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2021-12-27 09:23 |
导出制造数据
任务说明 h#I]gHQK <a$'tw-8 B ez 7 4.i< `' 灵活地导出制造数据: Qj/.x#T - 平滑的界面 >{w"aJ" F - 量化界面 dW2Lvnh!>/ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 x[eho,6) 4qLH3I[Y 亮点 "_36WX 导出各种表面形状的制造数据 p#fV|2'
导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 $_&gT.> HPeN0=7>
c27\S?\
Jd 一般界面的制造数据 s*.&DN Qo \;) FaE,rzn)iD "A%JT3 支持文件格式: *mj3 T
- 纯文本 [%yCnt - ASCII码 y6 _,U/9 - 点云 p7d[)*
L>C - CAD格式(例如,STL,IGES) (cEjC`] m%G:|`f7 STL导出平滑界面(例如Asphere) xr'gi(.o d(8X?k.S 采样高度剖面的STL导出 x$
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Hwm]l`E] 量化界面的GDSII导出 xHY#" 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 bQu1L>c,Uw 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 ~^pV>>LX| f-/zR %s{
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