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利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化
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infotek
2021-08-11 09:48
利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化
本案例介绍利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化,通过优化扩散器以生成一个圆形的
top hat
。
4/f[`].#W
}|,EU!nDi
关键词:
衍射光学,衍射光学元件,均匀(
homogenization
),扩散器,准分子激光,部分相干
k5C>_( A
/xJY7yF
所需工具箱:
Starter Toolbox Premium
ij!*CTG
w~n kNqm
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HSL.1, DO.2
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p8_2y~!
建模任务
C-r."L
衍射扩散传输器
目标平面
/XN*)m
_Po#ZGm~
L/5z!
准分子激光
聚焦透镜(
f=20mm
)
强度分布
"s${!A)
OK.-]()!
\DaLHC~
照射光束参数
$=lJG(2%
jKYm /}d
·光源面尺寸:
100
×
100um
0T=jR{j!o
·发散角(
HWHM
):
0.89
×
0.89
°
y6bjJ}
·空间相干长度:
3
×
3 um
9X.gg$P
·波长:
351nm
_m" ^lo
Na-q%ru
)S#j.8P'B
衍射发散器
nwhm[AaNs
Y5Ft96o))x
C9G U6Ao
·取样间隔:
5um
UUD\bWfn
·尺寸:
640
×
640um
{Qm6?H
·相位阶数:
8
/O+e#z2f<
:C>J-zY
发散传输器相位
'aNahzb
n|J.)E.
载入光路径图
)\(lg*?:
O3!Ouh&
gW/QFZjY
UP5%C;
\l>qY(gu
·载入文件
HSL.002_Homogenization_Excimer_Laser_by_DOE_01.lpd
。
|3aS17yL>
'T6B_9GQ8
·
该文件在本案例
VL_Samples
文件夹中。
:jl u
_T_PX$B
高斯型面光源
5c*p2:]
(R,NV3m?w
3KDu!w@
_!|=AIX
wVlSjk
双击
Gaussian Type Plane Source
打开编辑对话框。
Xqc'R5Cw
M}R@ K;%
6JUav."`~
·
Gaussian Type Plane Source
利用一些非相干高斯光源来模拟空间相干光源。
u XaL
·
光源需通过以下设置来对准分子激光束建模。
yp( ?1
·
第一步将波长设为
351nm
。
{hlT`K
·
在
Power Spectrum Type
下拉框中选择
Single Wavelength
。(
VirtualLab
同样支持多波长的模拟。)
D>psh-,1
TJeou#=/
vcaBL<io
·转到
Spatial Parameters
?3.(Vqwog
bM*Pcxv
G~Sy&XJuq
标签页中更改光源的辐射特性。
2nG{>,#C:O
#nxER
·光源由
Size of Source Plane
和
Divergence angle
或
Coherence Length
或
Waist Radius
其中的一种来定义。后面的三个参数不能独立改变,因为它们彼此相关。
p_D on3
·按照截图输入
Size of Source Plane
和
Spatial Coherence Length
值。
C}t+t
d#X&Fi
0+$hkd n
·
转到
Mode Selection
标签页。
h v;n[
·
该标签页用来控制模拟空间和时间相干性的模式数(时间相干性通过光谱功率来模拟)。
azz#@f1
·
在该页的顶部可以看到总的模式数。
:u[ oc.
·
底部框用来控制模拟空间相干的
Lateral Modes
数。
j+z'
Q1P,=T@
6,CU)-98G
·
Lateral modes
可选择开始于
Uniform 2D Grid
位置或
Random
位置。
Qi(e`(,'
·
Uniform 2D Grid
的情况下,
Initial Grid Size
和
Lateral Level
两个参数更方便增加模式数。
PPuXas?i
·
模式数越多模拟的精度就越高,所需的内存空间和计算时间就越大。
yfRUTG
点击
Cancel
按钮。
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~(Ih~/5\^
;'b!7sMO~
Stored Transmission
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