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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 1#tFO  
12]rfd   
d%,@,>>)  
>uLWfk+y1  
亮点 \gCh'3  
@V}!elV  
 6K7DZ96L  
nQ+$  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） `_"loPu  
 严格分析光栅衍射效率 I_k/lwBD  
 考虑入射光的方向分布 '><I|c}  
_9f7@@b  
说明：光源 L$t.$[~L  
A'6-E{  
4$oDq  
|1%eo.  
说明：光束分束器 U%rEW[j  
lJvfgP-j  
0}mVP  
l6T^e@*  
说明：检测透镜系统 vJj}$AlI  
{[ pzqzL6  
XOL_vS24  
B4/\=MXb  
说明：微型晶片 \RS0mb  
Ak kth*p  
kD46Le++B  
&|fPskpy  
说明：检测物镜 U! $/'Xi9  
@6kkt~>:  
 5fq4[a  
dv cLZK  
说明：探测器 \MDhm,H<  
.4J7 ^l  
kO/YO)g  
NT=)</v  
结果：3D光线追迹（只有0级） f"-3'kqo  
}SFmv},Ij  
ThY\K>@]  
14`S9SL{V  
结果：3D光线追迹（所有级） 5SEGV|%  
KFBBqP  
Ca["tks  
 eIj2(q9  
结果：光线追迹 ]tNB^  
;w;+<Rd  
 =4uO"o  
gI/ SA  
结果：场追迹 =5O&4G`}  
kl|m @Nxp  
 rRX F@  
[:/mjO K  
结果：线性偏振光的场追迹 5Mp$u756  
TB_OFbI2  
\I7&F82e  
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