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2021-09-17 09:47 |
粗糙表面光栅的模拟
案例87.01:粗糙表面光栅的模拟 o^_am>h AmHIG_' 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Yy]Henw; 4k8 @u 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 mvxvX!t &M0v/!%L 要求工具箱:光栅工具箱 %!RQ:?= pe8MG(V 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 bVym M*Xzr .6 一、模拟任务: z!tHn# 二、光栅的描述 b~-9u5.L1 D
KOdqTW 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 P t$7U[N (Y86q\DQ?| 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Q6E80> 9j/B3CjW 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 3mWN?fC /}wGmX! -! 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” ]4PG[9J@ q%l<Hw6{z 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 HDYoM ev`p!p 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 G|V ^C_: g_`8K,6ln F -m1GG0s h4U .wk 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm l\H9Io3 NW$Z}?I xZhh%~ 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm oPi)#|jcb Kgcg:r: C M(g4fh 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm -<.>jX -1[ri8t;nV .d;/6HD[y 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm `eA 0Z:`g! OF)X(bi4j
) s M}BY 5. 参数运行 9,4a?.*4~ @E1N9 S?> 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 >%{h_5 GerZA# 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 k5^'b#v F$.M2*9 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 ~&g:7f|X
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:wMZ&xERDZ 3+IS7ATn 7. 总结 ]RV6(|U4_ f"/NY6 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 cOIshT1 @qeI4io-n 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 u4%-e)$X 'kp:yI7w 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 s:M:Ff k(et b# zdtzR<X QQ:2987619807 j5AW}
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