利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 UVw^t+n ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ,?8a3% ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 0
P YYG ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 FDl/7P`b( i6#*y!3{ 2. 系统 4;YP\{u TDo)8+.2z
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd '/I`dj 3. 透镜系统组件编辑 d ~M; ?g ,s<{ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 l!,tssQ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 M+&~sX*a ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 6y^
zC? ■ 包括序列光学表面和光学介质。 6(QfD](2} d_,My lk S>dHBR#AD 4. 光线追迹系统分析器-选项 8ae`V!5 j6l1<3j ?2"g*Bak ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 4#(/{6J ■ 可以选择选取光线的方法: lR %#R — 在x-y-网格 #mU\8M, — 六边形 YhH3f VM — 自由选取 nFlN{_/ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 *)Pm Vo"G@W)lZ 5. 系统的3维视图 +t,b/K(?] `/WxEu3
yP]>eLTSd 6. 其他系统参数 j/TnKO ■ 系统由单色平面波照明 Cj>HMB} ■ 照明波长266.08nm b]u=Iza ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: M5VW1Ns — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 o`CM15d*7o — 一个虚拟屏位于焦平面 (3N/DY1/ — 光束尺寸探测器置于焦平面 0o8`Y ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 I;@q`Tm nT|WJ% !mK()# 6 5 SQ!^1R 9 W7!Rf7TK 7. 光线追迹系统分析器的结果 diXWm-ZKL B*G]Dr)e
光线经过整个光学系统的三维视图 4(htdn6 \
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) vEx'~_+a9 ?Q_ @@) yM 7{v$X0 d>Tv?'o`q "vk]y >4ex5 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;\th.!'rn 2}<tzDI' e^*&& ■ VirtualLab可用于计算点列图。 5"h4XINZ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 EC\@$Fg ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 jW&*?6< ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Gw)y<h i?B<&'G 9. 焦平面上的结果 -$!r+4|q yPmo1|'X>d \2u7>fU! ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Jm ,:6T ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 `u3kP ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ,%Z&*/*Oh ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ;ZB=@@l( ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 DvhFCA}z [DpOI 10. 总结 fKEDe>B5 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ~
tR!hc} ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 @|\;#$?XW3 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ty!DMg# ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 k|x mZA*
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