利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 k$} 6Qd ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 )F35WP~ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 jl4rEzVu ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 aA.TlG@zP SYTzJK@vZJ 2. 系统 L"!BN/i_ D$c4's`5
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd @;z}Hk0A 3. 透镜系统组件编辑 _Msaub!N uw@|Y{(K r ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \<A@Nf" ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Z?-l-sK ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 YEqWTB|w ■ 包括序列光学表面和光学介质。 'H,l\i@" wA}+E)x/C {z}OZHJN 4. 光线追迹系统分析器-选项 NASRr #65Uei|F`+ sxLq'3( ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 xTL"%'| ■ 可以选择选取光线的方法: z<mU$< — 在x-y-网格 C,D~2G — 六边形 w~g)Dz2G — 自由选取 Wz7jB6AWA ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `W8dayZt [e'Ts#($A 5. 系统的3维视图 #`4ma:Pj A3N<;OOk
fhmqO0 6. 其他系统参数 ?79ABm
a ■ 系统由单色平面波照明 |ldRs'c{ ■ 照明波长266.08nm 6]^}GyM! ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 6^.< |