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mainbomb	2007-03-11 11:31
关于磁控溅射磁控溅射的靶在用一段时间之后，在靶边缘的特定区域总是会发蓝，尤其是NiCr合金靶、Pb靶和TiW的靶，请问是怎么回事？还有溅射镀膜的均匀性不好，有什么可以改善的方法吗？

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