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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 Je+z\eT!5<  
Fmk, "qs  
"wTA9\  
*^Wx=#w$V  
亮点 {KE858  
7 rOziKZ"  
 SV}I+O_w  
%X O97  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） `$7j:<c=  
 严格分析光栅衍射效率 c Q|nL  
 考虑入射光的方向分布 4E}/{1  
NI \jGR.  
说明：光源 kc\^xq~  
G0|j3y9$  
KZ pqbI Z  
~%B^`s  
说明：光束分束器 E=3<F_3W  
A$Mmnu%  
J"L+`i  
9^<t0oY  
说明：检测透镜系统 lzN\~5a}  
&[}b HX /  
r:2G11[  
lO9ML-8C1  
说明：微型晶片 9H$#c_zrq  
ds,NNN<HW  
x-,+skZs  
9"K EHf!  
说明：检测物镜 61HU_!A8S  
UYn5Pix  
De@GNN"-  
0 Ji>dr n  
说明：探测器 +6-c<m|  
a_P8!pk+5  
,&rlt+wE  
(;;%B=  
结果：3D光线追迹（只有0级） R$IxR=hMx  
4R0'$Ld4  
Stq&^S\x69  
L}pMjyM  
结果：3D光线追迹（所有级） 3,=97Si=  
*JDQaWzBd  
kHygif !I4  
$8vZiB!"  
结果：光线追迹 &#^^UT(nj  
j\iE3:94$  
 7v3'JG1r-  
n]^zIe^6  
结果：场追迹 SEa'>UG  
Fcz7   
 hkB/ OJ  
82l$]W4  
结果：线性偏振光的场追迹 GdHFgxI  
jD1/`g%  
2wLnRP`*  
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