集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 5<>R dLo }][|]/s?42 2. 建模任务 T3PaG\5B }<x!95
采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) \q)1TTnHS WG!;,~f>o 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) smQpIB; 5d>YE 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) kkuQ"^<J &B>uPZ]
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4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) E* DVQ3~ z jNjmC!W
(2a"W` ^_"q`71Dk 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) F(kRAe; kJ5?BdvM&
@):NNbtA ():?FJM 6. 3D仿真与结果对比 oKqFZ,m[ h,RUL
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E;Ftop H\>I&gC' 9. VirtualLab Fusion技术 B0SmE_u_N 8$xKg3-3M hx;kEJ
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