集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 "C3/T&F {FTqu. 2. 建模任务 HUO j0T 4v|W-h"K
采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) BFW&2 ItTz.sQ 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) A.w:h;7 CVR3
A' 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) '[O;zJN; C2)2)
T9q-,w/j; &Y eA:i? 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) W+1^4::+ 3DG_QVg^v
/|#fejPh S#[j )U- 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 5ms(Wd /JU.?M35
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