多层减反膜理论与实测差别较大

设备为德国莱宝加APS离子源，在k9基底上使用sio2和ta2o5设计了可见区+1540nm双波段减反膜，理论上在可见区有三个波峰，且平均剩余反射率小于0.5％，最大峰值0.7％左右，而实际测量曲线与理论相差非常大，波峰为4个，波峰最大值超过2％。sio2和ta2o5折射率以及tooling都校准过了。

ouyuu	2022-02-23 19:22
AR膜好像从来没有和设计一样的。 Ib!rf: 慢慢用模拟软件模拟着修吧。 v\,%)Z/ vc#oALc& 先确定氧是足够的（没有失氧），先修敏感层。 /Ph&:n\4

xiezhizhi	2022-02-28 14:34
同意一楼说法可以用TFC的Interactive Analysis 模拟看看是那一层影响

flyinlove79	2022-04-17 21:41
材料参数偏差、膜厚控制误差、折射率不均匀等都会导致实测曲线和理论曲线间的偏差。

shenhan0701	2022-06-06 22:26
同样的材料，厚度不同，tooling是不一样的，一般来说100nm以下，越薄的层tooling越小，模拟看看吧

f4213705	2022-06-10 15:22
同意一楼说法

奔跑的小骏马	2022-06-21 18:32
模拟确认哪一层或者哪个材料出现偏差了

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