利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 V9D q<y-y ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 C{+JrHV%h ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 lPrAx0m13% ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 h6}rOchj }
7ND]y48 2. 系统 LIKQQ Q3Y(K\
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd %
[~0<uO 3. 透镜系统组件编辑 ] g8z@r"b 8n:N#4Dh^ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Q#*R({)GH ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 L$rr:^J ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 QjD=JC+ ■ 包括序列光学表面和光学介质。 *Vg) E*s bAy\Sr
#/ 8'NT_NPNb 4. 光线追迹系统分析器-选项 3_.%NgES| 27}7
n ~N7;.
3 7 ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 <@lj\, ■ 可以选择选取光线的方法: |68u4z K — 在x-y-网格 9}L2$^#,NA — 六边形 \Lg4 Cx — 自由选取 %|1s9?h7\ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 a5/Dz&>j6 tR2%oT>h 5. 系统的3维视图 cYXL3)p*Q .}uri1k"@k
Oi]B%Uxy= 6. 其他系统参数 mlUj%:Gm# ■ 系统由单色平面波照明 )heHERbJ ■ 照明波长266.08nm Hs_7oy|P ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Xr'b{& — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @1<VvW= — 一个虚拟屏位于焦平面 -M_>]ubG — 光束尺寸探测器置于焦平面 ?;.=o?e9 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 <G`1(,g ZU;jz[} wZW\r!Us )qOcx
I rkR~%U6V 7. 光线追迹系统分析器的结果 i[ws%GfEv >,I'S2_Zl
光线经过整个光学系统的三维视图 %DA`.Z9#
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) }$r]\v e=eip?p jUgx
;= 98 ]pkqp4 fakad#O 53pT{2]zAi 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Q<ia 8lS
RK% o)x&|0_ ■ VirtualLab可用于计算点列图。 a/3'!} &e ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 V0&7MY * ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 o_[~{@ RoR ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ! hEZV&y 7,V_5M;t 9. 焦平面上的结果 &-JIXVd*R QnS#"hc\a 3d7A/7S ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 m}zXy\ ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 lN{>.q@V`r ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm J^%E$s ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ,j\uvi(Y ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ~ b66
; ua &uR7 10. 总结 burSb:JF ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Yl?s^]SFU ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 \Cin%S.C ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;:ZD<'+N ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 dnXu(e%
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