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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 e4>"92hX  
2d>hi32I  
kX`[Y@nUN  
U?a6D:~G  
亮点 b75 $?_+  
}Z-Z|G)#  
 wI B`%V  
7CXW#H  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） #>=j79~  
 严格分析光栅衍射效率 RwI[R)k  
 考虑入射光的方向分布 gKz(=  
{--0 z3n>  
说明：光源 7{@l%jx][  
uDw.|B2ui  
1NQbl+w#I  
$$APgj"|<  
说明：光束分束器 %p^.|Me7  
@yd4$Mv8%  
x<Vm5j  
M-)R Q-h  
说明：检测透镜系统 5tjP6Z`!9`  
ez]tAW  
b45|vX+j  
7 >iU1zy  
说明：微型晶片 jHN +5=l  
)^||\G  
-=s(l.?Hm5  
o8e?J\?  
说明：检测物镜 qd3Q}Lk  
X@@8"@/u|*  
.itw04Uru  
jZ`;Cy\<B  
说明：探测器 KL$bqgc(p3  
2(5ebe[  
HbP!KVHyk1  
Hbv6_H  
结果：3D光线追迹（只有0级） WJ<^E"^  
`.s({/|[  
u:0aM}9A  
 w 4[{2  
结果：3D光线追迹（所有级） T\~x.aH`^  
9zYVC[o  
4_Dp+^JF  
T~Q JO0  
结果：光线追迹 g&/T*L  
gbVdOm  
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ODZ|bN0>  
结果：场追迹 {(r6e  
7{&|;U  
 =zQN[  
eX@L3BKp  
结果：线性偏振光的场追迹 y;/VB,4V  
w] N!S;<N  
Eke5Nb  
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