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2021-07-28 09:24 |
小型光学粗糙度传感器Horos
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K= 1.Horos—光学粗糙度传感器。 $4ZDT]n 2.测量样本。 XH Zu>[ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 [7Kj$PB3 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 qT-nD} q}76aa0e 系统简介 ?U.&7yY kosJ]q'U 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。
;] `NR 5IF~]5s 特征及技术参数 y [7xK}`_
vGLb2Q - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 ~ @"Qm;}
" - 灵敏度R_q<0.5 nm (L6]uNOG - 测量时间: < 1 s。 )*QTxN - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 J Wyoh| .qU%SmQ^ A"T. nqB^y 传感器: b<8J ;u< %?{2uMfq-f Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 #L*@~M^] MAhPO!e5. 应用: .^+$w$ 5<GRi"7A@ 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: >A@D;vx - 平面或复杂(自由形状)表面。 =rtA{g$)+ - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 0dX= - 机械零件。 R"kE5: - 汽车工业。 y.]]V"'2 u2x=YUWb] kAF}*&Kzd~ QQ:2987619807 Bc@r*zb
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