方形晶胞

eWcS>N   这是一个简单的二维光栅的案例，它有两个周期的方形晶格。三维单元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一个位于衬底上的菱形(平行六面体)，并被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(菱形结构)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。 |67<h5Q1   ]) T*T$u   光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 S偏振光照明的场矢量 @cSz!E}   P偏振光照明的场矢量 k \1q Jr   A1Rt   后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。 ezy0m}@   3'*SSZmnOB   参数扫描 m {wMzsQ   Hza{"I*^   Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表，显示了反射和透射衍射级次的强度： w^z}!/"]u   bL{wCo-Y   在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,在一个固定的照明角度下，其中图案宽度从150nm增至250nm。这将产生以下依赖关系 ;l+3l ez

O_(/uLH

z8jQaI]j