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infotek 2021-09-23 09:36

结构设计和导出加工数据

内容简介: hv}rA,Yd  
%U)/>Z  
1.在VirtualLab中如何进行结构设计; z* YkD"]B  
p< '#f,o  
2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 K/+5$SjF  
-$?xR](f  
结构设计 S$+vRX7  
1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 "dXRUg"  
?2%d;tW  
-B9C2  
2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 @ _U]U  
= I Ls[p  
     x$J1%K*  
3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 x<"1T w5e  
05LVfgJ'q  
目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 IBcCbNs!  
 3p"VmO  
光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 \^iJv ~d  
2Auhv!xV  
xpx=t71Hq  
光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Z2(z,pK  
5CueD]  
~_QZiuq&  
4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 (\, <RC\  
JWr:/?  
&&xBq?  
Ha1E /b]K  
导出加工数据 A9Q!V01_  
*j?tcxq  
1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) ,u#uk7V  
*$Z}v&-0k  
]U!vZY@\  
2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 o=_:g >5  
8s/gjEwA  
u01 'f-h  
3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 ~.u}v~ F  
       4[ M!x  
UZi^ &  
@H= d8$  
^o_2=91  
4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 y{,HpPp#o  
3xxQL,FV  
^ ~:f02[D  
hF s:9  
5) 进入光学界面数据导出窗口 ,=O`'l >K  
~YA* RCe  
在一般(General)标签进行如下图所示的设置 gV$j ]  
<|c n Qj*  
在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 l_hM,]T0  
T1m"1Q  
在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 klxVsx%I{G  
mTz %;+|L  
'3 w=D )  
导出加工数据列表 _T&?H&#  
V&;1n  
9h> nP8  
ym9Z:2g  
导入加工数据 [9(tIb!x  
-=iGl5P?  
1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI <vJPKQ`=:  
hEi]-N\X  
{a\O7$A\F  
2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) Ehi)n)HhG"  
XAwo ~E  
G# gUd'=M  
3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) M$~3`n*^  
Ig}G"GR  
4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 3('=+d[}Vw  
@wy|l)%  
Aayh'xQ  
<nlZ?~%}  
, (dg]7  
u?5 d%]*  
5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 $}V<U m  
T]-yTsto  
g}"`@H(9r3  
6) 导入完成,观察3D视图 |I-;CoAg  
jWJq[l  
$R(?@B(  
hr_ 5D  
'kb5pl~U  
QQ:2987619807
wx349643041 2022-06-08 09:13
谢谢指导 !l|v O(  
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