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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 )NCkq~M  
F_C_K"[s  
>@c~M  
Tx\g5rk  
亮点 iHL`r1I!  
B!zqvShF  
 CxRh MhvP  
!_SIq`5]@  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） p7kH"j{xD  
 严格分析光栅衍射效率 l9X\\uG&  
 考虑入射光的方向分布 z^=e3~-J  
Du."O]syD  
说明：光源 KL\]1YX  
sCE2 F_xjL  
e<[0H 8  
/l@h[}g+d-  
说明：光束分束器 gaXKP1m^  
JDy;Jb  
Yab=p 9V;;  
jwd{CN%  
说明：检测透镜系统 xRU ~h Q  
xMAb=87_  
u  t4+c0  
'fkaeFzOl  
说明：微型晶片 5zBayJh#  
:u$+lq  
I{0bs Tp;  
`Ufv,_n  
说明：检测物镜 C5^eD^[c  
g2'Q)w  
Ud8*yB  
(66DKG   
说明：探测器 (&a<6k  
OnKPD=<  
OK^0,0kS3  
']]&<B}mz  
结果：3D光线追迹（只有0级） ,$qqHSd1M  
w>W`8P_b@  
'F[ C 4  
%Fg}"=f1  
结果：3D光线追迹（所有级） X&qa3C})  
X) TUKt  
t9Nu4yl  
 j{;RuNt  
结果：光线追迹 k v}<u  
Iu -CXc  
 .V\ M/q\Tv  
N3`W%ws`~  
结果：场追迹 ,t]qe  
-MqWcB9&  
 F|DKp[<]8  
6^ DsI  
结果：线性偏振光的场追迹 (cj3[qq  
aumXidb S  
9A4h?/  
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