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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 FByA4VxB  
(b#4Z  
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epGC Ta  
亮点 Msst:}QY  
! z6T_;s  
 F&u)wI'  
h1Nd1h@-   
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） :um]a70  
 严格分析光栅衍射效率 l>*L Am5  
 考虑入射光的方向分布 _~.S~;o!b  
3Q!)bMv \  
说明：光源 XP^[,)E  
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pg.BOz\'q  
HAmAmEc,  
说明：光束分束器 KXT9Wt=  
Y+nk:9  
BF/l#)$yK  
?)O!(=6%'  
说明：检测透镜系统 *X\J[$!  
cq"#[y$r  
U28frRa  
:YCB23368"  
说明：微型晶片 SsCV}[  
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!:3X{)4  
iI Dun Ih  
说明：检测物镜 ")Qhg-l  
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jidRh}>a=  
说明：探测器 s<{) X$  
9>r@wK'Pn  
5S 4 Bz  
M \UB r4  
结果：3D光线追迹（只有0级） 0y`r.)G  
,t +sw4  
B^@X1EE  
x7!gmbMfK'  
结果：3D光线追迹（所有级） gMsB1|  
TjS &V  
R!rj:f!>  
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结果：光线追迹 ?T)M z q}  
'fPDODE  
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结果：场追迹 d}<-G.&_  
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 K(#O@Wmjq  
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结果：线性偏振光的场追迹 RMHJI6?LB  
Zp/$:ny  
5'/ff=  
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