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2021-12-27 09:23 |
导出制造数据
任务说明 )cJ#-M2 %ysZ5:X o{qr!*_3 %r\n%$@_ 灵活地导出制造数据: {Ro2ouQ!V - 平滑的界面 hwYQGtjF - 量化界面 @$^bMIj@W - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Vv.r8IGYm {$D,?V@%_ 亮点 p9!"O 导出各种表面形状的制造数据 u7%D6W~m0 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Qd _6)M- pIV-kI:w
q%n6K 一般界面的制造数据 Ks^6.) jd]s<C3o 1/1Xk,E {'sY|lou 支持文件格式: :o-,SrORM - 纯文本 EC2+`HJ" - ASCII码 `+'rib5 - 点云 TNCgaTJ{h - CAD格式(例如,STL,IGES)
/tV/85r s4Sd>D7 STL导出平滑界面(例如Asphere) `e9$,h|4 f0<hE2 采样高度剖面的STL导出 .7'kw]{/ +;$oJJ ZUz ^!d
Tus}\0/i> 量化界面的GDSII导出 3!Sp0P 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 !CXt*/~ 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 ~<<nz9}o_ ,fK3ZC
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