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infotek 2021-09-17 09:47

粗糙表面光栅的模拟

案例87.01:粗糙表面光栅的模拟 o^_am>h  
AmHIG_'  
即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Yy]He nw;  
4k 8 @u  
关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 mvxvX!t  
&M0v/!%L  
要求工具箱:光栅工具箱 %!RQ:?=  
pe8MG(V  
相关应用案例:案例090.01,案例246.01 bV ym  
M*Xzr .6  
一、模拟任务 z!tHn#  
二、光栅的描述 b~-9u5.L1  
D KOdqTW  
1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 Pt$7U[N  
(Y86q\DQ?|  
2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Q6E80>  
9j/B3CjW  
3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 3mWN?fC  
/}wGmX! -!  
4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” ]4PG[9J@  
q%l<Hw6{z  
下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 HDYoM  
ev`p!p  
1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 G|V ^C_:  
g_`8K,6ln  
F-m1GG0s  
h4U .wk  
2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm l\H9Io3  
NW$Z}?I  
xZhh%~  
3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm oPi)#|jcb  
Kgcg:r:  
C M(g4fh  
4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm -<.>jX  
-1[ri8t;nV  
.d;/6HD[y  
5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm `eA0Z:`g!  
OF)X(bi4j  
)s M}BY  
5. 参数运行 9,4a?.*4~  
@E1N9S?>  
1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 >%{h_5  
GerZA#  
2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 k5^'b#v  
F$.M2*9  
6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 ~&g:7f|X  
I3A](`  
:wMZ&xERDZ  
3+IS7ATn  
7. 总结 ]RV6( |U4_  
f"/NY6  
1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 cOIshT1  
@qeI4io-n  
2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 u4%-e )$X  
'kp:yI7w  
3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 s:M:Ff  
k(et b#  
zdtzR<X   
QQ:2987619807 j5AW}   
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