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jorrnii 2007-03-12 23:25

请教大家一个光学镀膜的问题

本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 i1H\#;`$  
mPI8_5V8]  
在PMMA上镀CR3C2 G!K]W:m  
通的气体是AR,C2H2 3"o"fl  
分光:75%`T }cT_qqw(f%  
不导电\ >e\9Bf_  
黑色 xX*H7#  
机器:磁控溅射 =t6z \WB  
t]7&\ihZi~  
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 X[f=h=|  
但做出来不是黑色,而是黄棕色, 2M# r]  
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? V&-~x^JK  
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? /pF `8$  
sR/b$j>i3  
谢谢!!
wangxingyu 2007-05-16 19:14
  CR3C2请问
hucanxin 2007-05-25 05:30
加大C2H2的量怎么样
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