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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 v1U?&C  
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%Kh4m7  
%U7.7dSOI;  
亮点 B@Co'DV[/]  
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 ,:Jus  
m8Vdb"0  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） _i_Q?w`  
 严格分析光栅衍射效率 rj ]F87"  
 考虑入射光的方向分布 F~#zxwd  
uhH^>z KA  
说明：光源 !  hd</_#  
!2\ r LN  
-Lu)'+  
SEwku}  
说明：光束分束器 5FVndMM#y  
'XQ`g CF=  
MiT}L  
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说明：检测透镜系统 c:S] R"  
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FLal}80.o:  
2=0DCF;Bv  
说明：微型晶片 M$4k;  
VLsxdwHgb  
_!;Me )C  
kNqS8R|  
说明：检测物镜 _8fr6tO+  
CHd9l]Rbe  
{u{@ jp  
|@?%Ct  
说明：探测器 C`=p +2I]  
_LP/!D  
wHZW `  
I +5)Jau^S  
结果：3D光线追迹（只有0级） I&?Qq k  
B!{d-gb  
AWjJ{#W>9  
g 6]epp[8  
结果：3D光线追迹（所有级） {^CT} \=>  
a8u 9aEB  
&uP~rEJl+  
h1 WT  
结果：光线追迹 @uo ~nFj,  
i| \6JpNA:  
 pY4}>ju(g  
yJuQ8+vgR}  
结果：场追迹 G;> _<22  
w6`9fX6{h  
 Q 4CjA3  
fQrhsuCrC  
结果：线性偏振光的场追迹 ~HQ9i%exg  
R1&unm0  
=b;>?dP  
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