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大数值孔径显微镜极限分辨率的研究
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infotek
2021-12-27 09:29
大数值孔径显微镜极限分辨率的研究
任务/系统视图
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亮点
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显微镜系统中光栅的全矢量分析
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在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析
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光线追迹和物理光学建模之间的简单切换
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's =Q.s
说明:光源
Dm>T"4B`/
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,@}W@GGP)
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说明:透镜系统
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说明:样品结构
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U,oD44
说明:探测器
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6$W -?
2Som0T<2
结果:3D光线追迹
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结果:光线追迹
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结果:光线追迹衍射级数
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结果:场追迹采样平面
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结果:场追迹焦平面
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结果:减小光栅周期
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随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。
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