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2021-12-27 09:23 |
导出制造数据
任务说明 awj+#^ Cz'xGW{ TK;\_yN `pP9z;/Xq 灵活地导出制造数据: =4frP*H? - 平滑的界面 :D"@6PC] - 量化界面 'R^iKNPs - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 !(kX~S lZ}izl 亮点 GN\8![J 导出各种表面形状的制造数据 i Td-n9 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 #V<`U:. ;EK(b
yB-.sGu 一般界面的制造数据 e{,!|LhpQ $z= 0[%L >j&1?M2C pG0!ALT 支持文件格式: ~k9O5S{ - 纯文本 7<^'DOs - ASCII码 .W!tveX8- - 点云 *Y8XP8u/ - CAD格式(例如,STL,IGES) (FM4 ^#6 M6# \na STL导出平滑界面(例如Asphere) /wr6\53J y&7YJx 采样高度剖面的STL导出 0r1g$mKb m'd^?Qc D^|jZOJ
{5SfE$r 量化界面的GDSII导出 7nm}fT
z7 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。
ir]Mn.(Y 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 hQJo~'W= ?p(kh^ z
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