集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 {TNAK%'v :jPAA`, 2. 建模任务 GZw<Y+/V"5 wF(FV4#gs
采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) e|LXH/H ^9nM)[/C? 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) :Us-^zVr cPXvTVvs 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) u$"5SGI6 {IVqV6: MqqS3
f2=s{0SX0 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) jDoWSYu4tY BhjXNf9[ O\w%E@9Fh i@RjG 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 4$^=1ax L0Cf@~k kLhtkuS4 Tla*V#:Ve 6. 3D仿真与结果对比 jd{J3s '% MouYZI) =h)H` '54@-}D 7. 走进VirtualLab Fusion g`j%jQuY Xw%z#6l + |,CIl+ &~&i > 8. VirtualLab Fusion的工作流程 DM&"oa50 .UcS4JU L,<.rr$: 构造光栅结构 .^uu*S_ - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] "`S61m_ - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] 1pK7EK3R 计算光栅结构内部的场分布 (GV6%l#I t*x;{{jL#( X[w9~t$\ qr@,92_ 9. VirtualLab Fusion技术 U:>O6" 1/m/Iw@ 0KZ 3h|4lP
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