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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 `o/G0~T)  
7q\&  
NZT2ni4  
+g %h,@  
亮点 5&A{IN  
X!H[/b:1O  
 m8M2ka  
UU\wP(f  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） [0c7fH`8V  
 严格分析光栅衍射效率 >-8r|};+  
 考虑入射光的方向分布 D)shWJRlvW  
@}9*rWJIE  
说明：光源 3oD?e  
W5i{W'  
*<r\:g  
X%(1C,C(  
说明：光束分束器 zXX =WH  
*<HA])D,  
JG^fu*K  
Nm {|  
说明：检测透镜系统 iA.:{^_)09  
up_Qv#`Q  
pW4O[v`  
vciO={M  
说明：微型晶片 m8}c(GwcP  
I{nrOb1G(  
813t=A  
B1^9mV'O  
说明：检测物镜 RnV#[bM{  
,I|3.4z  
,"e n7  
gn-@OmIs  
说明：探测器 TmviYP gb  
cG)U01/"  
F)8M9%g5m  
N1D{ %  
结果：3D光线追迹（只有0级） eP(|]Rk  
a~*wZJ  
5,_DM  
S =5br  
结果：3D光线追迹（所有级） 6 uS;H]nd<  
62.)fCQ^  
R6cd;| fan  
'_q&~M{  
结果：光线追迹 ;$.^  
!8Y $}  
 l=&\luNz  
q2+`a;_S  
结果：场追迹 tkIpeL[d  
b?U2g?lN:  
 S^Mx=KJG  
f]4j7K!e]  
结果：线性偏振光的场追迹  u> @@  
<D`VFSEJ  
`g+Kv&546  
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