利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 e&f9/rfx ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 3*$A;%q ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 mxtLcG4G ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ~dfc [-!
2. 系统 /_E8'qlx 0!F"s>(H
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd ~vnG^y>% 3. 透镜系统组件编辑 +MPM^ m {]plT~{e ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 D.o|pTZ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 6>v`6 ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3DnlXH(h1 ■ 包括序列光学表面和光学介质。 \B"5 Kp< 1g6AzUXg v5l)T}Nb 4. 光线追迹系统分析器-选项 GHeJpS ~U`oew IlsXj`!e ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 (Da/$S. ■ 可以选择选取光线的方法: N-|E^XIV — 在x-y-网格 (&0%![j& — 六边形 'M185wDdAl — 自由选取 ;>_\oZGj_ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;T~]|#T\6 LY2oBX@fC 5. 系统的3维视图 }\}pSqW xc[@lr
ZB GLwe 6. 其他系统参数 xaSvjc\ ■ 系统由单色平面波照明 sfi.zuG ■ 照明波长266.08nm V%'`nJ! ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Qk<W(
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 h`dtcJ0 — 一个虚拟屏位于焦平面 e> ~g!S}G — 光束尺寸探测器置于焦平面 TSqfl/UI ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 s42M[BW] y0cHs|8 *JE%bQ2Q <uUQ-]QOIh S-{[3$ 7. 光线追迹系统分析器的结果 R;&C6S QU^*(HGip
光线经过整个光学系统的三维视图 D].!u{##
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) % eWzr K:
g_M D-e0q)RSU QQUeY2} HQ~`ha. Ig75bZz 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 u- PAi5&n R>SS\YC'X w naP? |/ ■ VirtualLab可用于计算点列图。 tFt56/4 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 1S9(Zn[2, ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )o)<5Iqh ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ;q]Jm +aaj3m 9. 焦平面上的结果 yQE|FbiA Y$hYW A^:[+PJHN ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 "*W: ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 X.hU23w ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm r_nB-\ ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 RUqN,C,m5I ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 uKc x$ [P.M>"c\ 10. 总结 51j5AbFQ" ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 1BT]_ cP ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 >QO^h<.> ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Jb~$Vrdy ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 FY_.Vp
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