方形晶胞

Vl!Z|}z   这是一个简单的二维光栅的案例，它有两个周期的方形晶格。三维单元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一个位于衬底上的菱形(平行六面体)，并被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(菱形结构)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。 xOjCF&W   ]OoqU-q   光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 S偏振光照明的场矢量 $b#"Rv   P偏振光照明的场矢量 TZq']Z)#   qPpC)6-Q   后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。 EY(@R2~#J   ti'a^(   参数扫描 X.,1SYG[   \)ac,i@fy   Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表，显示了反射和透射衍射级次的强度： \HDRr*KO   EM*YN=So   在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,在一个固定的照明角度下，其中图案宽度从150nm增至250nm。这将产生以下依赖关系 UKx91a}g

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