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infotek 2021-10-22 13:23

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

1. 描述 ` YIpZ rB  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 m!!uf/  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 H |75,!<  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 i[WTp??Uv  
0'aZ*ozk  
2. 系统 X~n Kuo  
*|hICTWL  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
nD E5A  
3. 透镜系统组件编辑 8Ck:c45v  
zBqr15  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 @HaWd 3  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 p2w/jJMD  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !4-NbtT  
包括序列光学表面和光学介质。 QWfwoe&;R:  
tA'i-D&  
I"Y?vj9]  
4. 光线追迹系统分析器-选项 >TK`s@jdSV  
IKAF%0[R|j  
ka"jv"z  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 yh lZdF  
可以选择选取光线的方法: O`rrg~6#  
— 在x-y-网格 N tg#-_]  
— 六边形 pOw4H67  
— 自由选取 + ZGOv,l  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
z?FZu,h}  
dp_J*8  
5. 系统的3维视图 :n>:*e@w%  
b%T-nY2  
hq\KSFP  
6. 其他系统参数 .r]n<  
系统由单色平面波照明 \h _hd%'G  
照明波长266.08nm qfN<w&P  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 6S ]GSS<  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 &[JI L=m5  
— 一个虚拟屏位于焦平面 4Mg09  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 "eGS~-DVK  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 x"U/M ?l  
4zfgtg(  
[xM07%:  
pmHd1 Wub  
t_P1a0Zu  
7. 光线追迹系统分析器的结果 5F&i/8Ib  
s7df<dBC  
光线经过整个光学系统的三维视图
7B+?1E(  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
^<sX^V+{  
6o6!O l  
'KyT]OObS  
1NJ*EzJ~?  
nLT]'B]$ +  
2NE/ZqREg  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 #v~zf@<KLB  
8>O'_6Joj  
:UFf6T?  
VirtualLab可用于计算点列图。 \^':(Gu4o  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 '!IX;OSjH  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 bFJmXx&  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 y~U+MtSf#  
)?Jj#HtW  
9. 焦平面上的结果 9HP)@66  
vR+(7^Yy  
ho^1T3  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {"4t`dM  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 mb\vHu*53  
焦平面上的光斑尺寸为183mm I|iI ,l/9  
此外,背景颜色也可以预先设置。 { SK8Mdn  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
[-Q"A 6!Zd  
!.3 MtXr  
10. 总结 oJXZ}>>iT  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 x1A^QIuxO  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 =X+DC&]%!  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 +R#*eo;o7  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 4p %`Lv  
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