紫外光栅偏振片的参数优化
案例315(3.1) u:wijkx 5fmQ+2AC1 该应用案例说明了两个不同紫外光谱偏振片的参数优化,紫外偏振片具有亚波长线栅结构。两个系统具有不同的功能,如193nm工作波长和以及在期望光谱范围内效率的一致性。 Sj8fo^K50 "`a,/h' 1. 线栅偏振片的原理 RYl\Q,# |0_5iFAB|
带金属脊的线栅偏振片(如铝,铬等)。 s]D1s%Mx 2. 建模任务 YelF)Na l)EtK&er(} )M7~RN 全部透射光线的严格仿真和结构参数的优化。 @TzUcE 偏振元件的重要特性: /}CAd 偏振对比度 s)sT\crP@ 透射率 ;L%\[H>G 效率一致性 D@@"w+ 线格结构的应用(金属) Jt?`(H @?0))@kPc3 3. 建模任务: ,E+\SBQS_
x-z方向(截面) x-y方向(俯视图) A43[i@o 4. 建模任务:仿真参数 FEV Ya#S D<*)^^ 偏振片#1: /}5)[9GC 偏振对比度不小于50@193nm波长 -Gm}i8; 高透过率(最大化) #!r>3W& 光栅周期:100nm(根据加工工艺) VZ9`Kbu 光栅材料:钨(适用于紫外波段) 4#ifm# 偏振片#2: 9.6ni1a' 偏振对比度不小于50@300—400nm波段范围内 Y"m}=\4{ 在波长范围内具有5%一致性的高透过率 ,z+n@sUR: 光栅周期:100nm w`zS`+4 光栅材料:钨 xBqZ:
BQ 91k-os(4] 5. 偏振片特性 gf/<sH2} C7&L9k~jf 偏振对比度:(要求至少50:1) tS,AS,vy] =%b1EYk
z07:E>D] (Q.I DDlr 一致性误差,如Ex的透射(在要求波长范围内不超过5%) \GGyz{i 1XHE:0!dQ
~O3VX75f JPg^h 6. 二维光栅结构的建模 %V#? 1{ UcB2Aauji h6;zAM} 该案例使用一般二维光栅工具,该工具嵌入在VirtualLab光栅工具箱。 J d,9<m$ 通过使用该功能可处理不同类型的光栅形状。 RXO5pd 通过一个矩形光栅结构来模拟紫外线栅偏振片。 TR'_v[uK3 -L
wz
T
(:}}p}u OM@z5UP 7. 偏振敏感光栅的分析 3u,B< 9]I{GyH 可通过“偏振分析器”对偏振敏感光栅进行分析,该工具是VirtualLab光栅工具箱的一部分。 Bc< |