JCMSuite应用—衰减相移掩模

5^"T`,${   在本示例中，模拟了衰减相移掩模。 该掩模将线/空间图案成像到光刻胶中。 掩模的单元格如下图所示： g<,kV(_7   `~zY!sK   m&EJ@ ,H   E;[ANy4L   掩模的基板被具有两个开口的吸收材料所覆盖。在其中一个开口的下方，位于相移区域。 ,2H@xji [   yH\z+A|   由于这个例子是所谓的一维掩模(线/空间模式)，在xy平面中有一个2D仿真域。在源文件中设置3DTo2D = yes标签，以执行用户自定义传入方向的自动转换。启用此标记后，就可以描述传入区域，就好像光轴与Z轴重合一样。这允许统一设置2D和3D的掩模模拟项目。由于光线从基板下方进入，光线的传输方向为+Z方向。 OGgP ~hd   9.F+)y@   相位分布如下图所示： ( Z-~Eh   >"^H"K/T   9$-V/7@)   9cJzL"yi   相移区域的影响清晰可见，导致开口上方光束的180度相位差。同时光场的S和P分量也显示出相位差： i #5rk(^t   3B }Oy$p

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