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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 >KClH'R2  
*r?51*J  
pTX'5   
HlL@{<  
亮点 x"wM_hl5L  
K7O? {/  
 X.AOp  
SQKY;p  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） U)/Ul>dY  
 严格分析光栅衍射效率 +#I~#CV!  
 考虑入射光的方向分布 W &wDH  
K<L%@[gi  
说明：光源 s^t1PfP(,  
mV(x&`Cx  
5 EuJ  
?a0}^:6  
说明：光束分束器 ty< tv|p  
m',_k Y3  
A-wxf91+:  
5WJkeG ba  
说明：检测透镜系统 \HQb#f,  
"A1yqK  
[;#.DH]  
vzm4  
说明：微型晶片 , sJfMY  
6dy4{i  
8(f0|@x^  
` dUiz5o'  
说明：检测物镜 ~m|?! ]n  
z%dlajY m:  
e(\S,@VN2  
IC-xCzR  
说明：探测器 lg  
H$z+gbjJ  
U1|4vd9  
udy;Odt  
结果：3D光线追迹（只有0级） %dU'$)  
%y\7  
\fR:+rbQ&|  
4$2T zJE  
结果：3D光线追迹（所有级） 2y7q x1$C  
<({eOh5 N  
6Vzc:8o>  
`LU,uz  
结果：光线追迹 : RO:k|g  
!X <n:J  
 !skiD}zd1  
Iw |[*Nu-  
结果：场追迹 e CUcE(  
KdpJ[[Ug/  
 X/7_mU>aKT  
<0 idG  
结果：线性偏振光的场追迹 GWZXRUc  
']Xx#U N  
=<h=">}5'  
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