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2021-11-25 09:20 |
光栅结构中场分布的严格分析
该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 O JZ!|J8? a7QlU=\ 1. 建模任务1:金属光栅 AlPL;^Y_l f 3nnXE" ~EM#Hc, 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 4<=eK7;XR 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 KUl
Zk^a N[|by}@n 2. 建模任务2:介质光栅 5#9`ROT9 b AA'=z< 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 n?TO!5RZK 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 $i1>?pb3 ,*9#c*'S 3. 建模任务 <8F->k1"3 _*OaiEL+: Zq2H9^![y~ VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 E
6>1Fm8%V 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 $6Q2)^LJ 场分布计算能够检测结构内部的热点 E-*>f"<h `Z;B^Y0 4. TE和TM照明线性光栅 0C4*F K-g=td/@ 5. 铬狭缝的分析 MSxU>FX0 rm7*l<v6 VfJX<e=k 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 Q rrZF. 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 (o6A?37i 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 =6"hj,[Q 红线说明了结构的形状(手动添加) UC?2mdLt^ 3!ajvSOI9j 6. 三角光栅的分析 AR[M8RA 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 A_X^k|)T ]ci|$@V L@^!( 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 {kY`X[fvZ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 $AL|d[[T[ 红线说明了结构的形状(手动添加)。 U3VsMV*Y 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 6832N3= D%5 {A= 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 B4M'Er{v [8om9 Z3 7. 总结 0zq\ j s]V{}bY` VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 U8.0 L 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 lzQ&)7` 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 @N:3`[oB 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
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