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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 =yz#L@\!  
{QM;%f  
U#Wc!QN-t  
one^XYy1%  
亮点 6@]Xwq  
pyT+ba#  
 lqF{Y<l  
p<Ah50!B  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） )gmDxD ^C  
 严格分析光栅衍射效率 ^R,5T}J.  
 考虑入射光的方向分布 ,b-wo  
5caYA&R  
说明：光源 ngsax1xO  
xGk@BA=0<  
>BrxJw#M  
8!VjXj"  
说明：光束分束器 W ;P1T"*A  
c72Oy+#  
w_KGn17  
a_waLH/  
说明：检测透镜系统 F}H!vh[  
9(ZzwkD'>  
W#u}d2mP  
Ook3B  
说明：微型晶片 !Ya +  
`DG6ollp{  
D4 {gt\V  
tPO.^  
说明：检测物镜 >h[tHM O  
rHT8a^MO  
+A~lPXAXW  
$#]?\psf  
说明：探测器 J:?t.c~$o  
**! lV]/  
P^rSpS9  
X2 M<DeF:  
结果：3D光线追迹（只有0级） 2Mu-c:1  
0a8nBo7A-X  
4TwU0N+>  
)tFFa*Z'  
结果：3D光线追迹（所有级） sn5N9=\+T  
+}mj6I  
^}/YGAA  
a(x[+ El  
结果：光线追迹 Y0s^9?*  
45kMIh~~X  
 T2Y`q'  
OiM{@  
结果：场追迹 ni2H~{]z  
&sS k~:  
 T?AGQcG  
gvoK  
结果：线性偏振光的场追迹 JGj_{|=:  
U?$v 1||  
1 _5[5K^  
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