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2021-09-23 09:36 |
结构设计和导出加工数据
内容简介: hv}rA,Yd %U)/>Z 1.在VirtualLab中如何进行结构设计; z*YkD"]B p<'#f,o 2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 K/+5$SjF -$?xR]( f 结构设计 S$+vRX7 1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 "dXRUg" ?2%d;tW -B9C2 2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击 ,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 @ _U]U =ILs[p x$J1%K* 3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 x<"1T
w5e 05LVfgJ'q 目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 IBcCbNs!
3p"VmO 光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 \^iJv~d 2Auhv!xV xpx=t71Hq 光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Z2(z,pK 5CueD]
~_QZiuq& 4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 (\, <RC\ JWr:/? &&xBq? Ha1E /b]K
导出加工数据 A9Q!V01_ *j?tcxq 1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) ,u#uk7V *$Z}v&-0k ]U!vZY@\ 2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 o=_:g >5 8s/gjEwA u01 'f-h 3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 ~.u}v~
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UZi^ & @ H=
d8$ ^o_2=91 4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 y{,HpPp#o 3xxQL,FV ^ ~:f02[D hF s:9 5) 进入光学界面数据导出窗口 ,=O`'l>K ~YA*
RCe 在一般(General)标签进行如下图所示的设置 gV$j ] <|cnQj* 在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 l_hM,]T0 T1m"1Q 在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 klxVsx%I{G mTz %;+|L '3 w=D
) 导出加工数据列表 _T&?H V&;1n 9h>nP8 ym9Z:2g
导入加工数据 [9(tIb!x -=iGl5P? 1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI <vJPKQ`=: hEi]-N\X {a\O7$A\F 2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) Ehi)n)HhG" XAwo~E G#gUd'=M 3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) M$~3`n*^ Ig}G"GR 4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 3('=+d[}Vw @wy|l)% Aayh'xQ
<nlZ?~%} ,(dg]7 u?5d%]* 5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 $}V<Um
T]-yTsto  g}"`@H(9r3 6) 导入完成,观察3D视图 |I-;CoAg jWJq[l
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QQ:2987619807
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