利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
1. 描述 v t_lM ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 +<T361eyY ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 $ba*=/{[q ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 :sS4T&@1= "sSY[6Kp! 2. 系统 vkLKzsN' ] V
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文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd I.gF38Mx 3. 透镜系统组件编辑 WR9-HPF Ou_2UT ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 (sW$2a ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 1j]vJ4R_\ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8]i7wq#= ■ 包括序列光学表面和光学介质。 #~o<9O E#E&z (G2 D/ tCB-+ 4. 光线追迹系统分析器-选项 C1uV7t*\ K1=j7 z:8ieJ)C ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ]*X z~Ox2 ■ 可以选择选取光线的方法: l>T]Y — 在x-y-网格 n0FzDQt26 — 六边形 \bies1TBB^ — 自由选取 OWp`Wat ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ,:{+-v( B2:GGZ|jS 5. 系统的3维视图 eF(oHn, dn&484
_&M^}||UH 6. 其他系统参数 R"{P#U,HNO ■ 系统由单色平面波照明 ezA&cZ5 ■ 照明波长266.08nm g^{a;= ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: \.?'y71 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 jFl!<ooCo — 一个虚拟屏位于焦平面 Rw<O%i5/d — 光束尺寸探测器置于焦平面 ~ %Ij5PD ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 y~z&8XrH O[$XgPM hG}gKs u
p]>UX8 [[O4_)?el 7. 光线追迹系统分析器的结果 }&]T0U`@ vCn~-Q
光线经过整个光学系统的三维视图 j>5X^Jd
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) hb(H-`16 )K]<\Q[ |+Xh ^E NAO0b5-h k&:~l@?O h(i_'P? 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $,o@&QT?AT #+
{%>f 6%V#_] ■ VirtualLab可用于计算点列图。 HP=5a. ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 M
9 N'Hk= ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 +E+I.}sOB ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Z ?ATWCa [KMS/'; ] 9. 焦平面上的结果
QrLXAK\5 bV:MOj^ g(R!M0hdF ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 q8&^E.K ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !,~C ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm lr[&*v?h ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 t'DIKug& ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Mn*5oH 0xV[C4E[6 10. 总结 {DX1/49 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;I>77gi`] ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 jF{)2|5 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 P u}PE-b ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 UdFYG^i
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