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衍射光学元件的产生及其结构数据的输出
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infotek
2021-08-10 10:23
衍射光学元件的产生及其结构数据的输出
本案例计算从传输中得到的衍射光学元件的高度分布和结构数据的产生
4q?R 3\e;
关键词:衍射光学,衍射光学元件,结构数据,
GDSII
,
ASCII
,位图
x_ <,GE@
所需工具箱:
Diffractive Optics Toolbox Basic
;
Tutorial
在试用版本中不可用。联系
LightTrans
或者当地经销商可申请一段全版本的试用。
R8YU#D (Q
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DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2
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c Y+n 6k5
建模任务
^)'D eP/
mnw(x#%P
>wR)p\UEb
Q=Q&\.<
JdUI:(
照射光束强度
衍射扩散器
产生的光图样强度
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Bsk` e
建模任务
?;Da%VS3
+i}uRO
uH7!)LE#
2
扩散器参数:
1c*:" k
—相位层:
4
&'/bnN +R
—像素尺寸:
830*830nm
F3 g$b,RMH
sp_19u
—口径:
1*1mm
{IF$\{Al
—周期:
664,83*664,83um
5 o[E8c8
2
结构数据输出为二进制格式
\5a;_N[Ed
2
需要的高度分布计算
.x}xa
2
蚀刻掩模分解
&o&}5Aba9
2
蚀刻掩模输出为位图和
GDSII
文件
K_;?Sr=
k9&W0$I#
iszVM
打开光学扩散器系统
qWXw*d1]
]4'V59\
f:AfM f>m
Cd_H<8__
2
DO.008_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_01.lpd.
@Y ?p-&
qZlL6
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2
文件在
VL_Samples
文件夹中
H2+V1J=
%/}d'WJR
光学扩散器系统
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T?1e&H%USV
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2
点击
Go!
按钮开始模拟扩散器系统.
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模拟结果
l{\k\Q !4
_Om5wp=:
Ss1&fZoj
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2
扩散器系统产生的光图样强度分布
2Y;iqR
rT;_"y}
传输器提取
D}2$n?~+
vtzbF1?O
2
双击光路径图中的
Stored Transmission
打开编辑对话框
@-ir
传输器
(transmission)
提取
1R]h>'
"rrE_
Re1}aLd
_z#S8Y
2
点击
Show
按钮显示光路中的
transmission.
BtQqUk#L2
S@ItgG?X
扩散器传输
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K~qKr<)
JP]-a!5Ru
#-PUm0|
2
点击
Cancel
按钮
}9Q<<a
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Xx^v%[!`+
结构数据的产生
Slp_o\s$@
BbgKaC q
"Fxw"I <
kvt^s0T8Q
=05jjR1
//#]CsFiP
2
点击窗口上部以激活窗口
xz}=C:s
rWp+kV[Ec>
2
点击设计菜单中
Structure Design
sb%l N
,(kaC.Em
结构数据的产生
v2>Dn=V
|YrvY1d!
t k+t3+
2
该结构设计对话框计算采用薄元件近似的传输相位得到的高度分布
?T>N vKF
M:%Ll3
2
近似对于大于
5
个波长的有效。对于越小的越不精确。
@Z@S;RWSU
2
选择
Target File Export
以产生结构数据
c`#4}$
E{'\(6z_
结构数据的产生
eS2VLVxu
1tH#QZIT
9|>5;Ej
(9+N_dLx~P
对话框可以计算微小结构透明板和镜面.
U5j0i]
2
选择
Height Profile of Transparent Plate.
B_0]$D0 ^
结构数据的产生
7zu3o
[Ib17#74
2
设置正确的衬底和覆盖材料
sV`XJ9e|
2
点击
>soSOJ[
Set
按钮
P~@I`r567
结构数据的产生
R)9FXz$).
Cx8 H
`u7twW*U2
2
对话框显示所有打开的材料文件的菜单
2
如果没有想要的材料文件打开,点击
~h444Hp=
@Hst-H.l<l
Load from Catalog
按钮从
catalog
中得到材料.
[Ny'vAHOj
= 8\'AU
@C5%`{\
结构数据的产生
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21\?FQrz
d6"B_,*b
2
选择材料目录
Miscellaneous
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=L}$#Y8?
2
选择材料
PMMA
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