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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 )9V8&,  
M{`uI8vD  
qf B!)Y  
+bcJm  
亮点 MVe4[<  
jH]?vpP  
 |&0Cuwt  
)gKX +'  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） [7=?I.\Cr7  
 严格分析光栅衍射效率 ,gn**E  
 考虑入射光的方向分布 &v&e- |r8;  
43o!Vr/ S  
说明：光源 Y-:dPc{  
z%[^-l-  
>I *uo.OF  
E9PD1ADR  
说明：光束分束器 ?8@EBPpC  
*d,Z ?S/  
};nOG;  
`:;fc  
说明：检测透镜系统 eih~ SBSH  
tLe"i>  
Iq: G9M  
[[vbw)u  
说明：微型晶片 OW1\@CC-69  
,~qjL|9  
]ZM-c~nL  
> R2o7~  
说明：检测物镜 2/#%^,Kb2  
jV|/ C  
-!pg1w06  
?<eH!MHF  
说明：探测器 ttA0* >'  
b0lZb'  
C(lGW,!  
z Ud{9B$  
结果：3D光线追迹（只有0级） / WJ+e  
-4nSiI  
rQ287y{  
6`sS8Ar&u  
结果：3D光线追迹（所有级） =@0/.oSD  
zkmfu~_)  
<B3$ODGJp  
/;a b"b  
结果：光线追迹 )0p7d:%mV  
LKe ~  
 =hDFpb,mr  
`%A>{A"  
结果：场追迹 sj\kp ni  
g|PRk9  
 W<s5rMx  
9a lMC  
结果：线性偏振光的场追迹 7\sRf/  
"`8~qZ7k  
iP^o]4[c  
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