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hxn123	2021-12-15 23:17
磁控溅射镀膜电子损伤各位大佬，磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛，电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛？

ouyuu	2021-12-16 11:58
是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ mdR:XuRD"t 有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 \zw0*;&U 有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， G0Smss=K 属于保密范畴，网上是问不到结果的。 :O)\v!Z

hxn123

2021-12-16 22:20

ouyuu:是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ Fxdu)F,~u
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 u+UtvzUC
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， xDv$z.=Y
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 DW&%"$2
(2021-12-16 11:58) L|.q19b*

好滴，谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子，包括二次电子，应该不包括静电。

ouyuu	2021-12-24 11:13
这样…… U>?q\|(u 我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 u:AKp<' 氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 Z&9MtpC+N3 你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？

hxn123	2021-12-28 23:10
ouyuu:这样…… ZccQ{$0H 我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 .G-F5`2I 氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 b^ wWg 你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？ (2021-12-24 11:13) 4HXqRFUD eyq\a'tyB 好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射

ouyuu	2021-12-30 18:55
hxn123:好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10) [y^)&L$= O_}ZSB8" 是的。

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