利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 TXk"[>,:H ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 V{aIhH>P ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 O [ ; 6E ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 /7HIL?r );.<Yf{c 2. 系统 +WEO]q?K 8#JyK+NU
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd Pc:'>,3!V3 3. 透镜系统组件编辑 x?k |i}Q 1nM?>j%k ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 %^@0tT ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 E=U^T/ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 H(ftOd.y ■ 包括序列光学表面和光学介质。 58gt*yVu ~sja^ [(^''*7r+T 4. 光线追迹系统分析器-选项 }j<_JI ewlc ^` ).#D:eO[~ ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 KB-#):' ■ 可以选择选取光线的方法: E]Gq!fA&< — 在x-y-网格 (YH{%8
Z0 — 六边形 O#Ax P} — 自由选取 HE.Dl7{ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Gqu0M`+7 !~DkA7i 55 5. 系统的3维视图 @[N~;> ,3TD $2};.
]tV{#iIJ* 6. 其他系统参数 3mn-dKe(( ■ 系统由单色平面波照明 /]58:euR ■ 照明波长266.08nm H_$f
v_ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 46JP1 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 W$ {sD|d- — 一个虚拟屏位于焦平面 O*"wQ50Ou — 光束尺寸探测器置于焦平面 VTkT4C@I;Y ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 !LSWg:Ev+ 6E%k{ r {*
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