利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 S7\jR%pb ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 FCw
VVF0y ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 |cBF-KNZ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 RdpQJ)3F |Z +E(F 2. 系统 IcNI uv }j5@\c48
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd EJiF_ 3. 透镜系统组件编辑 :8/M6-EK IBsO ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 {:q9: ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 zz''FmedF ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 iH -x ■ 包括序列光学表面和光学介质。 RM=+ZmA x[,wJzp\6 W,eKQV<j 4. 光线追迹系统分析器-选项 Tx&qp#FS MLDg).5 4pHPf<6 ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Kps
GQM ■ 可以选择选取光线的方法: 5v03<m0`y — 在x-y-网格 'jO-e^qT — 六边形 7'l{I'Z — 自由选取 4)S?Y"Bs ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 zAdVJ58H 2nz'/G 5. 系统的3维视图 k*+ZLrT .A f)y_
(~yJce 6. 其他系统参数 @9Pn(fd] ■ 系统由单色平面波照明 9YsO+7[ ■ 照明波长266.08nm Wn</",Gf ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: m&vYZ3vK[ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 i!-sbwd7 — 一个虚拟屏位于焦平面 rMFf8D(Y — 光束尺寸探测器置于焦平面 9w<_XXQ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +as\>"Cj+2 *j; r|P;g * =N6_ oN}j <6s
F nRxc 7. 光线追迹系统分析器的结果 CAObC%
@(5RAYRV
光线经过整个光学系统的三维视图 N=Yi:+
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) 4o8HEq! ;SP3nU)) y#W8] <dS" \crmNH)3 {.)~4.LhQM r_CN/ a 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 g5'bUYsa g9Qxf% } 90I3_[Ii ■ VirtualLab可用于计算点列图。 &BR?;LD ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 /1GZN *I ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 C#cEMKa ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 mTbPzZ4 R-|]GqS}L 9. 焦平面上的结果 !ry+ r!" N%i<DsK.u6
T8oASg! ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 '0?E|B]Cp% ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ~1!kU4 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 0Jif.< ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 >b${rgCvQ ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 M57(,#g $dUN+9 10. 总结 PUo&> ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
8eLL ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 v2g+oKO] ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 3xY]Lqwv ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 S-dV
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