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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 请教大家一个光学镀膜的问题 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

jorrnii 2007-03-12 23:25

请教大家一个光学镀膜的问题

本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 M- A}(r +J  
F'Vl\qPt  
在PMMA上镀CR3C2 =f|a?j,f~  
通的气体是AR,C2H2 *a.*Ha  
分光:75%`T u{ d`  
不导电\ -JQg{A  
黑色 \5_^P{p7<  
机器:磁控溅射 HK.J/Zr  
1W7BN~p14  
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 I(S6DkU  
但做出来不是黑色,而是黄棕色, }e@-[RJ!  
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? |`/uS;O  
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? q,Q|Uvpk  
v%Xe)D   
谢谢!!
wangxingyu 2007-05-16 19:14
  CR3C2请问
hucanxin 2007-05-25 05:30
加大C2H2的量怎么样
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