利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 .?
/J ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 {F[Xe_=#" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 0:p#%Nvg ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 "f+2_8%s+ s q$|Pad[ 2. 系统 c^%k1pae( &n
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文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd ,j<"~"]
= 3. 透镜系统组件编辑 yFqC-t-i Ckp=d ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 /;1FZ<zU ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 FW,D\51pTP ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 bHM
.&4G
■ 包括序列光学表面和光学介质。 hW&UG#PY> RCr:2
Iz ?0X.Ith^. 4. 光线追迹系统分析器-选项 @ So"(^ d8I/7
;F X Cz%ih#^b ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 <}%*4mv ■ 可以选择选取光线的方法: ai RNd~\ — 在x-y-网格 Pe.D[]S — 六边形 511q\w M — 自由选取 `1gsrHi4N ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 mUxD.;P YzqhFFaj. 5. 系统的3维视图 cA kw5}P oZCO$a
!RI&FcK 6. 其他系统参数 @,vSRns ■ 系统由单色平面波照明 (ydeZx ■ 照明波长266.08nm Wu(GC]lTG ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: YuZnuI@m9 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Nnw iH — 一个虚拟屏位于焦平面 v)06`G — 光束尺寸探测器置于焦平面 e[n>U@ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 R0WJdW# 9^n
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E 7. 光线追迹系统分析器的结果 qM)^]2_- c<=1,TB"-_
光线经过整个光学系统的三维视图 lz>hP
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) 6*E7} n"JrjvS VQyDd~Za BshS@"8r 4Hw8w7us: 3c)LBM 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 6O}r4* 7K~=Q Ec )u$A!+fo ■ VirtualLab可用于计算点列图。 s$Mj4_p3l ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 I/adzLQ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 xAI<<[- ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 V>hy5hDpH R[b?kT-% 9. 焦平面上的结果 a)]N#gx *m2:iChY UX6-{
RP ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 E?V:dr ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 e>[QF+e)y ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm W;1Hyk ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 =8]'/b ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ?w.Yx$Z" 2IGAZ%% 10. 总结 B}vI<?c ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Ky+TgR ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 5%9&
7 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 0F"xU1z, ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 %!@Dop/<
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