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infotek 2021-10-22 13:23

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

1. 描述 u1<kdTxA N  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 <'33!8 G  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 p {3|W<  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 XzsK^E0R  
K2Zy6lGOZ  
2. 系统 s<]l[Y>  
u{ /gjv  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
 VVY\W!  
3. 透镜系统组件编辑 D%v yO_k  
=c'LG   
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Fjb[Ev  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ?9A[;j|a0  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ) |a5Qxz  
包括序列光学表面和光学介质。 +/tD$  
,zaveQ~l  
LX'US-B.!  
4. 光线追迹系统分析器-选项 ^xrR3m*d  
)9O{4PbU!  
KNhH4K2iP8  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 P@#6.Bb#V  
可以选择选取光线的方法: rOGJ%|%(  
— 在x-y-网格 LtBH4 A  
— 六边形 pV8,b   
— 自由选取 }2S \-  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
}{"\"Bn_  
hAdEq$  
5. 系统的3维视图 D~}4N1  
bUNp>H>L  
Jo ^ o`9  
6. 其他系统参数 j&9~OXYv  
系统由单色平面波照明 g@L4G?hLn  
照明波长266.08nm 57r)&8  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ]jYM;e  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2S tpcAlU}  
— 一个虚拟屏位于焦平面 Hw Is7  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 tznT*EQr  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 IP3-lru  
iu .{L(m  
Jz6PqU|=  
b8Qm4b?:4  
@?U5t1O<  
7. 光线追迹系统分析器的结果 uH#NJoR O  
HFazqQ[  
光线经过整个光学系统的三维视图
WBGYk);  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
{BF\G%v;+  
@fw U%S[v  
-:QyWw/d  
1Sy#*  
vR,'':  
y.Py>GJJ1S  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~gf $ L9  
R[(,wY_1  
{:Q2Itsy  
VirtualLab可用于计算点列图。 =Y BJ7.Y  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ^$(|(N[;   
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 km^AX:r1  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 $2.DZ  
i0P+,U  
9. 焦平面上的结果 iw{n|&Y#`  
}MX`WW0\]Z  
~^eAS;  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Wi[Y@  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 X}ZOjX!  
焦平面上的光斑尺寸为183mm Kk,->q<1  
此外,背景颜色也可以预先设置。 Bw$-*FYE  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
'D4NPG`z  
4Vs;Y&t]  
10. 总结 @6E[K'5c1  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 zb<+x(0y"  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 %tMfOW  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 IH0Uq_  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 0K!9MDT}*  
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