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2021-12-27 09:23 |
导出制造数据
任务说明 !D~\uW1b .-?Txkwb 4O>0gK{w 3!Ca b/T 灵活地导出制造数据: q!whWA - 平滑的界面 CQh6;[\: - 量化界面 A(T= - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 `(&GLv[i^2 Sp./*h\} 亮点 fK;I0J 导出各种表面形状的制造数据 (Nn)_caVb 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 K'zBDrkW-x #|^yWw^
>d<tcaB 一般界面的制造数据 TLT6z[ LR%P\~ 0ra+MQBg ^KjxQO6y3 支持文件格式: d'!abnF[d - 纯文本 TSKR~3D# - ASCII码 J 7]LMw7 - 点云 a{+;&j[! - CAD格式(例如,STL,IGES) ?a{>QyL 2^ kK2D$o STL导出平滑界面(例如Asphere) G&@vTcF M6:$ 0(r 采样高度剖面的STL导出 K(heeZUt )@E'yHYO> 5Tiap8x+<
w(UZmZb} 量化界面的GDSII导出 >+F +"NAN 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ,Lr}P 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 <59G +{[E Ow
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