利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 ]auvtm-[ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ,mHME~ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 (RddR{mX ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 GX>8B:]o| EA"hie7 2. 系统 )~
(*q /ZvP.VW&
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd EXDDUqZ5\ 3. 透镜系统组件编辑 i2=- su 6{h\CU}" ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 &
l>nzJ5? ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 8y
LcTA$T ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^O07GYF ■ 包括序列光学表面和光学介质。 _Mw3>GNl @{Rb]d?&F? U=Ps# 4. 光线追迹系统分析器-选项 s<I)THC `"5Ub,~ OX_y"]utU ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 I,-n[k\J ■ 可以选择选取光线的方法: 'S`l[L:.8 — 在x-y-网格 ;uBGB
h< — 六边形 (i~UH04r>s — 自由选取 Z)@vJZ*7( ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [D"6& *u},(4Qf 5. 系统的3维视图 Z"`w>c. _*mn4n=
?;XO1cs 6. 其他系统参数 DbMVbgz<e ■ 系统由单色平面波照明 V(';2[) ■ 照明波长266.08nm .n8R%|C5 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: `<7\Zl — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ;s+/'(* — 一个虚拟屏位于焦平面 jSI1tW8 — 光束尺寸探测器置于焦平面 };Q}C0E ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 &jDN6n3z mskG2mA I}`pY3 q[s,q3n~ LU6R"c11 7. 光线追迹系统分析器的结果 Kb; *"@LX JwG(WLb:
光线经过整个光学系统的三维视图 lC5zqyG
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) X=QX9Ux?^ 5rsz2;#p be+-p 4|x_C-@ [ V.67_~ !>48`o^ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 #}7T$Va q{w|`vIb KL$.E!d ■ VirtualLab可用于计算点列图。
2E*=EjGV ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 "6U0
!.ro@ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 7KgaXi3r ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 `l|Oj$ )1At/ mr 9. 焦平面上的结果 |lNp0b |f_'(-v`E z^9oaoTl ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ka_m
Q<{9 ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 /stvNIEa ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm r_+Vb*|Y ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ]
(e ,J ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 6wp1jN 8ZtJvk` 10. 总结 c7CYulm ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 tddwnpnSw ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ct\msG }b: ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 CR [>5/:M ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 \GEz.Vb
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