| jorrnii |
2007-03-12 23:25 |
请教大家一个光学镀膜的问题
本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 w9h5f
4'e8VI0
在PMMA上镀CR3C2 G
U/k^ Qy
通的气体是AR,C2H2 ju 6_L<
分光:75%`T ^ x#RUv
不导电\ 8o!^ZOmU<
黑色 w3hL.Z,kV
机器:磁控溅射 g5H qU2
KFrmH
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 !a&F:Fbm
但做出来不是黑色,而是黄棕色, {oC 69n:
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? P+l^ Ep8P
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? ^]K)V
87* [o
谢谢!!
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