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2021-11-25 09:20 |
光栅结构中场分布的严格分析
该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 gSz<K.CT ->8Kd1^F 1. 建模任务1:金属光栅 "`$,qvNN L~Gr,i C9!t&<\} 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 m&:&z7^p 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 ) *~A|[ 5To@d|{ 2. 建模任务2:介质光栅 eQuu\/z*H fQJ`&9m*BF 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ^#HaH 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 >fH0>W+! >R+-mP!nj 3. 建模任务 *siX:?l @>)VQf8s1 \Ii{sn9 VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 K(EJ`2]:r 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 >}+{;d 场分布计算能够检测结构内部的热点 jE\G_> gV2vwe 4. TE和TM照明线性光栅 "do5@$p| Mg;pNK\n 5. 铬狭缝的分析 rwRZGd *p }QFL |U%NPw5 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 T$5wH )< 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 2d D"^z{ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 ~#r>@C 红线说明了结构的形状(手动添加) A2|Bbqd @dWA1tM 6. 三角光栅的分析 0D(8-H 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 rNP;53FtZl EYT^*1,E* j&8YE7 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 j3Od7bBS] 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 5 pCicwea# 红线说明了结构的形状(手动添加)。 -9b=-K.y 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 'Z{`P0/^o` &}"kF\ 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 h`&TDB2 N]P~`) 7. 总结 T3wTMbZ!VK 2(eO5.FYF VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 <Wn~s= 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 o?baiOkH 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 Y25`vE( 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
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