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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 va^0JfQ  
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qp\BV#E  
%lV@:"G  
亮点 rhIGOk1k  
WV2~(/hX&  
 R>*g\}9Zh3  
Q&gPa]z]}  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 847 R   
 严格分析光栅衍射效率 rCE;'? Y  
 考虑入射光的方向分布 TMww  
qC..\{z  
说明：光源 *2=W5LaK.  
{S *!B  
izf~w^/  
7 W{~f?Sh  
说明：光束分束器 S*g`d;8gV  
P_}/#N{C  
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;R!*I%  
说明：检测透镜系统 U{}!y3[wK  
Xem5@ (u  
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]\BUoQ7I/  
说明：微型晶片 ]`d2_mu  
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JOHR mfqR  
`NSy"6{Z  
说明：检测物镜 sPy2/7Wqd  
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.LObOR 5J7  
+]c}rWm  
说明：探测器 On&L#pf  
3Z1OX]R  
-`Q}tg>cT  
7)J6/('  
结果：3D光线追迹（只有0级） vbp-`M(  
%2D17*eK  
x@m<Ym-  
wbi3lH:;  
结果：3D光线追迹（所有级） Qn.[{rw  
$O9Xx  
^=0 $  
)o jDRJ&  
结果：光线追迹 kaQ2A  
b+@D_E-RJ  
 Obo_YE  
ErDL^M-`  
结果：场追迹 @Tr&`Hi  
[N:BM% FQ  
 c@(1:,R  
~+HoSXu@E  
结果：线性偏振光的场追迹 ~;unpym'  
`c(\i$1JY)  
e g3L:rk_  
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