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infotek 2021-10-22 13:23

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

1. 描述 v t_lM  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 +<T361eyY  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 $ba*=/{[q  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 :sS4T&@1=  
"sSY[6Kp!  
2. 系统 vkLKzsN' ]  
V 7oE\cxr  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
I.gF38Mx  
3. 透镜系统组件编辑 WR9-HPF  
Ou_2UT  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 (sW$2a  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 1j]vJ4R_\  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8]i7 wq#=  
包括序列光学表面和光学介质。 #~o<9O  
E#E&z(G2  
D/ tCB-+  
4. 光线追迹系统分析器-选项 C1uV7t*\  
K1=j7  
z:8ieJ)C  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ]*X z~Ox2  
可以选择选取光线的方法: l>T]Y  
— 在x-y-网格 n0FzDQt26  
— 六边形 \bies1TBB^  
— 自由选取 OWp`Wat  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
,:{+-v(  
B2:GGZ|jS  
5. 系统的3维视图 e F(oHn,  
dn&4 84  
_&M^}||UH  
6. 其他系统参数 R"{P#U,HNO  
系统由单色平面波照明 ezA&cZ5  
照明波长266.08nm g^{a;=  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: \.?' y71  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 jFl!<ooCo  
— 一个虚拟屏位于焦平面 Rw<O%i5/d  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 ~ %Ij5PD  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 y~z&8XrH  
 O[$XgPM  
hG}gKs  
u p]>UX8  
[[O4_)?el  
7. 光线追迹系统分析器的结果 }&]T0U`@  
vCn~- Q  
光线经过整个光学系统的三维视图
j>5X^Jd  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
hb(H-`16  
)K]<\Q[  
|+Xh ^E  
NAO0b5-h  
k&:~l@?O  
h(i_'P?  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $,o@&QT?AT  
#+ {%>f  
6%V#_]  
VirtualLab可用于计算点列图。 HP=5 a.  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 M 9 N'Hk=  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 +E+I.}sOB  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Z ?ATWCa  
[KMS/'; ]  
9. 焦平面上的结果 QrLXAK\5  
bV:MOj^  
g(R!M0hdF  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 q8& ^E.K  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !,~C  
焦平面上的光斑尺寸为183mm lr[&*v?h  
此外,背景颜色也可以预先设置。 t'DIKug&  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
Mn*5oH  
0xV[C4E[6  
10. 总结 {DX1/49  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;I>77gi`]  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 jF{)2|5  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Pu}PE-b  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 UdFYG^i  
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