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2021-07-28 09:24 |
小型光学粗糙度传感器Horos
i6$HwRZm# 1.Horos—光学粗糙度传感器。 Kzz/] 2.测量样本。 Yf/e(nV 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 l *{Bz5hc 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 p2< 927z X{(?p=] 系统简介 j5og}Pq: "ZPgl 8 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 !X||ds ]')y(_{ 特征及技术参数 r)Vpt
fg; aXzb]"> - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 cucmn*o? - 灵敏度R_q<0.5 nm _q}Cnp5 - 测量时间: < 1 s。 `%^w-' - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 :I2, G
B,O ,CN(;z) 传感器: /n6ZN4 fUfd5W1" Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 O} (sn gK( G1 应用: w^=(:`
f$9|qfW'$ 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: Ujlbcv6+ - 平面或复杂(自由形状)表面。 u c}tTmB| - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 ?3qp?ea - 机械零件。 h_\(
$" - 汽车工业。 5UOqS#"0 >I<}:= oO`a {n- QQ:2987619807 =HJ7tele
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