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2021-12-27 09:23 |
导出制造数据
任务说明 WsG"x>1n 5]A$P\7~1 S,ouj;B ~N)( ^ 4 灵活地导出制造数据: OqAh4qa,$ - 平滑的界面 n23%[#,r - 量化界面 }Rf}NWU)| - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 5i}CzA96 g] 7{5 亮点 0:7v/S!: 导出各种表面形状的制造数据 ]{q-Y<{" 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 -N /8Ho /h.:br?M#P
duZ|mT8Q== 一般界面的制造数据 $9LGdKZ_D &etL&s v =rf)yp-D yBXkN&1=%; 支持文件格式: F``EARG)iu - 纯文本 '7RR2f>V - ASCII码 nm{'HH-4 - 点云 kx;xO>dC - CAD格式(例如,STL,IGES) :V5!C$QV k'WS"<- STL导出平滑界面(例如Asphere) +j)-L \ |,M#8NOp: 采样高度剖面的STL导出 t(uB66(_F i"2J5LLv F1{?]>G
2yi*eR 量化界面的GDSII导出
]*kP> 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 =DmPPl{ 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 )sY$\^'WY EA%#/n
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