z/Be  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] FO+Zue.RS  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] lvdf^b/ j  
1 Rq,a  
 通过参数运行计算不同位置的强度 s kv GU(G}  
- 参数运行文件的使用 [用例] imo$-}A  
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VirtualLab Fusion技术 0\H\lKcK  
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