首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
讯技光电&黉论教育
->
JCMSuite应用—衰减相移掩模
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2021-09-15 09:27
JCMSuite应用—衰减相移掩模
在本示例中,模拟了衰减相移掩模。 该掩模将线/空间图案成像到光刻胶中。 掩模的单元格如下图所示:
?kvc`7>
4qw&G