利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 "44X'G8N ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 qzH97<M}T ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 rVO+
vhih ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ]02V,'x [`:\(( 8 2. 系统 a7CJ~8-1K ?$gEX@5h
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd y@(U6ZOyx 3. 透镜系统组件编辑 4u;W1=+Vn 6dNo!$C^ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Z$@Juv&>5^ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ?>w%Lg{L} ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ,,6e }o6 ■ 包括序列光学表面和光学介质。 )cvC9gt VMNihx0FJ L-Hl.UV 4. 光线追迹系统分析器-选项 {:? -)Xq S4\T ( [3\}Ca1 ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 #]C r
zLe ■ 可以选择选取光线的方法: a~{mRh — 在x-y-网格 9iv!+(ni — 六边形 3cs'Oz<w — 自由选取 , n+dB2\ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 KI#hII[Q. BO1Mz=q 5. 系统的3维视图 @NNN&% [WB8X,
)Z]8SED 6. 其他系统参数 x&7!m
■ 系统由单色平面波照明 1|Fukx<@J< ■ 照明波长266.08nm MN#\P1 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: p(
z.[ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 0uj3kr?cv — 一个虚拟屏位于焦平面 b>o38( — 光束尺寸探测器置于焦平面 $cYh X^YG. ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 O* 7"Q& Xp%JPI { X)'uTf0 tQ*5[F,fm }PoB`H'K5 7. 光线追迹系统分析器的结果 ] @IzJz"R Y>IEB,w
光线经过整个光学系统的三维视图 sqsBGFeG
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) eM{+R^8 }2G'3msx l.FkX 0*+i~g,Kl@ V+DN<F- $2\OBc= 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 }]/"auk hX<0{pXM4 N U\B ■ VirtualLab可用于计算点列图。 meE&, { ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 q.~_vS% ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 (rvK@ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 s:6H^DQ"C l&[ x)W 9. 焦平面上的结果 (Y:5u}*Y r
5:DIA! ;QS-a ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 h>q&X4- ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 {}~7Gi! ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm a!]'S4JS ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 RYy_Ppn96f ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 AYfW}V" P @G2F:} 10. 总结 5hg:@i',
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 G
D$o|l]\ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 j0>Q:hn ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 }[\l$sS ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 8.bdN]zn
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