8微米氟化镁膜成膜问题-光学薄膜设计,工艺与设备-光行天下-最大的光电技术社区-光学,光电,光机技术及其软件运用交流社区!

首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 8微米氟化镁膜成膜问题 [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

starofage	2021-08-12 16:53
8微米氟化镁膜成膜问题最近功能性需求需要镀8微米的氟化镁膜，用的电子枪蒸发，镀完后表面全部像雪花一样掉膜，是什么原因啊？有什么改善方法？

ouyuu	2021-08-19 20:59
氟化镁可以用阻蒸，速度快一点，温度高一点。

a013109425	2021-08-21 17:13
是否镀膜真空过高

蓦然知回路	2021-08-24 16:32
make一下

starofage	2021-08-27 09:23
ouyuu:氟化镁可以用阻蒸，速度快一点，温度高一点。 (2021-08-19 20:59) m:CTPzAt u\e\'\ 是基片温度高点吗？我加的300°

starofage	2021-08-27 09:25
a013109425:是否镀膜真空过高 (2021-08-21 17:13) x%> e)L< akuJz 真空度1-2x10-3pa

囊中蓄乾坤	2021-10-19 13:08
这个材料用的少不清楚

fly6947	2022-01-04 09:35
MGF2应力太大了超过2um风险就比较大，温度降低，用阻蒸做，可适当改善

查看本帖完整版本: [-- 8微米氟化镁膜成膜问题 --] [-- top --]