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infotek 2021-10-22 13:23

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

1. 描述 65@GXn[W_  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 :T PG~`k(  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 >cjxu9Vr1K  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7}\AhQ, S  
&<#1G u_  
2. 系统 HL[V}m  
Ie Chz d  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
wp8-(E^  
3. 透镜系统组件编辑 MW^FY4V1m  
(?uK  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ?5Z-w  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Bk.`G)t  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |9 *$6Y  
包括序列光学表面和光学介质。 8Dxg6>  
<MO40MP  
OmK0-fa/  
4. 光线追迹系统分析器-选项 ^cW{%R>XY  
/;Cx|\  
Z$Ps_Ik  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ;CL^2{  
可以选择选取光线的方法: nf _(_O=  
— 在x-y-网格 ZFX}=?+  
— 六边形 j _E(h.  
— 自由选取 >4>. Ycp  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
-"^"& )  
R. ryy  
5. 系统的3维视图 )"P.n-aF  
_6nza)OFH  
ByWad@-6i  
6. 其他系统参数 e6gj'GmY  
系统由单色平面波照明 R 'mlKe x  
照明波长266.08nm >i1wB!gc8  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: *"/BD=INv}  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |QH )A  
— 一个虚拟屏位于焦平面 :/Y4I)'  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 fB; o3!y  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ^CDh! )  
u4=ulgi  
8fWnKWbbjw  
^=cX L  
/oM&29 jy  
7. 光线追迹系统分析器的结果 @M }`nKXM  
.d)H2X  
光线经过整个光学系统的三维视图
\=W t{  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
ok&v+A  
H:1F=$0I9  
N~yGtnW  
-cXVkH{  
rPW 9lG  
P/9|mYmsq  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 79lG~BGE  
<l9qhqHv&  
b{e|~v6&  
VirtualLab可用于计算点列图。 vs.}Bou]  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 g'eJN  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 6ozBU^n  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 UB;~Rf(.  
Zf\It<zT5  
9. 焦平面上的结果 9VTE?,  
Q F_K^(  
MES|iB  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 w\.z-6G  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 @2$iFZq~  
焦平面上的光斑尺寸为183mm j7&0ckN&G  
此外,背景颜色也可以预先设置。 b(g?X ( &  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
2ld0w=?+eu  
kmL~H1qd  
10. 总结 0 .t1p(x;  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 fNi_C"<  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Uefw  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 VrRBwvp-K  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 h|=&a0  
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