| cyqdesign |
2021-11-30 10:02 |
关于国产光刻机的那段历史
1982年，中科院研制出的KHA-75-1光刻机，和当时最先进的佳能光刻机相比，差距也就在四年左右。可惜后续因为没有投放到商用领域，以及科研经费的不足，为了促活经济，国内开始采购集成电路生产线设备，国产光刻机的研究，无奈进入了停滞状态。 \Yd
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关于KHA-75-1光刻机 52d8EGC
科学院109厂、哈尔滨量具刃具厂、阿城继电器厂共同研制的KHA75-1型接近、接触式半自动光刻机。
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