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infotek 2021-10-22 13:23

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

1. 描述 k$ } 6Qd  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 )F35WP~  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 jl4rEzVu  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 aA.TlG@zP  
SYTzJK@vZJ  
2. 系统 L"!BN/i_  
D$c4's `5  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
@;z}Hk0A  
3. 透镜系统组件编辑 _Msaub!N  
uw@|Y{(K r  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \<A@Nf"  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Z?-l-s K  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 YEqWTB|w  
包括序列光学表面和光学介质。 'H,l\i@"  
wA}+E)x/C  
{z}OZHJN  
4. 光线追迹系统分析器-选项 NASRr  
#65Uei|F`+  
sxLq'3(  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 xTL"%'|  
可以选择选取光线的方法: z<mU$<  
— 在x-y-网格 C,D~2G  
— 六边形 w~g)Dz2G  
— 自由选取 Wz7jB6AWA  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
`W8dayZt  
[e'Ts#($A  
5. 系统的3维视图 #`4ma:Pj  
A3N<;OOk  
fhmq O0  
6. 其他系统参数 ?79ABm a  
系统由单色平面波照明 |ldRs'c{  
照明波长266.08nm 6]^}GyM!  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 6^.<5SJ}  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 # -Ts]4v  
— 一个虚拟屏位于焦平面 Xu:S h<:R  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 #\$R^u]!  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 xGeRoW(X  
;HJ|)PN5L  
~$i36"  
>%.6n:\rG  
S:Ne g!`  
7. 光线追迹系统分析器的结果 !285=cxz  
yg gQ4y6  
光线经过整个光学系统的三维视图
X] &Q^  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
@D rMaTr  
]J C}il_b  
T?c:z?j_9  
nrMm](Y45  
*#,wV  
^60BQ{ne  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 t3b%f`D  
F%x8y  
g~Zel}h#  
VirtualLab可用于计算点列图。 gYx|Na,+  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Z!m0nx  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Y`3>i,S6\  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 hX]vZR&R  
5TVDt  
9. 焦平面上的结果 : \w\K:  
fNc3&=]]  
2*5Z| 3aX  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 _rK}~y=0  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 A_}F  
焦平面上的光斑尺寸为183mm e@6<mir[4  
此外,背景颜色也可以预先设置。 iU\WV  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
wz5xJ:Tj  
m#mM2Guxe  
10. 总结 < Vr"  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 /v E>*x  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 bH&Cbme90-  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 3ADT Yt".  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ao<@a{G  
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