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infotek 2021-11-25 09:20

光栅结构中场分布的严格分析

该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 ) L{Tn 8  
Q#g s)2  
1. 建模任务1:金属光栅 0`ib_&yI  
wc,y+C#V  
q-8  GD7  
 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 5^d%+*l;q  
 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 ;Ok11wOw  
#uXOyiE  
2. 建模任务2:介质光栅 r 2H'r ,N  
#/jHnRrQ   
 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ~IWi @m{  
 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 bL[PNUG  
R&alq  
3. 建模任务
"4?hK  
\qTNWA #'  
u('OHPqq  
 VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 c,~44Z  
 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 8\V-aow  
 场分布计算能够检测结构内部的热点 P`%ppkzV6  
BA>0 +  
4. TE和TM照明线性光栅
lb6s3b  
{oJa8~P  
5. 铬狭缝的分析 +|8Lt[^ux  
BxT~1SBFq  
?rK%;GTo  
 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 JWn{nJ$]  
 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 `i:0dVs  
 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 .6;B3  
 红线说明了结构的形状(手动添加) SmLYxH3F  
|zT0g]WH  
6. 三角光栅的分析
D8#q.OR]  
 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 ]`kvq0Gyb  
[:=[QlvV  
Kk(ucO  
 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 GJuD :  
 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 /uc/x+(_  
 红线说明了结构的形状(手动添加)。
&B85;  
 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 C/vLEpP{(/  
;' W5|.ZN  
 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 A X#!9-m3  
Zll^tF#  
7. 总结 >V$#Um?AXj  
W.R'2R#  
 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 stG&(M  
 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 8WGM%n#q  
 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 3d<HIG^W}  
 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
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