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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 ,#]t$mzbQ(  
!yOeW0/2[  
]@^coj[  
C'A]i5  
亮点 wsU V;S*X%  
Jb["4X;h  
SP]IUdE\  
a4i:|   
 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) m~hoE8C$  
 严格分析光栅衍射效率 nqVZqX@oE  
 考虑入射光的方向分布 w$Ot{i|$(  
f~{}zGTM:  
说明:光源 MZJ]Dwt]  
\C^;k%{LV  
7OCwG~_^  
Xjio Z  
说明:光束分束器 Gfp1mev   
X^9d/}uTa  
E\nv~Y?SG  
Va VN  
说明:检测透镜系统 u{N,Ib 8  
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J[~5U~F  
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说明:微型晶片 !QI\Fz?  
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4_v]O  
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说明:检测物镜 ig LMv+{  
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SUKxkc(  
说明:探测器 7pA /   
>odbOi+X  
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结果:3D光线追迹(只有0级) ,j:|w+l  
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l!}:|N Yh!  
结果:3D光线追迹(所有级) ##Q/I|  
1i:|3PA~  
iy.2A!f^.  
$N :Vo(*  
结果:光线追迹 Y{v(p7pl  
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结果:场追迹 )[mwP.T=  
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PHA-9\jC{  
结果:线性偏振光的场追迹 9% l%  
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