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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 t4-[Z$ n5  
T6$+hUM$1  
[0("Q;Ec[j  
P@~yx#G  
亮点 X1_5KH  
;5( UzQU  
 V>rU.Mp QU  
=($xG#g`  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 0JujesUw(  
 严格分析光栅衍射效率 buHJB*?9  
 考虑入射光的方向分布 vW@=<aS Z  
<9b &<K:  
说明：光源 P[fq8lDA  
*|HY>U.  
n~Lt\K:  
*lJxH8\  
说明：光束分束器 [()koU#w.  
u9p$YJ  
&5!8F(7  
|;{6& S  
说明：检测透镜系统 >+T)#.wo&  
tfWS)y7  
:[d9tm  
u)Whr@m  
说明：微型晶片 `">=  
`kSZX:=};  
9;If&uM  
iK;XZZ(  
说明：检测物镜 M)(DZ}  
I5W~g.<6  
b\,+f n  
?Z}&EH  
说明：探测器 (**oRwr%  
-$g#I  
%@Jsal'  
g 0E'g  
结果：3D光线追迹（只有0级） gnHbb-<i,  
ksm~<;td  
iU:cW=W|M\  
"ocyK}l.?  
结果：3D光线追迹（所有级） y>ktcuML  
bW:!5"_{H  
y<.5xq5_3  
!p/goqT~dY  
结果：光线追迹 Zb#u0Tq  
@PIp* [7oC  
 NX&_p!_V  
wdoR%b{M  
结果：场追迹 f?)-}\[IR{  
J9 I:Q<;  
 (w zQ2Dk  
H%{+QwzZ[j  
结果：线性偏振光的场追迹 hCo|HB  
 f)<6  
O&hTNIfi  
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