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2022-03-16 10:37 |
从真空镀膜原理、设计到工艺
[;=ky<K0E 主办单位:广东省真空学会/讯技光电科技(上海)有限公司 U]D.z}0 协办单位:常熟黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) ? g{,MP5 授课时间:2022 年 5 月 27 日(五)-29 日(日)共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 =|!~0O 授课地点:广州(详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅) U959=e 课程费用:4800 元(包含课程材料费、开票税金、午餐费用) ,j nRt%W 授课专家:讯技光电高级顾问&高级工程师 -(uBTO s 668bJ.M\O 课程简介 nwo!A3w: 当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时,既可以着手选用所需的基板,镀膜 )A0&16< 材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手,例如高反射镜不管波宽大小,开始我 3b3cNYP 们一定是以四分之一波膜堆为设计基础,倘若是截止滤光片,则应以对称膜堆为设计基础。当 :b;1P@W< 初始设计无法满足要求时,我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化,设 I7PWOd 计好之后,即刻进行制造成功率分析,亦看膜层厚度的误差值的容许度,若是镀膜机的精密度 ]R{"=H' 做不到,则要修改设计,重新分析直达合格为止。 Rdg0WT*;j 透明塑料基板质轻价廉,而且容易成型为非球面透镜,被广泛采用在光学系统中,如眼睛镜片、 ?03Zy3/ 相机透镜、手机镜头、及显示器面板,如 OLED,近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 y|Y3,s 使其具有吸水性,从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 N ]7a= 需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射,还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 }AiS83B 这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 ;0!Wd &iOtw0E 课程大纲 (<C%5xk 1. Essential Macleod 软件介绍 $M`;." 1.1 介绍软件 02^(z6K'&? 1.2 运行程序 s~$4bN>LD 1.3 创建一个简单的设计 j$|C/E5? 1.4 绘图和制表来表示性能 >1U@NK)HfY 1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 Cj1UD; 1.6 创建一个默认设计 C5 5n 1.7 文件位置 :3>yr5a7- 1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 GQ0 (&I G^ZkY 1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 ePRM v 1.10 厚度(物理厚度,光学厚度[FWOT,QWOT],几何厚度) 'D"K`Vw 1.11 单位定义 !;*2*WuO; 1.12 软件如何进行数据插值 D
Ok^ON 1.13 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) =Xjuz:9D~ 1.14 特定设计的公式技术 i>Bi&azx 1.15 交互式绘图 /e sk 2. 光学薄膜理论基础 U\8#Qvghf 2.1 介质和波 ~}0hN]*G 2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 :ZfUjqRE 2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 cNr][AzU@ 2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 ptcLJ]+) 2.5 光学薄膜设计理论 >jz%bY 3. 理论技术 3d'ikkXK 3.1 参考波长与 g b#;N!VX 3.2 四分之一规则 i5<Va@ru!s 3.3 导纳与导纳图 T :S{3 3.4 斜入射光学导纳 _Q}RElA 3.5 对称周期 . 02(O 4. 光学薄膜设计 g}
~<!VpX 4.1 光学薄膜设计的进展 ;k&k#>L!K 4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 !bV(VRbu 4.3 光学薄膜设计技巧 ]<;i}n|
< 4.4 特殊光学薄膜的设计方法 7k t7^V< 4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 :IT U0%;!+ 4.5.1 优化目标设置 ~:}XVt0%8 4.5.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化, mz VuQ 差分演化法) y5Wqu9C\Io 4.5.3 膜层锁定和链接 &]yJCzo] 5. 常规光学薄膜系统设计与分析 ~R?dDL 5.1 减反射薄膜 E"1;i 5.2 分光膜 ul=a\;3x#| 5.3 高反射膜 Sp~Gv>uMK 5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 /yw\(|T t6%xit+ 5.6 负滤光片 h>^jq{yu 5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 ;p#Z :6 5.8 Vstack 薄膜设计示例 X\^& nLa 5.9 Stack 应用范例说明 1[/$ZYk: 6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 y|+~>'^JR 6.1 背景介绍 &Rl3y\
r 6.2 产品特性 `\|3
~_v 6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 -90ZI1O` 6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 X|1_0 6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 zsMw5C 7. 防雾薄膜 jRdhLs,M9 7.1 自清洁效应 ok>P [
&! 7.2 超亲水薄膜 hKH$AEHEU} 7.3 超疏水薄膜 ]~
#+b> 7.4 防雾薄膜的制备 61+pryW%g 7.5 防雾薄膜的性能测试 F'UguC"> 8. 材料管理 3dX=xuQ%/ 8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 Ef_F#X0# 8.2 金属与介质薄膜 (|36!-(iK 8.3 材料模型 ^!o1l-Y^gr 8.4 介质薄膜光学常数的提取 L VU)W^ 8.5 金属薄膜光学常数的提取 (w#slTFT 8.6 基板光学常数的提取 RlslF9f 8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 }KD7 Y 9. 薄膜制备技术 A"BtVy[[9 9.1 常见薄膜制备技术 d#vSE.& 9.2 光学薄膜制备流程 l)i&ATvCE 9.3 淀积技术 1O]5/Eu 9.4 工艺因素 ezg^5o; 10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 0?6If+AC 10.1 光学薄膜监控技术 y=oVUsG 10.2 误差分析与监控决策 Gdf1+mi 10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 %Vw|5yA4 如果您有兴趣,更多课程大纲请扫码加我微信索取[attachment=111540]
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