利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 F(T=WR].o ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 cFRSd
}p= ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 1i5 vW- '4 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 d [\>'> B$K7L'e+- 2. 系统 38"8,k 6b-
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd 3m-edpH 3. 透镜系统组件编辑 w:m'uB%W OwNA N ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 #]?,gwvTf ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 >g5T;NgH9 ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 K?z*3^^X; ■ 包括序列光学表面和光学介质。 k$9Gn9L% @"q~AY d/0/$Bz}P 4. 光线追迹系统分析器-选项 &M!4]pow yC9:sQ'k MuCQxzvkhf ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 I T*fjUY& ■ 可以选择选取光线的方法: 2jI4V;H8g — 在x-y-网格 /ChJ~g " — 六边形 t9KH|y — 自由选取 ,U|u-.~ZU ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o`<h=+a\ o'x_g^ Y 5. 系统的3维视图 -L^0-g w\0Oz?N
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>y 6. 其他系统参数 i~v@ ■ 系统由单色平面波照明 "k>{b:R| ■ 照明波长266.08nm w]]x[D]L ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 9m<X-B&P — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Vp- n(Z — 一个虚拟屏位于焦平面 S>/I?(J — 光束尺寸探测器置于焦平面 (P]^8qc ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Og&0Z)% b&U5VA0=1 d\1:1ucV [T$$od[. S 2{ ?W 7. 光线追迹系统分析器的结果 ?z4uze1 ByB0>G''.
光线经过整个光学系统的三维视图 ,b2O^tJF#
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) h0y\,iWXb 'vf,T4uQ" ey9fbS ^I e>)}_b i?P]}JENM -\sKSY5{R 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 g,z&{pZch &CPe$'FYI %(O^as ■ VirtualLab可用于计算点列图。 \8C*O{w ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 o/i5e=9[y ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 '3Lx!pMhN ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 w
oY)G7% a*$1la'Uf 9. 焦平面上的结果 v J,xz*rc` ;4O;74`Zh `rOe5Zp$ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 `OF;>u*:
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 {?h6*>-^Z ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
onS{ ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ,XF6Xsg2 ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 :67d>wb ggYIq*4 10. 总结 'amex ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 w4&v( m ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 U:5*i ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 *FG4!~<e ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ud~VQXZo
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