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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 PM7/fv*,  
m.1BLN[9  
F9W5x=EK\  
Q>$L;1E*,  
亮点 ^ BKr0~4A  
9<S-b |!@  
 Dzr5qP?#  
p;Kr664  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） q?&&:.H"?5  
 严格分析光栅衍射效率 7l3q~dQ  
 考虑入射光的方向分布 mGvP9E"&  
:f;|^(]"  
说明：光源 J~.kb k  
@4$E.q<0  
7ZZt|bl  
PAkW[;GSDh  
说明：光束分束器 =Frr#t!(w0  
}q9f,mz  
:xCobMs_/  
BL67sva;  
说明：检测透镜系统 )A%Y wI$  
c&&UT-Z  
&bQ^J%\  
#SueT"F  
说明：微型晶片 whCv9)x  
g 7X>i:  
2+PIZ6=hN  
{NR~>=~K-  
说明：检测物镜 7|rT*-Ia  
pjFgIG2=9  
X!Q"p$D4(  
Gj=il-Po  
说明：探测器 Lrq&k40y  
LKa_ofY  
\X!!(Z;6A  
/hQ!dU.+  
结果：3D光线追迹（只有0级） A\`Uu&  
t&_lpffv  
#'qW?8d}  
RMXP)[  
结果：3D光线追迹（所有级） N5^:2ag  
/NZ R|  
GfDA5v[  
zw?6E8$h  
结果：光线追迹 +Ji dP  
-IE;5f#e  
 X`&E,;bIb  
Gx m"HC  
结果：场追迹 bTj,5,8 i  
5zU$_M  
 @y+Wl*:  
o&=m]hKpQl  
结果：线性偏振光的场追迹 8QU`SoS9  
6*$N@>8&  
ec|IT0;  
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