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2021-09-17 09:47 |
粗糙表面光栅的模拟
案例87.01:粗糙表面光栅的模拟 AT8B!m VxPTh\O*[ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 "b1R5(Ar ?VOs:sln 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 }'w^<:RSy M$>WmG1~D 要求工具箱:光栅工具箱 Ow($\, uc"[ qT(X 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 rvoS52XG, eLt Cxe 一、模拟任务: Tl/Dq(8JH 二、光栅的描述 a`h$lUb- 93Ci$#<y 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 @|\s$L x9&tlKKxf 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 9/X v&<Tn !g8.8(/t) 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 PE;0
jgsiI *2m&?,nJ 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” I8-&.RE v;F+fOo 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 `>K k;` L/ICFa.G 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 n4r( Vg1GS BorfEv} SN )H37a Med"dHo7 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm h}B# 'e HU'`kimWb B,VSFpPx 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm gU 2c--` 7q{v9xKy xz+`]Q 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm q@RY.&mgW KAZkVL @9kk
f{? 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm 3_1Io+uXk .pu`\BW> u2.r,<rC*Q 5. 参数运行 nu<!2xs, j>Bk; f| 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 $d??( e[k;SSs 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 sp|y/r# 9q,JqB 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 T I7Ty+s 4oaP"T@6 MPEBinE? hjp?/i%TQ 7. 总结 eS# 0- {^19.F 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 #]\G*>{ Ex s _LN 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 \ g[f4xAV {j=hQL3 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 #pn AK 0@/E%T1c" o >4>7
QQ:2987619807 N, +g/o\f
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