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infotek 2022-05-07 08:41

集成微透镜阵列的CMOS传感器分析

在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   "C3/T&F  
{FTqu.  
2. 建模任务 HUOj0T  
4v|W-h"K  
采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
BFW&2  
ItTz.sQ  
采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
A. w:h;7  
CVR3 A'  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) '[O;zJN;  
C2)2)  
T9q-,w/j;  
   &YeA:i?  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) W+1^4::+  
3DG_QVg^v  
/|#fejPh  
S#[j )U-  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 5ms(Wd  
/JU.?M35  
K'I#W lg  
Q)z8PQl O  
6. 3D仿真与结果对比 S>; 5[l 4  
eKqk= (  
$, fX:x  
cPc</[x[W  
7. 走进VirtualLab Fusion d8x;~RA  
,wdD8ZT'Ip  
xA[mm  
;P&OX5~V  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 Y:)e(c"A  
*G 9V'9  
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 构造光栅结构 O!bOp=  
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] W'u>#  
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] 2T[9f;jM'  
 计算光栅结构内部的场分布 t5IEQ2  
SOvF[,+  
tIS<U(N ;  
t.\dpBq  
9. VirtualLab Fusion技术 U\!X,a*ts{  
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