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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 \!Wph5wA  
Ru~;awV?  
\B Uno6  
^fEer  
亮点 \GdsQAF"  
6#;u6@+}yy  
 lhBu?q  
~(-df>  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） vduh5.  
 严格分析光栅衍射效率 [l*;+N+  
 考虑入射光的方向分布 Rebo.6rG  
,CP&o  
说明：光源  r<1.'F  
Ol)M0u  
M=sGPPj  
-1%AM40j  
说明：光束分束器 4CK$W` V  
Jl fIYf~  
r:Ok z  
l~n=_R3  
说明：检测透镜系统 k&pV`.Imi  
C[[:/X(c  
>/9Qgyc 0  
;0nL1R]w(  
说明：微型晶片 o(@^V!}V  
W0LJ Xp-v  
0O|l7mCr%I  
4<S=KFT_  
说明：检测物镜 ,H@ x.  
*d}{7UMy#  
la_FZ  
\os"j  
说明：探测器 9D @}(t !  
4Ep6vm X  
7xfN}iHG  
psAr>:\3  
结果：3D光线追迹（只有0级） '&F Pk T:5  
#RWmP$+#=  
MNH-SQB|  
>$_@p(w  
结果：3D光线追迹（所有级） a!mdL|eA@  
VcORRUp  
ngl8) B  
Ta)6ly7'  
结果：光线追迹 gjPbhY=C[  
f=Kt[|%'e  
 43/!pW  
DX<xkS[P  
结果：场追迹 S !R:a>\  
Rqun}v}  
 }EJ't io]  
~uweBp~O  
结果：线性偏振光的场追迹 Wq/0}W.  
&` weW  
.!Q?TSQ+{!  
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