利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 u1<kdTxA
N ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 <'33!8
G ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 p {3|W< ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 XzsK^E0R K2Zy6lGOZ 2. 系统 s<]l[Y> u{ /gjv
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
VVY\W! 3. 透镜系统组件编辑 D%v yO_k =c'LG ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Fjb[Ev ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ?9A[;j|a0 ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )
|a5Qxz ■ 包括序列光学表面和光学介质。 +/tD$ ,zaveQ~l LX'US-B.! 4. 光线追迹系统分析器-选项 ^xrR3m*d )9O{4PbU! KNhH4K2iP8 ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 P@#6.Bb#V ■ 可以选择选取光线的方法: rO GJ%|%( — 在x-y-网格 LtBH4A — 六边形 pV8,b — 自由选取 }2S \- ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 }{"\"Bn_ hAdEq$ 5. 系统的3维视图 D~} 4N1 bUNp>H>L
Jo ^o`9 6. 其他系统参数 j&9~OXYv ■ 系统由单色平面波照明 g@L4G?hLn ■ 照明波长266.08nm 57r)&8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ]jYM;e — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2StpcAlU} — 一个虚拟屏位于焦平面 Hw
I s7 — 光束尺寸探测器置于焦平面 tznT*EQr ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 IP3-lru iu .{L(m Jz6PqU|= b8Qm4 b?:4 @?U5t1O< 7. 光线追迹系统分析器的结果 uH#NJoRO HFazqQ[
光线经过整个光学系统的三维视图 WBGYk);
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) {BF\G%v;+ @fwU%S[v -:QyWw/d
1Sy#* vR,'': y.Py>GJJ1S 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~gf$ L9 R[(,wY_1 {:Q2Itsy ■ VirtualLab可用于计算点列图。 =YBJ7.Y ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ^$(|(N[; ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 km^AX:r1 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 $2.DZ i0P+,U 9. 焦平面上的结果 iw{n|&Y#` }MX`WW0\]Z ~^eAS; ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Wi[Y@ ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 X}ZOjX! ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Kk,->q<1 ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Bw$-*FYE ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 'D4NPG`z 4Vs;Y&t] 10. 总结 @6E[K'5c1 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 zb<+x(0y" ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 %tMfOW ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 IH0Uq_ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 0K!9MDT}*
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