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infotek 2021-12-27 09:23

导出制造数据

任务说明 WsG"x>1n  
5 ]A$P\7~1  
S,ouj;B  
~N)( ^ 4  
灵活地导出制造数据: OqAh4qa,$  
- 平滑的界面 n23%[#,r  
- 量化界面 }Rf}NWU)|  
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 5i}CzA96  
g] 7{ 5  
亮点 0:7v/S!:  
 导出各种表面形状的制造数据 ]{q- Y<{"  
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 -N /8Ho  
     /h.:br?M#P  
duZ|mT8Q==  
一般界面的制造数据 $9LGdKZ_D  
&etL&s v  
=rf )yp-D  
yBXkN&1=%;  
支持文件格式: F``EARG)iu  
- 纯文本 '7RR2f>V  
- ASCII码 nm{'HH-4  
- 点云 kx;xO>dC  
- CAD格式(例如,STL,IGES)  :V5!C$QV  
k'WS"<-  
STL导出平滑界面(例如Asphere) +j)-L \  
|,M#8NOp:  
采样高度剖面的STL导出 t(uB66(_F  
i"2J5LLv  
F1{?]>G  
2yi*eR  
量化界面的GDSII导出 ]*kP>  
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 =DmPPl{  
 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 )sY$\^'WY  
EA%#/n  
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