| jorrnii |
2007-03-12 23:25 |
请教大家一个光学镀膜的问题
本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 Le,+ jm
*
V ymb
在PMMA上镀CR3C2 =5M
'+>
通的气体是AR,C2H2 $)7Af6x D
分光:75%`T `,6^eLU
不导电\ [&{NgUgu"
黑色 4?~Ei[KgQn
机器:磁控溅射 fU4{4M+9"
$+HS^m
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50
58/ \
但做出来不是黑色,而是黄棕色, A
Zv| |8p
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? _P{v=`]Eu
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? DZX4c 2J
_2Fa .gi
谢谢!!
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