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infotek 2021-12-27 09:23

导出制造数据

任务说明 !D~\uW1b  
.-?Txkwb  
4O>0gK{w  
3!Cab/T  
灵活地导出制造数据: q!whWA  
- 平滑的界面 CQh6;[\:  
- 量化界面 A(T=  
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 `(&GLv[i^2  
Sp./*h\}  
亮点 fK; I0J  
 导出各种表面形状的制造数据 (Nn)_caVb  
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 K'zBDrkW-x  
     # |^yWw^  
>d<tcaB  
一般界面的制造数据 TLT6z[  
LR% P\~  
0ra+MQBg  
^Kj xQO6y3  
支持文件格式: d'!abnF[d  
- 纯文本 TSKR~3D#  
- ASCII码 J  7]LMw7  
- 点云 a{+;&j[!  
- CAD格式(例如,STL,IGES) ?a{>QyL  
2^ kK2D$o  
STL导出平滑界面(例如Asphere) G&@vTcF  
M6:$ 0(r  
采样高度剖面的STL导出 K(heeZUt  
)@E'yHYO>  
5Tiap8x+<  
w(UZmZb}  
量化界面的GDSII导出 >+F +"NAN  
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ,Lr}P  
 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 <59G  
+{[E Ow  
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