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2021-12-27 09:23 |
导出制造数据
任务说明 /4
LR0`A' 51M^yG&M l \^nC2 7Fi2^DlgX 灵活地导出制造数据: zYG,x*IH - 平滑的界面 N.{jM[\F - 量化界面 bLM"t0 - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 CSL{Q ^[,s_34V 亮点 4iv]N 4 导出各种表面形状的制造数据 |^PLZ> 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 WTD49_px ljJz#+H2_
TwuX-b 一般界面的制造数据 ~`\9Q |N$?_<H IjDT'p_ },fo+vRM 支持文件格式: hyOm9WU - 纯文本 =`1m- - ASCII码 U$A7EFK' - 点云 !/nx=vgp - CAD格式(例如,STL,IGES) &=-e`=qJ'6 fNqmTRu STL导出平滑界面(例如Asphere) P YF.#@":& Aa`MK$29F 采样高度剖面的STL导出 TsX+. i' >Qm<-g [{@zb-h
d=?Mj] 量化界面的GDSII导出 !2Y!jz 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 JEsLF{ 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 F:;!)H* whY~=lizn
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