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starofage	2021-08-12 16:53
8微米氟化镁膜成膜问题最近功能性需求需要镀8微米的氟化镁膜，用的电子枪蒸发，镀完后表面全部像雪花一样掉膜，是什么原因啊？有什么改善方法？

ouyuu	2021-08-19 20:59
氟化镁可以用阻蒸，速度快一点，温度高一点。

a013109425	2021-08-21 17:13
是否镀膜真空过高

蓦然知回路	2021-08-24 16:32
make一下

starofage	2021-08-27 09:23
ouyuu:氟化镁可以用阻蒸，速度快一点，温度高一点。 (2021-08-19 20:59) "FT(U{^7d /DBldL7yi 是基片温度高点吗？我加的300°

starofage	2021-08-27 09:25
a013109425:是否镀膜真空过高 (2021-08-21 17:13) %!i\|"FNc "2'pS<\| 真空度1-2x10-3pa

囊中蓄乾坤	2021-10-19 13:08
这个材料用的少不清楚

fly6947	2022-01-04 09:35
MGF2应力太大了超过2um风险就比较大，温度降低，用阻蒸做，可适当改善

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