有些关于蒸镀的不良想请教大家

最近在加工玻璃镜片时出现了很多粒大现象，就是玻璃上伞前无异常，镀膜后表面有小白点，很象是颗粒状的药品直接飞溅上去的感觉，有两台机几乎每伞都有，有时多有时少，但是前两个月基本一个都没的，是什么原因了？主要应从哪些方面去调查呢？请大家指教一下，随便说说没关系。

guou	2007-03-16 10:45
清洗有没问题？

flyinlove79	2007-03-16 17:37
真空室清洗是否干净,材料是否预熔彻底,估计是材料没有预熔好

tamron

2007-03-16 19:02

不是真空室没清干净
该增透膜采用了三种材料。AL2O3，H4，MGF2，其中MGF2 电流45-55-40MA左右，经验者说一般问题发生在MGF2上，预溶大概2分钟左右，如果是预溶问题，可否给个合适的参数来参考一下。如何判定有没预溶好该药品？
电子枪？挡药板？会不会是蒸镀太快了，速度设定在6.0A/S，是用XTC（水晶振动子）控制的

林朝州	2007-03-18 18:04
chamber 用高溫烘烤過,及OK.

tonylxt	2007-03-26 16:43
预熔要透，慢慢增大束流

flyinlove79	2007-03-27 19:55
MgF2只要全部变成液体,并不再放气就可以了.参数各个机器是不一样的,蒸发速率也还可以.

sdye3711	2007-03-29 09:38
估计也是预熔问题 +=jS! 或者电子枪功率太大,或扫射范围有问题

ysc212	2007-03-29 09:48
应该是预熔不彻底造成的，在镀时看材料四周有较多火星射出，即可判定！

szscm2007	2007-06-09 23:41
有两种情况可考虑:1完工取出镜片时若上面有灰点时则为真空室顶不净,有灰掉到镜上面2.若是镜下面有灰点则是镀膜药料问题,有可能预熔时电流控制不当造成药料弹射到镜面(对着蒸发舟的这一面),是否换了新购进的药料,其特性没有掌握,或该批药料不良.

yufe16	2007-07-05 22:20
ＭＧＦ２预熔不好，要熔到没气为止！

dede	2012-02-16 00:29
白点问题是个头痛的问题，各位讲的都有道理，但是。。。。 b%0p<:a/ chamber 用高溫烘烤過,及OK. ，4楼老大能否讲一下原因，以及高温达多少？ `Yw-HL

漂亮的树	2012-07-13 10:45
是膜料的跳点，把功率降低一些

sskcj88	2012-07-13 11:46
路过，学习学习

a060103112	2013-02-27 12:51
反正就是氟化镁的原因

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