利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 ^^Ius ] ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ,FTF@h-Cs ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 tFGLqR%/ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 qRUz;M4 %63<Iz" 2. 系统 /<})+=>6f (HTVSC%=
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd ]?kf;A@ 3. 透镜系统组件编辑 W46sKD;\^W MV/JZ;55 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !} 1p:@ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 GB-=DC6 ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /XXW4_> ■ 包括序列光学表面和光学介质。 mBNa;6w?{* +h
=lAHn& (]ORB0kl 4. 光线追迹系统分析器-选项 y]/{W}D QKVZ![Y!s RGiA>Z:W ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 W4N$]D= ■ 可以选择选取光线的方法: mJT7e — 在x-y-网格 OvFZ&S[ — 六边形 Hi?],5,/ — 自由选取 "^u|vCqw ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <'/+E4m Jzr(A^vwo 5. 系统的3维视图 c!I>
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,3^N_>d$W 6. 其他系统参数 `+<5QtD ■ 系统由单色平面波照明 5!?><{k=% ■ 照明波长266.08nm t?/#:J*_7 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Gm*i='f!? — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 j"c"sF\q — 一个虚拟屏位于焦平面 ~oOOCB — 光束尺寸探测器置于焦平面 13B[mp4 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Jl}$)' rtY0? 39u!j|VH f$P pFSY4 j88H3bi0 7. 光线追迹系统分析器的结果 TIS}'c'C /P,J);Y
光线经过整个光学系统的三维视图 H*l8,*M}
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) JL]6o8x w;X-i.%` cP(/+
/9 "5vFa7y x5{ zGv.j KSLyU1W 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 sR #( \ >V NMQ pTcm2-J ■ VirtualLab可用于计算点列图。 C,K P!B{ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 KaOS!e' ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 xHI>CNC, ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 @v |_APy# 7:;P>sF@ 9. 焦平面上的结果 ^f>+5G 3pm;?6i6 sHKT]^7 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 A`IE8@&Z' ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 I,.>tC ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm g,9o'fs`x ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 n;4`IK| ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 AOeptv^k3} 7j{SCE; 10. 总结 'kPShZS$b ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ~^Gk7 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 )j!22tlL ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 p.&FK'&[0 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 h@/c76}f6p
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