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infotek 2022-03-17 09:19

方形晶胞

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这是一个简单的二维光栅的案例,它有两个周期的方形晶格。三维单元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一个位于衬底上的菱形(平行六面体),并被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(菱形结构)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。
p-Pz=Cx-  
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光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度
S偏振光照明的场矢量
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P偏振光照明的场矢量 A="fj  
H-2_j  
后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。 &[~[~m|  
N+J>7_k   
参数扫描 fhr-Y'  
8U=A{{0p  
Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表,显示了反射和透射衍射级次的强度:
X4'kZ'Sy<  
N Bz%(? \  
在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,在一个固定的照明角度下,其中图案宽度从150nm增至250nm。这将产生以下依赖关系 s7"i.A  
R8 jovr  
:XYy7xz<  

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