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2021-12-27 09:23 |
导出制造数据
任务说明 | IB4-p l|j}Ggen jt`\n1q) uA;vW\fHr 灵活地导出制造数据: z)F<{]% - 平滑的界面 cH48) - 量化界面 g>pvcf( - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 bmQ-5SE b <z)4 亮点 W,fXHYst 导出各种表面形状的制造数据 Z/G?wD|B 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 t.pn07$ N%Uk/ c'
6-Id{m x 一般界面的制造数据 7CDp$7v2 qAW?\*n5N A-f,&TO YR-Ge 支持文件格式: 0b(x@> - 纯文本 de_%#k1:L - ASCII码 SLU$DW;t - 点云 6wq>&P5 - CAD格式(例如,STL,IGES) )skz_a}]8 %:}o\ _w STL导出平滑界面(例如Asphere) b_Dd$NC * zt?y 采样高度剖面的STL导出 DH Qs_8Df 4o|<zn ]Ns)fr6
d1';d6.u\ 量化界面的GDSII导出 )F_nK f"a 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 }D[j6+E 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 26ae|2?
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