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infotek 2022-05-18 09:30

锥形相位掩模的Talbot像

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ) 4L%zl7  
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建模任务 $,QpSK`9i  
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) T ^%n!t  
 l@Eq|y,  
某一位置的Talbot图样 R|)2Dg  
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 C=dx4U~   
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某一位置的Talbot图样 VkTlPmr  
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不同位置的Talbot图样 v<7Gln  
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不同位置的Talbot图样 csdOIF  
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沿Z轴的强度 C7jc6(> m  
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走进VirtualLab Fusion GIRSoRVsh  
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VirtualLab Fusion的工作流程 ,\S pjE  
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 构建光栅结构 W) 33;E/}  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Pn+IJ=0Y  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Tbi]oB#  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 )@<HCRQ'q  
- 参数运行文件的使用 [用例] "^9[OgE:  
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VirtualLab Fusion技术 42V,PH6o  
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