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infotek 2021-12-27 09:23

导出制造数据

任务说明 /4 LR0`A'  
51M^yG&M  
l \^nC2  
7Fi2^DlgX  
灵活地导出制造数据: zYG,x*IH  
- 平滑的界面 N.{jM[\F  
- 量化界面 b LM"t0  
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 CSL{Q  
^[,s_34V  
亮点 4iv]N 4  
 导出各种表面形状的制造数据 |^PLZ>  
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 WTD49_px  
     ljJz#+H2_  
TwuX-b  
一般界面的制造数据 ~` \9Q  
|N$?_<H  
IjDT'p_  
}, fo+vRM  
支持文件格式: hyOm9WU  
- 纯文本 =`1m-   
- ASCII码 U$A7EFK'  
- 点云 !/nx=vg p  
- CAD格式(例如,STL,IGES) &=-e`=qJ'6  
fNqmTRu  
STL导出平滑界面(例如Asphere) P YF.#@":&  
Aa`MK$29F  
采样高度剖面的STL导出 TsX+. i'  
>Qm<-g  
[{@zb-h  
d=?Mj]  
量化界面的GDSII导出 !2Y!jz  
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 JEsLF{  
 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 F:;!) H*  
whY~=lizn  
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