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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 [2*?b/q3J  
_!qi`A  
Pp{Re|.  
h*X5O h6  
亮点 ~<Eu @8+_  
?WEKRl  
 "`6pF8k  
4,g[g#g<q  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） ~<.%sVwE  
 严格分析光栅衍射效率 fYgEiap  
 考虑入射光的方向分布 8'<RPU}M  
AHB_[i'>7  
说明：光源 |K.J@zW  
NCX`-SLv  
ro}WBv  
NflwmMJ  
说明：光束分束器 ;Q.'u  
m#Y[EPF=|  
! (H RP9  
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说明：检测透镜系统 'QOV!D  
q1Sr#h|  
:|&S7 &l]  
)B$Uo,1  
说明：微型晶片 tO}Y=kZa{  
z*ly`-!  
P*!~Z *"  
q9gk:Jt  
说明：检测物镜 +~n"@ /  
!n^7&Y[N;  
5>\Lk>rI  
4R}$P1 E  
说明：探测器 7X{@$>+S  
c&"OhzzJK'  
N2uTWT>  
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结果：3D光线追迹（只有0级） UA3!28Y&E3  
kNg{  
4(mRLr%l@`  
tq.g4X ;_  
结果：3D光线追迹（所有级） O5v~wLx9e  
MA+{7 [  
p)c"xaTP#F  
n2N:rP  
结果：光线追迹 dUc?>#TU  
WR zIK09@  
 /St d6B*  
gg?O0W{  
结果：场追迹 4<btWbk5u*  
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s*tzU.E (  
结果：线性偏振光的场追迹 9jJ:T$}  
i Qa=4'9;  
fX/k;0l  
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