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2021-12-27 09:23 |
导出制造数据
任务说明 "l@~WE 50Jr(OeU< 6x7=0}' 'qD9kJ` 灵活地导出制造数据: i'u;"ot=
- 平滑的界面
*>#cs#) - 量化界面 z&:[.B - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ynd}w
G' H9Z3.F(2 亮点 />oU}m"k 导出各种表面形状的制造数据 Af%?WZlOq 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 eyG.XAP [/kO>
x?F{=\z/o 一般界面的制造数据 %2+]3h>g LH8?0N[ %)e+w+ th<]L<BP/ 支持文件格式: ^
Q}1&w% - 纯文本 -,tYfQ;: - ASCII码 $5o<Mj - 点云 s [!SG`& - CAD格式(例如,STL,IGES) :Ry24X utE:HD.PN STL导出平滑界面(例如Asphere) 9..k/cH Y>%NuL|s 采样高度剖面的STL导出 +OmSR*fA0 5a&wM IO'Q}bU4vs
aVb]H0 量化界面的GDSII导出 4tU~ ^z 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 n\YxRs7
hF 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 Ss:,#| ? `KOW
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