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2021-07-28 09:24 |
小型光学粗糙度传感器Horos
Ph\F'xROe 1.Horos—光学粗糙度传感器。 }2xb&6g~o 2.测量样本。 f[M"EMy 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 3mA/Nu_ 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 _6I >+9#C "0Y&~q[= 系统简介 dh,7iQ
s EQ~I'#m7 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 d.1Q~&` Q2R>lzB 特征及技术参数 V,'FlU -(ER4# - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 Faw. GU - 灵敏度R_q<0.5 nm | &\^n2`> - 测量时间: < 1 s。 Es,0'\m& - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 pb=HVjW< h!;MBn`8 CY\mU_.b 传感器: t9n'! EkV!hqs* Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ,DQ
>&_DK BC&^]M 应用: ;WPI+`- IT7:QEfKU 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: ~M(pCSJ[ - 平面或复杂(自由形状)表面。 0MhxFoFO - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 P:vX }V |[ - 机械零件。 yO%VzjJhg - 汽车工业。 t"FRLC wf^cyCR0 EID(M.G QQ:2987619807 OQ
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