利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 !Kv@\4 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 vVE7fq3 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 'TAUE{{ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 oTT7M`P3h p6vKoI#T 2. 系统 3"{.37Q ++DG5`
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd mg,j:, 3. 透镜系统组件编辑 5^j45'%I D0BI5q ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 asC_$tsMe ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }mZwd_cK ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 aj}(E+ ■ 包括序列光学表面和光学介质。 gR@C0 %e@#uxm ~.!c~fke 4. 光线追迹系统分析器-选项 `~cuQ<3Tn
*cO sv Ka`=WeJ| ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *@TZ+{t ■ 可以选择选取光线的方法: Dwl3Cj — 在x-y-网格 mJM_2Ab — 六边形 +[xnZ$Iev — 自由选取 CSCN['x ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 r0m*5rd1 &Ni`e<mP 5. 系统的3维视图 ;vb8G$ )TmHhNo
'fL"txW 6. 其他系统参数 C2{lf^9:& ■ 系统由单色平面波照明 FW.$5*f=' ■ 照明波长266.08nm )+Oujt ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: nF5qw>t# — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 3 LdQ]S — 一个虚拟屏位于焦平面 5 B=^v#m — 光束尺寸探测器置于焦平面 P/`I.p ; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 p7H3J?`w1+ CpQN,-4 <?D\+khlq qn,O40/] MJ=)v]a 7. 光线追迹系统分析器的结果 t
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光线经过整个光学系统的三维视图 >*wtbkU
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) z(\4M==2O ?,yj")+ lHV[Ln`\x )3(;tT,$}^ #);[mW{F c=AOkX3UD 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 mYU9
trHV wR{'y)$ 6 K-5g/hL ■ VirtualLab可用于计算点列图。 RQFI'@Ks ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 _`#3f1F@[ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [V
8{b{ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 aTzjm`F0 xTGxvGv8 9. 焦平面上的结果 @JW@-9/ fQP {|+4 B&N/$=5m ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Z;h<6[( ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 s{w[b\rA ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm +t2SzQ j> ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 i>[_r,-\[ ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 m E^o-9/ j:w{;(1=W 10. 总结 +78CvjG ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <40rYr$/J ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 TO-$B8*nq ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 +1~Z#^{& ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 fBQ?|~:n
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