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2021-09-23 09:36 |
结构设计和导出加工数据
内容简介: xY)eU;* o~Hq&C"^} 1.在VirtualLab中如何进行结构设计; ommW w*"Ii%iA< 2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 oeKl\cgFx `6-flc0r 结构设计 b&A/S$* 1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 !0^4D=dO V}vL[=QFZ( 7h(
2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击 ,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 _"F=4`lJ xK0;saG# [Y@}{[q5 3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 i.^UkN{ ?lqqu#;8 目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 >=rniHs=?7 )6XnxBSH 光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 I;AS.y j/O9LygB 9'Z{uHi% 光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 6`7`herE} o9ys$vXt*
zxs)o}8icO 4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 Te!eM{_$T &Odrq#o?R o4 "HE* >g+Y//Z 导出加工数据 y+wy<[u rv)Eg53Q 1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) B4*,]lS? .@r{Tq,%q8 =|O]X|y-lZ 2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 )jwovS?V #WUN=u eJ[+3Wh 3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 FME,W&_d CXu$0DQ(
j AoI`J i+Ne.h `nII@ ! 4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 <Qbqxw aFnyhu&W' -hF!_);{ @G=:@; 5) 进入光学界面数据导出窗口 3?gfDJfE !}`[s2ji 在一般(General)标签进行如下图所示的设置 $rjm MSxi t
~]'
{[F 在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 &f A1kG% b!QRD'31'j 在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 $+{o* S=L#8CID 1_xkGc-z< 导出加工数据列表 ,o
`tRh< rCGKE`H ca,JQrm >Ir?)h 导入加工数据 }
?+0s=Z I?q-
:9: 1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI &"1 _n]JO X)TZ S RY,L'GtO 2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) +Z9ua%,3% ,ueA'GZ ]]u_Mdk 3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) vl`St$$| *=%`f= 4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 VzM (u_) d.>O`.Mu)} 21?>rezJ
2fm6G).m Y}\3PaUa :W'.SRD 5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 s,laJf
#LYx;[D6  3=Xvl 58k 6) 导入完成,观察3D视图 ~vZ1.y4 ~ayU\4B
Ej@N}r>X .?F`H[^)^u
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QQ:2987619807
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