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infotek 2021-09-23 09:36

结构设计和导出加工数据

内容简介: *7w!~mn[m  
tz5\O}  
1.在VirtualLab中如何进行结构设计; .FN 6/N\  
<}T7;knO  
2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 k"|Fu   
9/_~YY=/h  
结构设计 q4v:s   
1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 Tp|>(~;ai  
1 @i/N  
AH-BZ8  
2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 {eVv%sbq  
}0?XF/e(R  
     7'#_uA QR  
3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 k136n#KN1  
)2Bb,p<Wr  
目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 G[6i\Et   
T;]Ob3(BpW  
光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 p[ &b@U#  
B#?rW*yEe  
f[ KI T  
光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 5WvsS( 9H  
F]fXS-@ c  
|*DkriYY  
4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 |AT`(71  
~nb(e$?N  
V(8,94vm  
FmFjRYA W  
导出加工数据 GaV}@Q  
0wCQPvO  
1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) [jksOC)@4  
tfD7!N{  
zXU g(xu  
2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 yZN~A:  
e)N< r  
MiR$N  
3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 wWSo+40  
       3@:O1i  
&er,Wyc(  
7&D)+{g  
X%iJPJLza  
4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 7t1as.  
q6ny2;/r  
!zvOCAb,  
tfu`_6  
5) 进入光学界面数据导出窗口 8&nb@l  
z;y{QO  
在一般(General)标签进行如下图所示的设置 9 )!}  
s 0_*^cZ  
在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 ~y?Nn8+&f  
pwkTe  
在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 EeT 69o  
H%etYpD  
8};kNW^2m  
导出加工数据列表 8a&c=9  
ijUu{PG`X  
~#i2reG5  
D.Cn`O}  
导入加工数据 5Zd oem  
G.^)5!By  
1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI e!o\AB%d  
>MSK.SNh  
jvAjnh#  
2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) e&*b{>1*  
Jm#p!G+  
O!^ >YvOh  
3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) J3~%9MCJ  
'=%`;?j  
4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 /!^,+  
wu><a!3`=o  
93:oXyFjD  
\uZ|2WG`  
-*Rf [|Z  
2K{'F1"RM  
5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 _ E-\aS{  
TnKv)%VF  
 @;$cX2  
6) 导入完成,观察3D视图 rsLkH&aM  
,msP(*qoI  
de)4)EzUP  
[7d(P EQL`  
]z5hTY  
QQ:2987619807
wx349643041 2022-06-08 09:13
谢谢指导 "]kzt ux  
无损的 2025-10-14 11:47
谢谢指导,非常感谢 XzSl"UPYH  
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