利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 `YIpZ
rB ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 m!!uf/ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 H|75, !< ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 i[WTp??Uv 0'aZ*ozk 2. 系统 X~n Kuo *|hICTWL
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd nD E5A 3. 透镜系统组件编辑 8Ck:c45v zBqr15 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 @HaWd3 ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 p2w/jJMD ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !4-NbtT ■ 包括序列光学表面和光学介质。 QWfwoe&;R: tA'i-D& I"Y?vj9] 4. 光线追迹系统分析器-选项 >TK`s@jdSV IKAF%0[R|j ka"jv"z ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 yh lZdF ■ 可以选择选取光线的方法:
O `rrg~6# — 在x-y-网格 Ntg#-_] — 六边形 pOw4H67 — 自由选取 +ZGOv,l ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 z?FZu,h} d p_J*8 5. 系统的3维视图 :n>:*e@w% b%T-nY2
hq\KSFP 6. 其他系统参数 .r]n< ■ 系统由单色平面波照明 \h_hd%'G ■ 照明波长266.08nm qfN<w&P ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 6S]GSS< — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 &[JI L=m5 — 一个虚拟屏位于焦平面 4Mg09 — 光束尺寸探测器置于焦平面 "eGS~-DVK ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 x"U/M?l 4zfgtg( [xM07%: pmHd1 Wub t_P1a0Zu 7. 光线追迹系统分析器的结果 5F&i/8Ib s7df<dBC
光线经过整个光学系统的三维视图 7B+?1E(
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) ^<sX^V+{ 6o6!Ol 'KyT]OObS 1NJ*EzJ~? nLT]'B]$+ 2NE/ZqREg 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 #v~zf@<KLB 8> O'_6Joj :UFf6T? ■ VirtualLab可用于计算点列图。 \^':(Gu4o ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 '!IX;OSjH ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 bFJmXx& ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 y~U+MtSf# )?Jj#HtW 9. 焦平面上的结果 9H P)@66 vR+(7^Yy ho^1T3 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {"4t`dM ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 mb\vHu*53 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm I|iI
,l/9 ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 {SK8Mdn ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 [-Q"A
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MtXr 10. 总结 oJXZ}>>iT ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 x1A^QIuxO ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 =X+DC&]%! ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 +R#*eo;o7 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 4p %`Lv
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