利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 [0$Y@ek[ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 KE_Ze\P ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 tB[K4GNSQ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 *T3"U|0_ y lWR 2. 系统 Y:wds=lA _Uq'eZol
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd <]<50 3. 透镜系统组件编辑 pP .
b$BUo8O} ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 U!h!z`RU54 ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 UCQL~ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 aaBBI S ■ 包括序列光学表面和光学介质。 WJ%b9{< r=vE0;7 -Bc.<pFqp 4. 光线追迹系统分析器-选项 \%K6T)9 _T1e##Sq, ?h5Y^}8Qg ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 .p&M@h
w ■ 可以选择选取光线的方法: `f(!i mN — 在x-y-网格 @{bf]Oc — 六边形 E^rN) — 自由选取 W uQdz&s> ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 _*+M'3&= Y{jhT^tKK 5. 系统的3维视图 x@/!H<y [=iq4F'7
V/03m3!q 6. 其他系统参数 F$caKWzny5 ■ 系统由单色平面波照明 3[c54S+(U ■ 照明波长266.08nm ?HW*qD#k ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Aam2Y,B — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 rC'97`!K — 一个虚拟屏位于焦平面 5EU3BVu&u — 光束尺寸探测器置于焦平面 Q>|<R[.7 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Z$q}y
79^ (|WqOwmoUt 2JbCYCTC 6pH.sX$!_ J^u{7K, 7. 光线追迹系统分析器的结果 RW3&]l= H7uW|'XWz
光线经过整个光学系统的三维视图 :/u
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光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) ~; MRQE H:CwUFL LEY$St 5y.kOe4vH ZN.
#g_ DlaA-i]l 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 _- { > e 1%>/%eyn5 7r:!HmRl ■ VirtualLab可用于计算点列图。 WzF/wzR ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 huO_ARwK' ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Obbjl@]
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 d}Q;CF3m: C}7Sh6 9. 焦平面上的结果 b8Y-!]F Qax=_[r 0DGXMO$; ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 =ove#3 ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 aCQAh[T ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm {>90d(j ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 %?K'egkp ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 <"6}C)G c!b4Y4eJ 10. 总结 iOw'NxmY ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :Oxrw5`= ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 yH irm|o ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ]5wc8Kh" ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 y%f'7YZ4
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