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infotek 2021-12-15 09:36

检查微型晶片的光学系统

任务/系统说明 q#Y%Y  
oDp!^G2A"  
}q-_|(b;  
Qcu1&t\C  
亮点 d$<HMs:o@  
y\Z7]LHCqw  
 _yT Gv-  
l]whL1N3  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） `[V]xP%V  
 严格分析光栅衍射效率 sfez0Uqe.~  
 考虑入射光的方向分布 $b;9oST  
_X{i hf  
说明：光源 //VgPl  
,u|vpN  
^B2>lx\n  
d?_Bll"  
说明：光束分束器 #_{3W-35*  
G S-@drZp_  
0|8c2{9X,  
`,ZsKxI  
说明：检测透镜系统 #KZ6S9>@  
Q9)/INh  
I9Af\ k|^  
4w0 &f  
说明：微型晶片 %fMK^H8{  
!+& "y K@J  
vINm2%*zJ  
zN JK+_O=  
说明：检测物镜 {:c*-+?  
6/B"H#rN  
-Cv:lJj  
<R>qOX8  
说明：探测器 )BudV zg  
$O,$KAC  
;1}~(I#Y  
:.6kXX'~  
结果：3D光线追迹（只有0级） 6sBS;+C  
h9c54Ux  
|xyN#wi  
{E!ie{~  
结果：3D光线追迹（所有级） iZGc'y  
oqOv"yLJ:  
x2+%.$'  
ext`%$ U7  
结果：光线追迹 1pogk0h.:  
#4_'%~-e  
  .BJ;}  
?B@(W(I  
结果：场追迹 *[@lp7  
@U'I_` LL  
 D Cx3_  
L=ZKY  
结果：线性偏振光的场追迹 (1gfb*L  
.ICGGC`O  
x9R_KLN:;  
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