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光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 请教大家一个光学镀膜的问题 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

jorrnii 2007-03-12 23:25

请教大家一个光学镀膜的问题

本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 4bjp*1*]  
_N#3lU?  
在PMMA上镀CR3C2 ;Sl0kSu  
通的气体是AR,C2H2 #$rT 4N c;  
分光:75%`T GoA>sK  
不导电\ 5va&N<U  
黑色 V>j`  
机器:磁控溅射 ;mKU>F<V  
ew ,edU  
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 9NXiCP9A  
但做出来不是黑色,而是黄棕色, )7mJ+d[  
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? ,$ret@.H  
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? *(.^$Iq4  
Dk6\p~q  
谢谢!!
wangxingyu 2007-05-16 19:14
  CR3C2请问
hucanxin 2007-05-25 05:30
加大C2H2的量怎么样
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