利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 65@GXn[W_ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 :T PG~`k( ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 >cjxu9Vr1K ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7}\AhQ, S &<#1G
u_ 2. 系统 HL[V}m IeChz d
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd wp8-(E^ 3. 透镜系统组件编辑 MW^FY4V1m (?uK ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ?5Z-w ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Bk.`G)t ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 | 9 *$6Y ■ 包括序列光学表面和光学介质。 8Dxg6> <MO40MP OmK0-fa/ 4. 光线追迹系统分析器-选项 ^cW{%R>XY /;Cx|\ Z$Ps_Ik ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ;CL^2{ ■ 可以选择选取光线的方法: nf_(_O= — 在x-y-网格 ZFX}=?+ — 六边形 j _E(h. — 自由选取 >4>.
Ycp ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -"^"& ) R. ryy 5. 系统的3维视图 )"P.n-aF _6n za)OFH
ByWad@-6i 6. 其他系统参数 e6gj'GmY ■ 系统由单色平面波照明 R 'mlKe x ■ 照明波长266.08nm >i1wB!gc8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: *"/BD=INv} — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |QH )A — 一个虚拟屏位于焦平面 :/Y4I)' — 光束尺寸探测器置于焦平面 fB; o3!y ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ^CDh! ) u4=ulgi 8fWnKWbbjw ^=cXL /oM&29 jy 7. 光线追迹系统分析器的结果 @M }`nKXM .d)H2X
光线经过整个光学系统的三维视图 \=W t{
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) ok&v+A H:1F=$0I9 N~yGtnW -cXVkH{ rPW9lG P/9|mYmsq 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 79lG~BGE <l9qhqHv& b{e|~v6& ■ VirtualLab可用于计算点列图。 vs.}Bou] ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 g'eJN ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 6ozBU^n ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 UB;~Rf( . Zf\It<zT5 9. 焦平面上的结果 9VTE?, QF_K^( MES| iB ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 w\.z-6G ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 @2$iFZq~ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm j7&0ckN&G ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 b(g?X
(& ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 2ld0w=?+eu kmL~H1qd 10. 总结 0.t1p(x; ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 fNi_C"< ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Uefw ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 VrRBwvp-K ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 h|=&a0
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