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2021-11-25 09:20 |
光栅结构中场分布的严格分析
该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 J~UuS+Ufv X*Prl l( 1. 建模任务1:金属光栅 p"ZG%Ow5Q] v-_e)m^ n#OB%@]<V 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 <<R*2b 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 V%
6I\G2/: KNIn:K^/ 2. 建模任务2:介质光栅 Da&]y 3x'|]Ns 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 C&rkvM8 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 ?oHpFlj o$lM$E: 3. 建模任务 d,n 'n Y#P%6Fy g~A`N=r;h VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 (jl
D+Y_ 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 @'!SN\?W8 场分布计算能够检测结构内部的热点 I75DUJqy] czRFMYE 4. TE和TM照明线性光栅 76h ,]xi
u frL<]A 5. 铬狭缝的分析 l#Y,R 0 e [mm Q:k}Jl 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 'op|B@y 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 8i#2d1O 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 p xa*'h"b^ 红线说明了结构的形状(手动添加) 9H`XeQ. *]/zc1Q4M 6. 三角光栅的分析 G^4hd i3@ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 GM f
`A,> MXNFlP V7fq4O^: 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 DKJmTH]rUg 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 A1>OY^p3% 红线说明了结构的形状(手动添加)。 hAnPXiD 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 G.a b ql N.{H,oO ` 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 ;LSANr& EC!02S 7. 总结 Hp!-248 S EGU
0)< VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 W^LY'ypT 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 Z!zF\<r 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 BdblLUGK# 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
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