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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 "Wx]RN:  
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TsTPj8GAl[  
"yW:\   
亮点 T1H"\+  
tsk)zP,<  
 ++E3]X|  
~y7jCcd`  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） &4_qF^9J  
 严格分析光栅衍射效率 O+ICol  
 考虑入射光的方向分布 --DoB=5%8  
4f<$4d^md  
说明：光源 4"Hye&O  
k!{p7*0  
#^ ]n0!  
Si~vDQ7"  
说明：光束分束器 QPq7R  
=Qn ;_+Ct  
$cZUM}@  
Lco& Fp  
说明：检测透镜系统 VJS8)oI~  
,GgAsj: K  
'PP#^aI,  
e#k<d-sf6  
说明：微型晶片 wm^J;<T[  
wiBVuj#  
\7*`}&  
jQ)T67  
说明：检测物镜 +}a ]GTBgA  
? C/Te)  
`HBf&Z  
oqeSG.1  
说明：探测器 =yy5D$\  
*Aa?yg:=  
~^cMys |'  
ki)#d' }  
结果：3D光线追迹（只有0级） F_4n^@M  
{,L+1h  
_(KbiEB{  
x|5k<CiA  
结果：3D光线追迹（所有级） ;{[.Zu  
p*P)KP  
k%G1i-] 4  
Ggb5K8D*  
结果：光线追迹 NhYLt w^u  
h3;bxq!q  
 [#sz WNfU  
nt@aYXK4|  
结果：场追迹 9tqF8pb7v  
Xp}Yw"7  
 a.zpp'cEb  
5;{H&O9Q  
结果：线性偏振光的场追迹 n9xAPB }  
,zTy?OQ  
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