利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 A>L(#lz#ek ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Vvx(7p-GQ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 6RZ[X[R[} ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 |Sg *j-. f}4c#x 2. 系统 )!dELS\ix S&-sl
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd Ja-D}|; 3. 透镜系统组件编辑 T4
SByX9 81a&99k# ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 3w )S=4lB ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 cFLu+4.jsG ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 SX}GKu ■ 包括序列光学表面和光学介质。 |xzqYu?o v >3ctP{ I#l9 4. 光线追迹系统分析器-选项 {s8''+Q#(- #)R;6" }jU{RR%6B ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 #py7emu ■ 可以选择选取光线的方法: gx[#@( — 在x-y-网格 z@y*
jT — 六边形 cXJgdBwo — 自由选取 |
7>1) ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 af{;4Cr 7\ff=L-b 5. 系统的3维视图 ;$i9gP[|m mC~W/KReA
9+QLcb 6. 其他系统参数 Cu;X{F'H ■ 系统由单色平面波照明 Op3 IL/ ■ 照明波长266.08nm j<deTK;. ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: @7lZ{jV$ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 81W})q8 — 一个虚拟屏位于焦平面 $
O!f*lG — 光束尺寸探测器置于焦平面 &s/aJgJhp ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 SATZ! RAE|eTnna 6lT'%ho}B dc&Qi_W SO p%{b 7. 光线追迹系统分析器的结果 {OAy@6
+ n^Z?u9VR
光线经过整个光学系统的三维视图 c<&+[{|
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) =As'vt
0 SgXXitg9+ M~662]Ekk ?7&VT1 '&<-,1^L ZQBo|8* 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 N=I5MQG R:.7c(s /@#)j(
eY/ ■ VirtualLab可用于计算点列图。 .j&jf^a5 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 RM<\bZPc ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 iBUf1v ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 =m/2)R{ !d(!1fC 9. 焦平面上的结果 D 0n2r r kD4}jV t*}<v@, ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 d'3'{C|kk ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 BK /;HG ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm RmNF]"3% ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 rz7yAm ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
Osy5|Ts >8AtT=}w 10. 总结 *E.
2R{ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 gSe{S ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 to?"{ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 +?@qux! ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 s+CXKb +
|