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2021-11-12 09:39 |
F-Theta物镜激光扫描系统的性能分析
激光扫描系统(LSC.0002 v1.0) c=+%][21 #&)H&H} 应用案例概述 AP%R*0] 7~+Fec`Ut* 系统细节 Pl/Xh03E ByP<-Deh 光源 M`K]g&57hL – 绿光二极管 ,Tar?&C: 元件 ~vt*%GN3 – 双轴振镜扫描仪 ]wDqdD y7S – F-Theta物镜 tnUfi8\ob 探测器 67&IaDts – 场曲和畸变探测器 zZPWE"u} – 光束强度剖面探测器 u-&V | |