利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 ~y{_NgMo ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 DSQ2|{ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 t0,=U8]w ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 bgLa`8 t W+"/<U 2. 系统 /yHjds !0dQfj^_
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd EHN(K- 3. 透镜系统组件编辑 wx^Det =p^$>o ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 {0~\ T[qm ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 `WIZY33V ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3\2%i6W6 ■ 包括序列光学表面和光学介质。 `JO>g=,4 ? X6M8` VCfHm"'E8 4. 光线追迹系统分析器-选项 "iTjiH)Q( D&i\dgbK XLC9B3Jt ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 8OKG@hc ■ 可以选择选取光线的方法: M6mgJonN| — 在x-y-网格 9}%$j — 六边形 M!+J[q — 自由选取 " i:[|7 ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `6)(Fk--" GF6 o 5. 系统的3维视图 !NH(EWER ?r KbL^2
0N^+d,Xt. 6. 其他系统参数 (>vyWd] ■ 系统由单色平面波照明 hw,nA2w\ ■ 照明波长266.08nm iLch3[p% ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: vn+XY=Qnr — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Lo3N)~5 — 一个虚拟屏位于焦平面 OHi.5 ( — 光束尺寸探测器置于焦平面 _aR{B-E ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 9wZ?")2 2HtsSS#0Q u"q56}Q?] PJiU2Y33 E/g"}yR 7. 光线追迹系统分析器的结果 Asv]2> x Z/%FQ
光线经过整个光学系统的三维视图 XjF@kQeM=
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) qmFG ''YqxJ fb a;t}'GQGk &y5"0mA RI@\cJ\} ]R_R`X? 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 R|n =nHKTB> `p&[b]b ■ VirtualLab可用于计算点列图。 :a6LfPEAX ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 V_:`K$ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 UB.1xcI ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 `wXK&R<` \= v.$u"c 9. 焦平面上的结果 3Rc*vVnI j@>D]j Up{[baWF ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 &cL1 EQ( ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 (da`aRVDp ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ^K;k4oK ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 2
^m}5:0 ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 zMR)w77 zbmC?2$ 10. 总结 "iA0hA ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 iX$G($[l( ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 {1)A"lQu ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 rW)h?, b ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 wAKHD*M)
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