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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 1-4   
['/;'NhdlY  
%{N>c:2I$  
QBg}2.  
亮点 l*~"5f03  
Na~g*)uT$  
 c2tEz&=G  
zyIza@V(  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） XMjI}SPG  
 严格分析光栅衍射效率 !O 0ZD4/{4  
 考虑入射光的方向分布 $xKg }cO  
bx+(.F  
说明：光源 ~Da >{zHt  
l=Lmr  
VZU Zngw  
6|Ba  
说明：光束分束器 ek Y?  
1C^HCIH7J  
.F{}~K]  
/ig^7+#  
说明：检测透镜系统 T=hm#]   
-~QlHp&SY  
GM34-GH+  
T{5M1r  
说明：微型晶片 |[lxV&SD .  
yb@X*PW/z  
cP}5}+  
GV `idFd  
说明：检测物镜 I v 80,hW  
)?= kb  
AxG?zBTFx  
=RCfibT!C  
说明：探测器 2dp*>F0L  
-jcrXskb&N  
@j)f(Zlu#  
g4BwKENM  
结果：3D光线追迹（只有0级） Z7K!"I  
*g/I&'^  
,d/CU  
\rw'QAi8r  
结果：3D光线追迹（所有级） =CD:.FG.  
$=;bccIob  
!VJT"Ds_  
Zp% ""  
结果：光线追迹 HbJadOK  
m%BMd  
 Q@3ld6y  
$w2[5|^S  
结果：场追迹 DbPBgD>Q  
j,gM+4V^  
 l:kE^=6  
O(c4iWm  
结果：线性偏振光的场追迹 .PA ?N{z  
<+mO$0h"r  
$yR{ZFo  
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