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hxn123	2021-12-15 23:17
磁控溅射镀膜电子损伤各位大佬，磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛，电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛？

ouyuu	2021-12-16 11:58
是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ !F:mDZeY 有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 $dxA7 `L 有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， !{4'=+ 属于保密范畴，网上是问不到结果的。 ^AShy`o^X

hxn123

2021-12-16 22:20

ouyuu:是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ J>k 6`gw
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 Fc80HK5R
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， m?; ?I]`
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 0WfnX>(C7R
(2021-12-16 11:58) C=|8C70[%N

好滴，谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子，包括二次电子，应该不包括静电。

ouyuu	2021-12-24 11:13
这样…… ).IyjHY 我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 g1?9ge1 氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 *`\|xa@1v` 你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？

hxn123	2021-12-28 23:10
ouyuu:这样…… *!JB^5(H 我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 Dw7Xy}I/ 氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 ;3wO1'= 你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？ (2021-12-24 11:13) rm9>gKN;# 'fGKRd\|) 好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射

ouyuu	2021-12-30 18:55
hxn123:好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10) *j&)=8Y\| j\|wN7@Zc 是的。

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