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mainbomb	2007-03-11 11:35
磁控溅射靶的问题就我所用的磁控溅射仪，磁控溅射的靶在用一段时间之后，在靶边缘的特定区域总是会发蓝，尤其是NiCr合金靶、Pb靶和TiW的靶，请问是怎么回事？还有溅射镀膜的均匀性不好，有什么可以改善的方法吗？ .e0)@}Jv8> 请大侠不吝赐教！非常感谢

wolfliu	2007-04-05 12:58
你使用的是什么磁控溅射设备？

wolfliu	2007-04-10 13:45
很可能是污染所致，比如轻微的氧化。

荷塘月色	2007-07-02 22:51
靶温度过高，冷却效果不好。

luochan	2007-08-10 11:20
请问您所使用的靶材主要用于哪方面的用途啊？

jianfei88	2007-08-10 18:15
真空度！

青桃	2007-08-20 13:19
两端遮挡,表面轻微氧化

dianke	2007-09-03 13:54
请问是什么设备

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