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infotek 2021-10-22 13:23

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

1. 描述 !Kv@\4  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 vVE7fq3  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 'TA UE{{  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 oTT7M`P3h  
p6vKoI#T  
2. 系统 3"{.37Q  
++DG5`  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
mg, j:,  
3. 透镜系统组件编辑 5^j45'%I  
D0BI5q  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 asC_$tsMe  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }mZwd_cK  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 aj}(E +  
包括序列光学表面和光学介质。 gR@C0  
%e@#ux m  
~.!c~fke  
4. 光线追迹系统分析器-选项 `~cuQ<3Tn  
*cO sv  
Ka`=WeJ|  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *@TZ+{t  
可以选择选取光线的方法: Dwl3 Cj  
— 在x-y-网格 mJM _2Ab  
— 六边形 +[xnZ$Iev  
— 自由选取 CSCN['x  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
r0m*5rd1  
&Ni`e<mP  
5. 系统的3维视图  ;vb8G$  
)TmHhNo  
'fL"txW  
6. 其他系统参数 C2{lf^9:&  
系统由单色平面波照明 FW.$5*f='  
照明波长266.08nm )+Oujt  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: nF5qw>t#  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 3 LdQ]S  
— 一个虚拟屏位于焦平面 5 B=^v#m  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 P/`I.p;  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 p7H3J?`w1+  
CpQN,-4  
<?D\+khlq  
qn,O40/]  
MJ=)v]a  
7. 光线追迹系统分析器的结果 t R6 +G  
XerbUkZ  
光线经过整个光学系统的三维视图
>*wtbkU  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
z(\4 M==2O  
?,yj")+  
lHV[Ln`\x  
)3(;tT,$}^  
#);[mW{F  
c=AOkX3UD  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 mYU9 trHV  
wR{'y)$  
6K-5g/hL  
VirtualLab可用于计算点列图。 RQFI'@Ks  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 _`#3f1F@[  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [V 8{b{  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 aTzjm`F0  
xTGxvGv8  
9. 焦平面上的结果 @JW@-9/  
fQP{|+4  
B&N/$= 5m  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Z;h<6[(  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 s{w[b\rA  
焦平面上的光斑尺寸为183mm +t2SzQ j>  
此外,背景颜色也可以预先设置。 i>[_r,-\[  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
mE^o-9/  
j:w{;(1=W  
10. 总结 +78CvjG  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <40rYr$/J  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 TO-$B8*nq  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 +1~Z#^{&  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 fBQ?|~:n  
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