光学薄膜分析与设计软件Essential Macleod
Essential Macleod是一套完整的光学薄膜分析与设计的软件包,它能在任一32位、64位微软窗口环境操作系统下运行(除了Windows RT), 并且具有真正的多文档操作界面;它能满足光学镀膜设计中的各种要求;既可以从头开始设计,也可以优化已有的设计;可以模拟设计生产中的误差,也可以导出薄膜的光学常数,是当今市场上最完善的薄膜设计及分析软件。 d6-q" vv<\LN0 模块:Core模块+5个附加模块 NYs<`6P:Y :(tKc3z Core模块 7!FiPH~kM 8}4.x3uw Macleod核心模块是软件的最低配置,包含设计编辑器,数据、目标编辑器,输入/输出,材料管理,性能计算,优化和综合,和其它软件或硬件的数据交换,导纳轨迹,电场,辅助设计等,是整个软件包的基本构架。 R!WDQGR(2
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{`^c Core模块功能 aRI. &3- dnXu(e% 效能计算 {#`wW`U^ fb^R3wd$ff Essential Macleod 提供了整组完整的效能计算。除了一般反射和透射计算外,也包括沉积密度、吸收,椭圆参数,超快参数 (群组延迟、群组延迟色散、三阶色散)和多光色散,也可以进行色彩计算。公差的计算是分辨设计对微小厚度变化的灵敏度。 =?wDQ: OT6Te& 颜色计算 gSyBoY i.?rom 颜色计算包括色度坐标、显色指数、色纯度、主导波长、相对色温。图形包括色度坐标图、色调、用户自定义图。包括CIE 1931 和 1964 配色函数在内的许多标准光源选择是预先定义好的,而用户可以定制你所需要的参数的其它参数。可以根据导入的透射及反射数据计算作为波长函数的颜色参数,也可以作为目标进行优化。 Nlwt}7 0]]OE+9<c 设计和分析工具 ^nOh8L; ZC<EPUV( 包括导纳图,电场分布,等效折射率,吸收分布,应力,光的散射、特性包络、消偏振边带滤波器设计和诱导透过率。 D;+Y0B yT7{,Z7t 提取工具 v@s"*E/PF7 _,UYbD\[J} n & k 提取工具提供了由量测测试薄膜的反射、透射频谱数据以决定薄膜或基底n 与k 的方法。 n-qle5s j $M4_"!
反演工程 6Rq +=X r~fnK%| 主要采用Simplex 局部优化方法,根据已镀膜的设计结构和光谱测试数据(至少一种),来确定其真实膜系结构及其与设计的差别。 `w@z
Fc!" n: {f\ 公差 X9^q-3&60 6!*zgA5M' Essential Macleod 的公差能力允许你探查设计相对于制造误差的灵敏度,可以比较不同的设计以挑选出最优者。 /6\uBy"Xt np}0OX 细化与合成 Py+ B 2G| 1 un! Essential Macleod提供了6个优化和2个合成工具,膜层可以锁定或关联(膜层关联是更先进的分组形式可以把不连续的膜层关联在一起优化),堆积密度包含在细化工具下的简单下降法里面(可对折射率优化)。优化过程可以加入如选择的膜层的总厚度等不同的限制条件。Optimac和needle Synthesis方法可以优化多层膜,可加入多种材料合成优化。Context允许使用替代材料优化。 G2@'S&2@s ,5 3`t 图表 Olt;^>MQ HoWK#Nz\ Essential Macleod包括标准图片、动态图(参数的变化效应可立即看到)、三维图。 >^<;;8Xh w^3S6lK 导入与导出 qk0cf~gz g0;6}n 剪贴板支持与其它应用程序的导入与导出数据,还可以导出数据到光学系统软件中如FRED、VirtualLab、Zemax、Code V。 &Fk|"f+ (gcy3BX; Runsheet模块 u'Hh||La" +#X+QG 这个工具可设计镀膜制程,包含机器配置编辑器以及跑单生成器。 Y2g%{keo
[attachment=122520] a^O>i#i 机器配置编辑器 7s}F`fjKP u{l4O1k/c 机器配置中贮存了特定镀膜机的详细设置,监控系统,入射角,材料,监控芯片,加工因子(包含随光源损耗变化的动态加工因子)。 !l6ht{
[attachment=122521] }ZiJHj'< Runsheet ?TmVLny {q;_Dd 使用者可使用跑单生成器对既定的机器配置,进行镀膜设计的监控规划。该工具除了可同时具备光学与晶体监控功能外,还具备诸如动态加工因子和系统带宽等高级特性。 3z"%ht~;
[attachment=122522] jpMMnEVj6P •对反射、背向反射和透射监控计算光学信号 RyWfoLc •当膜层沉积时,动态加工因子(Dynamic Tooling Factors)可以不同 =<ht@-1 •使用偏移和放大控制可以使信号数据缩小或放大到用户自定义范围 ,1vFX$ •对每一膜层,监控波长、带宽、监控光谱、晶控或光控都可以用户自定义 8'v:26 •在镀膜的任何阶段,监控芯片可以更换 CT<z1)#@^ •多种配套的格式输出 Jt?`(H •提供图片和表格的监测数据可以输出到用户自定义报告格式 ,E+\SBQS_ izu_KBzy Simulator模块 Q7mikg=1- z`]:\j'O3" 对于公差问题, Simulator 通过蒙特卡罗(Monte Carlo)法在实际模型控制过程的扩展来进行解决。通过一个由 Runsheet 创建的控制计划, Simulator 可模拟薄膜淀积控制,引入随机和系统效应,例如信号噪声,加工因子的变动,封装密度误差等等,以及显示这些参数对于镀膜制程的最终模拟结果的效应。 /6y;fx
[attachment=122523] DKl\N~{F Monitorlink模块 Scmew T~?&hZ> Monitorlink提供将Runsheet连结到一个淀积控制器的额外软件。一个独立的程序与控制器直接连接,而且一个 Runsheet 的扩展也赋予其产出和编辑淀积程序的功能。 7--E$!9O, VStack 模块 EKmn@S-&P &m TYMpA VStack 是一种计算与优化的工具﹐它也能计算这些系统中斜射光的效应。当光束斜入射时,初始为p- 偏振态的光线最终会以p - 偏振态从系统出射。同理,原本是s - 偏振态光也会以p - 偏振态出射,我们称此为偏振泄漏 (polarization leakage) 现象。VStack 能计算泄漏的大小而且提供泄漏元件的 Delta 值。 A 0;ng2&
[attachment=122524] SxX Function模块 `t
g=__D UcB2Aauji 函数扩展功能无macleod计算中的限制,Function有两个主要工具:第一是简单的宏语言可在软件表格中运行,另一个是强大的Basic脚本语言。 +9#qNkP D\DwBZ> 宏语言可以保存和调用。Operation可以使阵列数据作为变量并可进行所有必要的插值。Operations可以创建黑体辐射光源,对于柯西材料模型可提取n和K数据,很容易的计算如平均或峰值特性等庞大计算量。其简单宏指令中的操作 ( 具有内建的编辑器和语法检查器 ) 能允许一再重复相同的计算。 }CrWmJu0 *nV"X0& mdcsL~R
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